中微半导体设备（上海）股份有限公司 第一届监事会第十五次会议决议公告

　　证券代码：688012            证券简称：中微公司          公告编号：2021-041

　　本公司监事会及全体监事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。

　　一、监事会会议召开情况

　　中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“中微公司”或“公司”）第一届监事会第十五次会议于2021年7月9日在公司会议室以现场结合通讯会议方式召开。本次会议的通知于2021年7月1日通过电话及邮件方式送达全体监事。会议应出席监事3人，实际到会监事3人，会议由监事会主席余峰先生主持。会议的召集和召开程序符合有关法律、行政法规、部门规章、规范性文件和公司章程的规定，会议决议合法有效。

　　二、监事会会议审议情况

　　（一）审议通过《关于补选公司监事的议案》

　　鉴于中微公司原任监事俞信华于2021年7月8日辞去公司监事一职，现监事会提名黄晨为中微公司第一届监事会新任监事候选人，任期至本届监事会任期届满之日止。

　　表决结果：3票同意、0票反对、0票弃权。

　　此项议案尚需提交公司股东大会审议。

　　具体内容详见公司同日披露于上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）的《中微半导体设备（上海）股份有限公司关于补选第一届监事会监事的公告》（公告编号：2021-040）。

　　（二）审议通过《关于使用闲置募集资金进行现金管理的议案》

　　公司拟使用额度不超过8,000,000,000元闲置募集资金进行现金管理，使用期限自董事会审议通过起12个月内，在不超过上述额度及决议有效期内，可循环滚动使用。

　　监事会同意公司使用额度不超过8,000,000,000元闲置募集资金进行现金管理。

　　表决结果：3票同意、0票反对、0票弃权。

　　具体内容详见公司同日披露于上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）的《中微半导体设备（上海）股份有限公司关于使用闲置募集资金进行现金管理的公告》（公告编号：2021-042）。

　　（三）审议通过《关于公司2020年限制性股票激励计划首次授予部分第一个归属期符合归属条件的议案》

　　根据公司《2020年限制性股票激励计划（草案修订稿）》规定的归属条件，监事会认为公司2020年限制性股票激励计划第一个归属期规定的归属条件已经成就，本次可归属数量为152.1436万股，同意公司按照激励计划相关规定为符合条件的640名激励对象办理归属相关事宜。

　　具体内容详见公司同日披露于上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）的《中微半导体设备（上海）股份有限公司2020年限制性股票激励计划首次授予部分第一个归属期符合归属条件的公告》（公告编号：2021-043）。

　　（四）审议通过《关于公司2020年股票增值权激励计划第一个行权期符合行权条件的议案》

　　根据公司《2020年股票增值权激励计划（草案修订稿）》规定的行权条件，监事会认为公司2020年股票增值权激励计划第一个行权期规定的行权条件已经成就，本次可行权数量为13.67万份，同意公司按照激励计划相关规定为符合条件的6名激励对象办理行权相关事宜。

　　表决结果：3票同意、0票反对、0票弃权。

　　具体内容详见公司同日披露于上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）的《中微半导体设备（上海）股份有限公司2020年股票增值权激励计划第一个行权期符合行权条件的公告》（公告编号：2021-044）。

　　（五）审议通过《关于作废处理部分限制性股票的议案》

　　根据《上市公司股权激励管理办法》、公司《2020年限制性股票激励计划（草案修订稿）》，由于60名激励对象已离职，该等激励对象已不具备激励对象资格，作废处理其已获授但尚未归属的限制性股票55.6961万股；由于65名激励对象根据其2020年个人绩效考核评价结果，归属比例为90%，作废处理其本期不得归属的限制性股票1.4078万股；截至2021年6月22日，《激励计划》中预留部分限制性股票剩余26.011万股尚未明确预留权益的授予对象，该部分26.011万股限制性股票作废失效处理。

　　监事会认为，本次合计作废处理的限制性股票数量为83.1149万股，符合《上市公司股权激励管理办法》、公司《2020年限制性股票激励计划（草案修订稿）》相关规定。

　　表决结果：3票同意、0票反对、0票弃权。

　　具体内容详见公司同日披露于上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）的《中微半导体设备（上海）股份有限公司2020年关于作废处理部分限制性股票的公告》（公告编号：2021-045）。

　　（六）审议通过《关于调整向特定对象发行股票募集资金投资项目投入金额的议案》

　　鉴于公司本次向特定对象发行股票实际募集资金净额少于拟募集资金总额，监事会同意对原募集资金投资项目投入金额作出相应调整。

　　表决结果：3票同意、0票反对、0票弃权。

　　具体内容详见公司同日披露于上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）的《中微半导体设备（上海）股份有限公司关于调整向特定对象发行股票募投项目募集资金投入金额的公告》（公告编号：2021-047）。

　　特此公告。

　　中微半导体设备（上海）股份有限公司监事会

　　2021年7月10日

　　证券代码：688012           证券简称：中微公司      公告编号：2021-042

　　中微半导体设备（上海）股份有限公司

　　关于使用闲置募集资金进行现金管理的

　　公告

　　本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。

　　中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“公司”）于2021年7月9日召开第一届董事会第二十一次会议及第一届监事会第十五次会议，审议通过了《关于使用闲置募集资金进行现金管理的议案》，同意公司使用额度不超过8,000,000,000元闲置募集资金进行现金管理，使用期限自第一届董事会第二十一次会议审议通过起12个月内，在不超过上述额度及决议有效期内，可循环滚动使用。独立董事对本次事项发表了明确同意的独立意见，保荐机构亦对出具了明确的核查意见。本次事项无需提交股东大会审议。具体情况公告如下：

　　一、募集资金基本情况

　　根据中国证券监督管理委员会核发的《关于同意中微半导体设备（上海）股份有限公司向特定对象发行股票注册的批复》（证监许可（2021）645号），公司于2021年6月10日向特定对象发行A股80,229,335股，每股发行价102.29元人民币，募集资金总额为人民币8,206,658,677.15元，扣除发行费用人民币88,496,236.01元后，实际募集资金净额（下称“募资净额”）为人民币8,118,162,441.14元。上述募资净额已由普华永道中天会计师事务所（特殊普通合伙）审验并出具普华永道中天验字（2021）第0638号《验资报告》予以确认。本公司已对募集资金实施专户存储。

　　因募集资金投资项目建设需要一定的周期，根据募集资金投资项目建设进度，现阶段募集资金在短期内出现部分闲置的情况。

　　二、本次使用部分闲置募集资金进行现金管理的基本情况

　　（一）现金管理目的

　　在确保不影响募集资金项目建设和募集资金使用的情况下，公司根据《上海证券交易所科创板股票上市规则》《上市公司监管指引第2号——上市公司募集资金管理和使用的监管要求》《上海证券交易所上市公司募集资金管理办法》及《中微半导体设备（上海）股份有限公司募集资金管理办法》等相关规定，拟使用部分暂时闲置募集资金进行现金管理，有利于提高募集资金的使用效率，增加公司收益。

　　（二）额度及期限

　　公司拟使用额度不超过8,000,000,000元闲置募集资金进行现金管理，使用期限自董事会审议通过起12个月内，在不超过上述额度及决议有效期内，可循环滚动使用。

　　（三）现金管理品种

　　为控制募集资金使用风险，公司使用暂时闲置的募集资金通过通知存款、结构性存款等存款方式或购买安全性高、流动性好、一年以内的短期保本型理财产品等方式进行现金管理，投资产品的期限不超过12个月。

　　公司不会将闲置募集资金用于投资以股票、利率、汇率及其衍生品种、无担保债券为主要投资标的理财产品。上述投资产品不得质押。

　　（四）决议有效期限

　　自公司本次董事会审议通过之日起12个月内有效。

　　（五）实施方式

　　公司董事会授权董事长行使该项投资决策权并签署相关合同文件，具体事项由财务部负责组织实施。

　　（六）信息披露

　　公司将按照《上海证券交易所科创板股票上市规则》《上市公司监管指引第 2 号——上市公司募集资金管理和使用的监管要求》《上海证券交易所上市公司募集资金管理办法》及《中微半导体设备（上海）股份有限公司募集资金管理办法》等相关法律、法规及其他规范性文件的规定要求，及时披露公司现金管理的具体情况。

　　（七）现金管理收益的分配

　　公司使用暂时闲置募集资金进行现金管理所获得的收益将优先用于补足募投项目投资金额不足部分以及公司日常经营所需的流动资金，并严格按照中国证监会及上海证券交易所关于募集资金监管措施的要求进行管理和使用。

　　三、投资风险及风险控制措施

　　（一）投资风险

　　尽管公司选择低风险投资品种的现金管理产品，但金融市场受宏观经济的影响较大，公司将根据经济形势以及金融市场的变化适时适量的介入，但不排除该项投资受到市场波动的影响。

　　（二）风险控制措施

　　公司本次使用部分闲置募集资金进行现金管理仅限于购买安全性高且流动性好、不影响公司日常经营活动的投资产品。公司按照决策、执行、监督职能相分离的原则建立健全相关投资的审批和执行程序，确保投资事宜的有效开展、规范运行，以及资金安全。拟采取的具体措施如下：

　　1、公司将根据经营安排和资金投入计划选择相适应的现金管理产品种类和期限等，确保不影响公司日常经营活动的正常进行。

　　2、在实施期间及时分析和跟进现金管理品种的投向、项目进展情况，一旦发现或判断有不利因素，将及时采取措施，控制投资风险。

　　3、独立董事、监事会有权对资金使用情况进行监督与检查，必要时可以聘请专业机构进行审计。

　　4、公司必须严格按照《上市公司监督指引第2号——上市公司募集资金管理和使用的监管要求》《上海证券交易所上市公司募集资金管理办法（2013年修订）》以及《中微半导体设备（上海）股份有限公司募集资金管理办法》等有关规定办理相关现金管理业务。

　　四、对公司经营的影响

　　1、公司运用部分闲置募集资金进行现金管理是在确保公司募集资金投资项目的进度和确保资金安全的前提下进行的，不影响公司募集资金投资项目的开展。

　　2、公司通过对暂时闲置的募集资金进行现金管理，可以提高资金使用效率，增加公司收益。

　　五、保荐机构、独立董事和监事会的意见

　　（一）保荐机构核查意见

　　经核查，公司保荐机构认为：

　　1、公司使用不超过8,000,000,000元人民币的暂时闲置募集资金进行现金管理的事项已通过公司董事会、监事会审议批准，全体独立董事亦发表明确同意的独立意见，履行了必要的审批程序，符合《上海证券交易所科创板股票上市规则（2020年12月修订）》《上市公司监管指引第2号——上市公司募集资金管理和使用的监管要求》《上海证券交易所上市公司募集资金管理办法》《中微半导体设备（上海）股份有限公司募集资金管理办法》等文件的有关规定。

　　2、公司使用部分闲置募集资金进行现金管理有助于提高公司募集资金使用效率，提升公司经营效益，对募集资金投资项目建设进度和募集资金的正常使用不存在不利影响，且不存在变相改变募集资金投向和损害股东利益的情况。

　　综上所述，保荐机构对公司本次使用部分闲置募集资金进行现金管理的事项无异议。

　　（二）独立董事意见

　　独立董事认为：

　　公司在确保不影响募集资金投资项目正常进行的前提下，对部分闲置募集资金进行现金管理，有利于提高募集资金的使用效率，增加资金收益，使公司和股东利益最大化，不存在变相改变募集资金用途的情形，符合相关法律法规的规定。

　　因此，同意公司使用额度不超过8,000,000,000元闲置募集资金进行现金管理。

　　（三）监事会意见

　　监事会认为：

　　公司在确保不影响募集资金投资项目正常进行的前提下，对部分闲置募集资金进行现金管理，有利于提高募集资金的使用效率，增加资金收益，使公司和股东利益最大化，不存在变相改变募集资金用途的情形，符合相关法律法规的规定。

　　同意公司使用额度不超过8,000,000,000元闲置募集资金进行现金管理。

　　特此公告。

　　中微半导体设备（上海）股份有限公司董事会

　　2021年7月10日

　　证券代码：688012           证券简称：中微公司      公告编号：2021-047

　　中微半导体设备（上海）股份有限公司

　　关于调整向特定对象发行股票募投项目

　　募集资金投入金额的公告

　　本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。

　　中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“公司”）于2021年7月9日召开第一届董事会第二十一次会议及第一届监事会第十五次会议，审议通过了《关于调整向特定对象发行股票募集资金投资项目投入金额的议案》，鉴于公司本次向特定对象发行股票实际募集资金净额少于项目拟投入募集资金总额，董事会同意对原募集资金投资项目投入金额作出相应调整，具体情况如下：

　　一、募集资金基本情况

　　根据中国证券监督管理委员会核发的《关于同意中微半导体设备（上海）股份有限公司向特定对象发行股票注册的批复》（证监许可（2021）645号），公司于2021年6月10日向特定对象发行A股80,229,335股，每股发行价102.29元人民币，募集资金总额为人民币8,206,658,677.15元，扣除发行费用人民币88,496,236.01元后，实际募集资金净额（下称“募资净额”）为人民币8,118,162,441.14元。上述募资净额已由普华永道中天会计师事务所（特殊普通合伙）审验并出具普华永道中天验字（2021）第0638号《验资报告》予以确认。

　　二、募集资金投资项目的基本情况

　　根据《中微半导体设备（上海）股份有限公司2020年度向特定对象发行A股股票证券募集说明书》，公司本次向特定对象发行股票募集资金总额不超过 100亿元，扣除发行费用后，募集资金拟用于以下项目：

　　根据《中微半导体设备（上海）股份有限公司2020年度向特定对象发行A股股票证券募集说明书》所载：“在上述募集资金投资项目的范围内，公司可根据项目的进度、资金需求等实际情况，对相应募集资金投资项目的投入顺序和具体金额进行适当调整。募集资金到位前，公司可以根据募集资金投资项目的实际情况，以自筹资金先行投入，并在募集资金到位后予以置换。募集资金到位后，若扣除发行费用后的实际募集资金净额少于拟投入募集资金总额，不足部分由公司以自筹资金解决。”

　　现公司拟对原募集资金投资项目拟投入募集资金金额作出相应调整，具体调整如下：

　　三、本次调整募投项目投入金额所履行的审议程序

　　（一）董事会审议情况

　　公司于2021年7月9日召开第一届董事会第二十一次会议及第一届监事会第十五次会议，审议通过了《关于调整向特定对象发行股票募集资金投资项目投入金额的议案》，同意公司对部分募集资金投资项目拟投入募集资金金额进行调整。本次调整事项符合相关法律法规的要求。上述事项在董事会审批权限范围内，无需提交股东大会审议。

　　（二）监事会意见

　　鉴于公司本次向特定对象发行股票募集资金的实际情况，公司董事会决定调整本次向特定对象发行股票募集资金投资项目的募集资金投入金额，调整事项履行了必要的程序，符合相关法律法规和规范性文件的规定，不存在损害投资者利益的情形。

　　综上，同意公司调整本次向特定对象发行股票募集资金投资项目投入金额。

　　（三）独立董事意见

　　鉴于公司本次向特定对象发行股票募集资金的实际情况，公司董事会决定调整本次向特定对象发行股票募集资金投资项目的募集资金投入金额，调整事项履行了必要的程序，符合相关法律法规和规范性文件的规定，不存在损害投资者利益的情形。

　　综上，同意公司调整本次向特定对象发行股票募集资金投资项目投入金额。

　　（四）、保荐结构核查意见

　　经核查，保荐结构认为，公司根据本次向特定对象发行股票的实际情况决定调整向特定对象发行股票募集资金投资项目投入金额事项已经公司董事会、监事会审议通过，独立董事发表了明确的同意意见，该事项符合有关法律、法规和《公司章程》等规范性文件的规定，且履行了必要的审批程序。公司调整本次向特定对象发行股票募集资金投资项目投入金额的事项不存在变相改变募集资金使用用途的情形，不影响募集资金投资计划的正常进行，不存在损害公司和股东利益的情形。

　　综上，保荐机构对公司调整本次向特定对象发行股票募集资金投资项目投入金额的事项无异议。

　　特此公告。

　　中微半导体设备（上海）股份有限公司董事会

　　2021年7月10日

　　证券代码：688012          证券简称：中微公司      公告编号：2021-044

　　中微半导体设备（上海）股份有限公司

　　2020年股票增值权激励计划

　　第一个行权期符合行权条件的公告

　　本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。

　　重要内容提示：

　　● 股票增值权拟行权数量：13.67万份

　　● 股票来源：不涉及实际股份，以公司A股普通股股票为虚拟标的

　　一、本激励计划批准及实施情况

　　（一）本激励计划方案及履行的程序

　　1、本激励计划主要内容

　　（1）激励方式：股票增值权。

　　（2）授予数量：授予的股票增值权总量为54.68万份，约占公司2020年股票增值权激励计划（以下简称“激励计划”）草案公告时公司股本总额53,486.2237万股的0.102%。

　　（3）行权价格：150元/股。

　　（4）激励人数：共计6人，为公司董事、高级管理人员。

　　（5）激励计划授予的增值权行权期及各期行权时间安排如表所示：

　　（6）任职期限、公司层面业绩考核要求及个人层面绩效考核要求

　　①激励对象满足各行权期任职期限要求

　　激励对象获授的各批次股票增值权在行权前，须满足12个月以上的任职期限。

　　②公司层面业绩考核要求

　　本激励计划考核年度为2020-2023四个会计年度，每个会计年度考核一次。以2016-2018年度的营业收入均值为基础，根据各考核年度的营业收入累计值定比2016-2018年度营业收入均值的年度累计营业收入增长率，确定各年度的业绩考核目标对应的行权批次及公司层面行权比例。假设每个考核年度的实际营业收入增长率为X，各年度业绩考核目标安排如下表所示：

　　注：上述“营业收入”以经公司聘请的会计师事务所审计的合并报表所载数据为计算依据，公司2016-2018年度营业收入均值为10.74亿元。

　　③激励对象个人层面绩效考核要求

　　激励对象的个人层面绩效考核按照公司现行目标管理（MBO）规定组织实施，并依照激励对象的考核结果确定其实际行权的股份数量。激励对象的绩效考核结果划分为五个档次，届时根据以下考核评级表中对应的个人层面行权比例确定激励对象的实际行权的股份数量：

　　激励对象当年实际行权的股票增值权数量=个人当年计划行权的数量×公司层面行权比例×个人层面行权比例。

　　2、本激励计划已履行的决策程序和信息披露情况

　　（1）2020年3月18日，公司召开第一届董事会第八次会议，会议审议通过了《关于公司<2020年股票增值权激励计划（草案）>及其摘要的议案》、《关于公司<2020年限制性股票、股票增值权激励计划实施考核管理办法>的议案》以及《关于提请股东大会授权董事会办理股权激励相关事宜的议案》等议案。公司独立董事就激励计划相关议案发表了独立意见。

　　同日，公司召开第一届监事会第五次会议，审议通过了《关于公司<2020年股票增值权激励计划（草案）>及其摘要的议案》《关于公司<2020年限制性股票、股票增值权激励计划实施考核管理办法>的议案》等议案，公司监事会对激励计划的相关事项进行核实并出具了相关核查意见。

　　（2）2020年4月21日，公司召开2020年第一次临时股东大会，审议并通过了《关于公司<2020年股票增值权激励计划（草案）>及其摘要的议案》《关于公司<2020年限制性股票、股票增值权激励计划实施考核管理办法>的议案》《关于提请股东大会授权董事会办理股权激励相关事宜的议案》。

　　（3）2020年4月22日，公司于上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露《关于公司2020年限制性股票、股票增值权激励计划内幕信息知情人买卖公司股票情况的自查报告》（公告编号：2020-023）。

　　（4）2020年6月5日，公司召开第一届董事会第十二次会议，审议通过了《关于公司<2020年股票增值权激励计划（草案修订稿）>及其摘要的议案》等议案。公司独立董事就本激励计划相关议案发表了独立意见。

　　同日，公司召开第一届监事会第八次会议，审议通过了《关于公司<2020年股票增值权激励计划（草案修订稿）>及其摘要的议案》等议案，公司监事会对本激励计划的相关事项进行核实并出具了相关核查意见。

　　（5）2020年6月22日，公司召开2020年第二次临时股东大会，审议并通过了《关于公司<2020年股票增值权激励计划（草案修订稿）>及其摘要的议案》等议案。

　　（6）2020年6月30日，公司召开第一届董事会第十三次会议与第一届监事会第九次会议，审议通过了《关于向激励对象授予股票增值权的议案》。公司独立董事对该事项发表了独立意见，监事会对前述事项进行核实并发表了核查意见。

　　（7）2021年7月9日，公司召开第一届董事会第二十一次会议、第一届监事会第十五次会议，审议通过了《关于作废处理部分限制性股票的议案》《关于公司2020年限制性股票激励计划首次授予部分第一个归属期符合归属条件的议案》《关于公司2020年股票增值权激励计划第一个行权期符合行权条件的议案》。公司独立董事对相关事项发表了独立意见。

　　（二）股票增值权授予情况

　　公司于2020年6月30日向激励对象授予54.68万份股票增值权。

　　（三）激励计划各期股票增值权行权情况

　　截至本公告出具日，公司激励计划各批次授予的股票增值权尚未行权。

　　二、股票增值权行权条件说明

　　（一）董事会就股票增值权行权条件是否成就的审议情况

　　2021年7月9日，公司召开第一届董事会第二十一次会议审议《关于公司2020年股票增值权激励计划第一个行权期符合行权条件的议案》。根据公司2020年第一次临时股东大会对董事会的授权，董事会认为：公司2020年股票增值权激励计划第一个行权期规定的行权条件已经成就，本次可行权数量为13.67万份，同意公司按照激励计划的相关规定为符合条件的激励对象办理行权相关事宜。

　　董事会表决情况：同意9票，反对0票，弃权0票。董事尹志尧、杜志游为本次股票增值权激励计划的激励对象，在本议案中回避表决。公司独立董事对该事项发表了同意的独立意见。

　　（二）激励对象行权符合激励计划规定的各项行权条件的说明

　　1、根据行权时间安排，激励计划授予的股票增值权已进入第一个行权期

　　根据《2020年股票增值权激励计划（草案修订稿）》的相关规定，授予的股票期权的第一个行权期为“自授予完成之日起12个月后的首个交易日起至授予完成之日起24个月内的最后一个交易日当日止”。本次激励计划授予日为2020年6月30日，因此股票增值权的第一个行权期为2021年7月1日至2022年6月30日。

　　2、股票增值权符合行权条件的说明

　　根据公司2020年第一次临时股东大会的授权，根据公司《2020年股票增值权激励计划（草案修订稿）》和《2020年限制性股票、股票增值权激励计划实施考核管理办法》（以下简称“《管理办法》”）的相关规定，激励计划授予的股票增值权第一个行权期的行权条件已成就，现就行权条件成就情况说明如下：

　　（三）监事会意见

　　根据公司《2020年股票增值权激励计划（草案修订稿）》的相关规定，激励计划首次授予股票增值权第一个行权期的行权条件已经成就。本次符合行权条件的6名激励对象的归属资格合法有效，可行权的股票数量为13.67万份。本次行权安排和审议程序符合《中华人民共和国公司法》《中华人民共和国证券法》及《管理办法》等的相关规定，不存在侵犯公司及全体股东利益的情况。

　　（四）独立董事意见

　　根据公司《2020年股票增值权激励计划（草案修订稿）》的相关规定，激励计划首次授予股票增值权第一个行权期的行权条件已经成就。本次符合行权条件的6名激励对象的归属资格合法有效，可行权的股票数量为13.67万份。本次行权安排和审议程序符合《中华人民共和国公司法》《中华人民共和国证券法》及《管理办法》等的相关规定，不存在侵犯公司及全体股东利益的情况。

　　三、本次行权的具体情况

　　（一）授予日：2020年6月30日。

　　（二）行权数量：13.67万份。

　　（三）行权人数：6人。

　　（四）行权价格：150元/股。

　　（五）股票来源：不涉及实际股份，以公司A股普通股股票为虚拟标的

　　（六）激励对象名单及行权情况

　　四、行权日及买卖公司股票情况的说明

　　公司将根据政策规定的行权窗口期，统一办理激励对象股票增值权行权手续，并将中国证券登记结算有限责任公司上海分公司办理完毕公司2020年限制性股票激励计划首次授予部分第一个归属期股份变更登记手续当日确定为行权日。

　　根据公司自查参与本激励计划的董事、高级管理人员在行权日前6个月不存在买卖公司股票的行为。

　　五、股票增值权费用的核算及说明

　　根据《企业会计准则第11号——股份支付》和《企业会计准则第22号——金融工具确认和计量》，公司将在等待期的每个资产负债表日，根据最新取得的可行权人数变动、业绩指标完成情况等后续信息，修正预计可行权的股票增值权数量，并按照公司承担负债的公允价值金额，将当期取得的服务计入相关成本或费用和资本公积。具体费用以会计师事务所出具的年度审计报告为准，本次股票增值权行权不会对公司财务状况和经营成果产生重大影响。

　　六、法律意见书的结论性意见

　　上海市锦天城律师事务所律师认为，公司股票增值权已进入第一个行权期，第一个行权期的行权条件已成就，公司实施本次行权符合《中华人民共和国公司法》《中华人民共和国证券法》《管理办法》及《2020年股票增值权激励计划（草案修订稿）》的相关规定。

　　特此公告。

　　中微半导体设备（上海）股份有限公司董事会

　　2021年7月10日

　　证券代码：688012        证券简称：中微公司        公告编号：2021-046

　　中微半导体设备（上海）股份有限公司

　　关于召开2021年第三次临时股东大会的

　　通知

　　本公司董事会及全体董事保证公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。

　　重要内容提示：

　　● 股东大会召开日期：2021年7月29日

　　● 本次股东大会采用的网络投票系统：上海证券交易所股东大会网络投票系统

　　一、 召开会议的基本情况

　　（一） 股东大会类型和届次

　　2021年第三次临时股东大会

　　（二） 股东大会召集人：董事会

　　（三） 投票方式：本次股东大会所采用的表决方式是现场投票和网络投票相结合的方式

　　（四） 现场会议召开的日期、时间和地点

　　召开日期时间：2021年7月29日 14点30分

　　召开地点：上海市浦东新区泰华路188号中微公司二号楼三楼2303会议室

　　（五） 网络投票的系统、起止日期和投票时间。

　　网络投票系统：上海证券交易所股东大会网络投票系统

　　网络投票起止时间：自2021年7月29日

　　至2021年7月29日

　　采用上海证券交易所网络投票系统，通过交易系统投票平台的投票时间为股东大会召开当日的交易时间段，即9:15-9:25,9:30-11:30，13:00-15:00；通过互联网投票平台的投票时间为股东大会召开当日的9:15-15:00。

　　（六） 融资融券、转融通、约定购回业务账户和沪股通投资者的投票程序

　　涉及融资融券、转融通业务、约定购回业务相关账户以及沪股通投资者的投票，应按照《上海证券交易所上市公司股东大会网络投票实施细则》等有关规定执行。

　　（七） 涉及公开征集股东投票权

　　无。

　　二、 会议审议事项

　　本次股东大会审议议案及投票股东类型

　　1、 说明各议案已披露的时间和披露媒体

　　本次提交股东大会审议的议案已经公司第一届董事会第二十一次会议、第一届监事会第十五次会议审议通过。相关公告已于2021年7月10日在上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）及《中国证券报》、《上海证券报》、《证券时报》、《证券日报》予以披露。公司将在2021年第三次临时股东大会召开前，在上海证券交易所网站(www.sse.com.cn)登载《2021年第三次临时股东大会会议资料》。

　　2、 特别决议议案：无。

　　3、 对中小投资者单独计票的议案：1

　　4、 涉及关联股东回避表决的议案：无。

　　应回避表决的关联股东名称：无。

　　5、 涉及优先股股东参与表决的议案：无。

　　三、 股东大会投票注意事项

　　（一） 本公司股东通过上海证券交易所股东大会网络投票系统行使表决权的，既可以登陆交易系统投票平台（通过指定交易的证券公司交易终端）进行投票，也可以登陆互联网投票平台（网址：vote.sseinfo.com）进行投票。首次登陆互联网投票平台进行投票的，投资者需要完成股东身份认证。具体操作请见互联网投票平台网站说明。

　　（二） 同一表决权通过现场、本所网络投票平台或其他方式重复进行表决的，以第一次投票结果为准。

　　（三） 股东对所有议案均表决完毕才能提交。

　　四、 会议出席对象

　　（一） 股权登记日下午收市时在中国登记结算有限公司上海分公司登记在册的公司股东有权出席股东大会（具体情况详见下表），并可以以书面形式委托代理人出席会议和参加表决。该代理人不必是公司股东。

　　（二） 公司董事、监事和高级管理人员。

　　（三） 公司聘请的律师。

　　（四） 其他人员

　　五、 会议登记方法

　　（一）登记手续：

　　1、法人股东：应由法定代表人或者法定代表人委托的代理人出席会议。法定代表人出席会议的，应出示法人股东股票账户卡、本人身份证、能证明其具有法定代表人资格的有效证明；委托代理人出席会议的，代理人还应出示本人身份证、法人股东单位的法定代表人依法出具的书面授权委托书。出席会议的股东及股东代理人请携带相关证件原件到场。

　　2、个人股东：个人股东亲自出席会议的，应出示本人身份证或其他能够表明其身份的有效证件或证明、股票账户卡；委托代理他人出席会议的，代理人还应出示本人有效身份证件、股东授权委托书。

　　（二）登记时间：2021年7月23日（上午9:30-11:30 下午1:30-4:00）。

　　（三）登记地点：上海市金桥出口加工区南区泰华路188号董事会办公室

　　（四）登记方式：可采用电话登记、现场登记、信函或传真方式登记

　　（五）注意事项：股东请在参加现场会议时携带上述证件。

　　六、 其他事项

　　（一）会议联系方式

　　联系人：胡潇

　　电话：+86-21-6100 1199

　　传真：+86-21-6100 2205

　　地址：上海市金桥出口加工区南区泰华路188号董事会办公室

　　（二）会议费用情况：本次股东大会会期半天，与会股东所有费用自理

　　（三）出席会议的股东及股东代理人请携带相关证件原件到场

　　特此公告。

　　中微半导体设备（上海）股份有限公司董事会

　　2021年7月10日

　　附件1：授权委托书

　　授权委托书

　　中微半导体设备（上海）股份有限公司：

　　兹委托     先生（女士）代表本单位（或本人）出席2021年7月29日召开的贵公司2021年第三次临时股东大会，并代为行使表决权。

　　委托人持普通股数：

　　委托人持优先股数：

　　委托人股东帐户号：

　　委托人签名（盖章）： 　　　　　　　　受托人签名：

　　委托人身份证号： 　　　　　　　　　　受托人身份证号：

　　委托日期：　　年 月 日

　　备注：

　　委托人应在委托书中“同意”、“反对”或“弃权”意向中选择一个并打“√”，对于委托人在本授权委托书中未作具体指示的，受托人有权按自己的意愿进行表决。

　　证券代码：688012          证券简称：中微公司      公告编号：2021-043

　　中微半导体设备（上海）股份有限公司

　　2020年限制性股票激励计划首次授予部分

　　第一个归属期符合归属条件的公告

　　本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。

　　重要内容提示：

　　● 限制性股票拟归属数量：152.1436万股。

　　● 归属股票来源：公司向激励对象定向发行公司A股普通股股票

　　一、本次股权激励计划批准及实施情况

　　（一）本次股权激励计划方案及履行的程序

　　1、本次股权激励计划主要内容

　　（1）股权激励方式：第二类限制性股票。

　　（2）授予数量：授予的限制性股票总量为800万股，约占公司2020年限制性股票激励计划（以下简称“激励计划”）草案公告时公司股本总额53,486.2237万股的1.49%。其中首次授予670万股，约占激励计划草案公告时公司股本总额的1.25%；预留130万股，约占激励计划草案公告时公司股本总额的0.24%。

　　（3）授予价格：150元/股，即满足授予条件和归属条件后，激励对象可以每股150元的价格购买公司向激励对象增发的公司A股普通股股票。

　　（4）激励人数：首次授予700人，为公司核心技术人员、董事会认为需要激励的其他人员。

　　（5）本激励计划首次授予的限制性股票的归属期限和归属安排具体如下：

　　本激励计划预留授予的限制性股票的归属期限和归属比例安排具体如下：

　　（6）任职期限、公司层面业绩考核要求及个人层面绩效考核要求

　　①激励对象满足各归属期任职期限要求

　　激励对象获授的各批次限制性股票在归属前，须满足12个月以上的任职期限。

　　②公司层面业绩考核要求

　　本激励计划首次授予限制性股票考核年度为2020-2023四个会计年度，每个会计年度考核一次。以2016-2018年度的营业收入均值为基础，根据各考核年度的营业收入累计值定比2016-2018年度营业收入均值的年度累计营业收入增长率，确定各年度的业绩考核目标对应的归属批次及公司层面归属比例。假设每个考核年度的实际营业收入增长率为X，首次授予部分各年度业绩考核目标安排如下表所示：

　　注：上述“营业收入”以经公司聘请的会计师事务所审计的合并报表所载数据为计算依据，公司2016-2018年度营业收入均值为10.74亿元。

　　预留部分考核目标及公司层面归属比例确定与上述首次授予部分一致。

　　③激励对象个人层面绩效考核要求

　　激励对象的个人层面绩效考核按照公司现行目标管理（MBO）规定组织实施，并依照激励对象的考核结果确定其实际归属的股份数量。激励对象的绩效考核结果划分为五个档次，届时根据以下考核评级表中对应的个人层面归属比例确定激励对象的实际归属的股份数量：

　　激励对象当年实际归属的限制性股票数量=个人当年计划归属的数量×公司层面归属比例×个人层面归属比例。

　　2、本次限制性股票激励计划已履行的决策程序和信息披露情况

　　（1）2020年3月18日，公司召开第一届董事会第八次会议，会议审议通过了《关于公司<2020年限制性股票激励计划（草案）>及其摘要的议案》《关于公司<2020年限制性股票、股票增值权激励计划实施考核管理办法>的议案》以及《关于提请股东大会授权董事会办理股权激励相关事宜的议案》等议案。公司独立董事就激励计划相关议案发表了独立意见。

　　同日，公司召开第一届监事会第五次会议，审议通过了《关于公司<2020年限制性股票激励计划（草案）>及其摘要的议案》《关于公司<2020年限制性股票、股票增值权激励计划实施考核管理办法>的议案》等议案，公司监事会对本激励计划的相关事项进行核实并出具了相关核查意见。

　　（2）2020年4月3日，公司于上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露了《关于独立董事公开征集委托投票权的公告》（公告编号：2020-013），根据公司其他独立董事的委托，独立董事Chen, Shimin（陈世敏）先生作为征集人就 2020年第一次临时股东大会审议的公司2020年限制性股票激励计划相关议案向公司全体股东征集投票权。

　　（3）2020年3月31日至2020年4月14日，公司对本激励计划拟激励对象的姓名和职务在公司内部进行了公示。在公示期内，公司监事会未收到与本激励计划激励对象有关的任何异议。2020年4月16日，公司于上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露了《监事会关于公司2020年限制性股票激励计划激励对象名单的公示情况说明及核查意见》（公告编号：2020-016）。

　　（4）2020年4月21日，公司召开2020年第一次临时股东大会，审议并通过了《关于公司<2020年限制性股票激励计划（草案）>及其摘要的议案》《关于公司<2020年限制性股票、股票增值权激励计划实施考核管理办法>的议案》《关于提请股东大会授权董事会办理股权激励相关事宜的议案》。

　　（5）2020年4月22日，公司于上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露《关于公司2020年限制性股票、股票增值权激励计划内幕信息知情人买卖公司股票情况的自查报告》（公告编号：2020-023）。

　　（6）2020年6月5日，公司召开第一届董事会第十二次会议，审议通过了《关于公司<2020年限制性股票激励计划（草案修订稿）>及其摘要的议案》等议案。公司独立董事就本激励计划相关议案发表了独立意见。

　　同日，公司召开第一届监事会第八次会议，审议通过了《关于公司<2020年限制性股票激励计划（草案修订稿）>及其摘要的议案》等议案，公司监事会对本激励计划的相关事项进行核实并出具了相关核查意见。

　　（7）2020年6月6日，公司于上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露了《关于独立董事公开征集委托投票权的公告》（公告编号：2020-036），根据公司其他独立董事的委托，独立董事Chen, Shimin（陈世敏）先生作为征集人就 2020年第二次临时股东大会审议的公司2020年限制性股票激励计划相关议案向公司全体股东征集投票权。

　　（8）2020年6月22日，公司召开2020年第二次临时股东大会，审议并通过了《关于公司<2020年限制性股票激励计划（草案修订稿）>及其摘要的议案》等议案。

　　（9）2020年6月30日，公司召开第一届董事会第十三次会议与第一届监事会第九次会议，审议通过了《向激励对象首次授予限制性股票的议案》。公司独立董事对前述事项发表了独立意见，监事会对前述事项进行核实并发表了核查意见。

　　（10）2020年11月6日，公司召开第一届董事会第十六次会议与第一届监事会第十二次会议，审议通过了《关于向激励对象授予预留部分限制性股票的议案》。公司独立董事对前述事项发表了独立意见，监事会对前述事项进行核实并发表了核查意见。

　　（11）2021年7月9日，公司召开第一届董事会第二十一次会议、第一届监事会第十五次会议，审议通过了《关于作废处理部分限制性股票的议案》《关于公司2020年限制性股票激励计划首次授予部分第一个归属期符合归属条件的议案》《关于公司2020年股票增值权激励计划第一个行权期符合行权条件的议案》。公司独立董事对相关事项发表了独立意见。

　　（二）历次限制性股票授予情况

　　公司于2020年6月30日向激励对象首次授予670万股限制性股票；2020年11月6日向188名激励对象授予103.989万股预留部分限制性股票。

　　（三）激励计划各期限制性股票归属情况

　　截至本公告出具日，公司激励计划各批次授予的限制性股票尚未归属。

　　二、限制性股票归属条件说明

　　（一）董事会就限制性股票归属条件是否成就的审议情况

　　2021年7月9日，公司召开第一届董事会第二十一次会议审议《关于公司2020年限制性股票激励计划首次授予部分第一个归属期符合归属条件的议案》。根据公司2020年第一次临时股东大会对董事会的授权，董事会认为：公司2020年限制性股票激励计划首次授予部分第一个归属期规定的归属条件已经成就，本次可归属数量为152.1436万股，同意公司按照激励计划的相关规定为符合条件的激励对象办理归属相关事宜。

　　董事会表决情况：同意11票，反对0票，弃权0票。公司独立董事对该事项发表了同意的独立意见。

　　（二）激励对象归属符合激励计划规定的各项归属条件的说明

　　1、根据归属时间安排，激励计划首次授予限制性股票已进入第一个归属期

　　根据《2020年限制性股票激励计划（草案修订稿）》的相关规定，首次授予的限制性股票的第一个归属期为“自首次授予之日起12个月后的首个交易日至首次授予之日起24个月内的最后一个交易日止”。本次激励计划授予日为2020年6月30日，因此首次授予的限制性股票的第一个归属期为2021年7月1日至2022年6月30日。

　　2、首次授予限制性股票符合归属条件的说明

　　根据公司2020年第一次临时股东大会的授权，根据公司《2020年限制性股票激励计划（草案修订稿）》和《2020年限制性股票、股票增值权激励计划实施考核管理办法》（以下简称“《管理办法》”）的相关规定，激励计划首次授予部分限制性股票第一个归属期的归属条件已成就，现就归属条件成就情况说明如下：

　　（三）部分未达到归属条件的限制性股票的处理方法

　　公司对于部分未达到归属条件的限制性股票作废失效处理，详见《关于作废处理部分限制性股票的公告》（公告编号：2021-045）

　　（四）监事会意见

　　根据公司《2020年限制性股票激励计划（草案修订稿）》的相关规定，激励计划首次授予部分第一个归属期的归属条件已经成就。本次符合归属条件的640名激励对象的归属资格合法有效，可归属的限制性股票数量为152.1436万股。本次归属安排和审议程序符合《中华人民共和国公司法》《中华人民共和国证券法》及《管理办法》等的相关规定，不存在侵犯公司及全体股东利益的情况。

　　（五）独立董事意见

　　根据公司《2020年限制性股票激励计划（草案修订稿）》的相关规定，激励计划首次授予部分第一个归属期的归属条件已经成就。本次符合归属条件的640名激励对象的归属资格合法有效，可归属的限制性股票数量为152.1436万股。本次归属安排和审议程序符合《中华人民共和国公司法》《中华人民共和国证券法》及《管理办法》等的相关规定，不存在侵犯公司及全体股东利益的情况。

　　三、本次归属的具体情况

　　（一）授予日：2020年6月30日。

　　（二）归属数量：152.1436万股。

　　（三）归属人数：640人。

　　（四）授予价格：150元/股。

　　（五）股票来源：公司向激励对象定向发行公司A股普通股股票。

　　（六）激励对象及归属情况：

　　四、监事会对激励对象名单的核实情况

　　根据公司《2020年限制性股票激励计划（草案修订稿）》的相关规定，激励计划首次授予部分第一个归属期的归属条件已经成就。本次符合归属条件的640名激励对象的归属资格合法有效，可归属的限制性股票数量为152.1436万股。本次归属安排和审议程序符合《中华人民共和国公司法》《中华人民共和国证券法》及《管理办法》等的相关规定，不存在侵犯公司及全体股东利益的情况。

　　五、归属日及买卖公司股票情况的说明

　　公司将根据政策规定的归属窗口期，统一办理激励对象限制性股票归属及相关的归属股份登记手续，并将中国证券登记结算有限责任公司上海分公司办理完毕股份变更登记手续当日确定为归属日。

　　本激励计划无公司的董事、高级管理人员参与。

　　六、限制性股票费用的核算及说明

　　公司根据《企业会计准则第11号——股份支付》和《企业会计准则第22号——金融工具确认和计量》，确定限制性股票授予日的公允价值，公司将在授予日至归属日期间的每个资产负债表日，根据最新取得的可归属的人数变动、业绩指标完成情况等后续信息，修正预计可归属限制性股票的数量，并按照限制性股票授予日的公允价值，将当期取得的服务计入相关成本或费用和资本公积。

　　公司在授予日授予限制性股票后，已在对应的等待期根据会计准则对本次限制性股票相关费用进行相应摊销，具体以会计师事务所出具的年度审计报告为准，本次限制性股票归属不会对公司财务状况和经营成果产生重大影响。

　　七、法律意见书的结论性意见

　　上海市锦天城律师事务所律师认为，公司限制性股票激励计划首次授予部分的限制性股票已进入第一个归属期，第一个归属期的归属条件已成就，公司实施本次归属符合《中华人民共和国公司法》《中华人民共和国证券法》《管理办法》及《中微半导体设备（上海）股份有限公司2020年限制性股票激励计划（草案修订稿）》的相关规定。

　　特此公告。

　　中微半导体设备（上海）股份有限公司董事会

　　2021年7月10日

　　证券代码：688012         证券简称：中微公司         公告编号：2021-045

　　中微半导体设备（上海）股份有限公司

　　关于作废处理部分限制性股票的公告

　　本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。

　　中微半导体设备（上海）股份有限公司（下称“中微公司”或“公司”）于2021年7月9日召开第一届董事会第二十一次会议和第一届监事会第十五次会议，审议通过了《关于作废处理部分限制性股票的议案》，现将有关事项说明如下：

　　一、公司2020年限制性股票激励计划已履行的决策程序和信息披露情况

　　1、2020年3月18日，公司召开第一届董事会第八次会议，会议审议通过了《关于公司<2020年限制性股票激励计划（草案）>及其摘要的议案》《关于公司<2020年限制性股票、股票增值权激励计划实施考核管理办法>的议案》以及《关于提请股东大会授权董事会办理股权激励相关事宜的议案》等议案。公司独立董事就激励计划相关议案发表了独立意见。

　　同日，公司召开第一届监事会第五次会议，审议通过了《关于公司<2020年限制性股票激励计划（草案）>及其摘要的议案》《关于公司<2020年限制性股票、股票增值权激励计划实施考核管理办法>的议案》等议案，公司监事会对本激励计划的相关事项进行核实并出具了相关核查意见。

　　2、2020年4月3日，公司于上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露了《关于独立董事公开征集委托投票权的公告》（公告编号：2020-013），根据公司其他独立董事的委托，独立董事Chen, Shimin（陈世敏）先生作为征集人就 2020年第一次临时股东大会审议的公司2020年限制性股票激励计划相关议案向公司全体股东征集投票权。

　　3、2020年3月31日至2020年4月14日，公司对本激励计划拟激励对象的姓名和职务在公司内部进行了公示。在公示期内，公司监事会未收到与本激励计划激励对象有关的任何异议。2020年4月16日，公司于上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露了《监事会关于公司2020年限制性股票激励计划激励对象名单的公示情况说明及核查意见》（公告编号：2020-016）。

　　4、2020年4月21日，公司召开2020年第一次临时股东大会，审议并通过了《关于公司<2020年限制性股票激励计划（草案）>及其摘要的议案》《关于公司<2020年限制性股票、股票增值权激励计划实施考核管理办法>的议案》《关于提请股东大会授权董事会办理股权激励相关事宜的议案》。

　　5、2020年4月22日，公司于上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露《关于公司2020年限制性股票、股票增值权激励计划内幕信息知情人买卖公司股票情况的自查报告》（公告编号：2020-023）。

　　6、2020年6月5日，公司召开第一届董事会第十二次会议，审议通过了《关于公司<2020年限制性股票激励计划（草案修订稿）>及其摘要的议案》等议案。公司独立董事就本激励计划相关议案发表了独立意见。

　　同日，公司召开第一届监事会第八次会议，审议通过了《关于公司<2020年限制性股票激励计划（草案修订稿）>及其摘要的议案》等议案，公司监事会对本激励计划的相关事项进行核实并出具了相关核查意见。

　　7、2020年6月6日，公司于上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露了《关于独立董事公开征集委托投票权的公告》（公告编号：2020-036），根据公司其他独立董事的委托，独立董事Chen, Shimin（陈世敏）先生作为征集人就 2020年第二次临时股东大会审议的公司2020年限制性股票激励计划相关议案向公司全体股东征集投票权。

　　8、2020年6月22日，公司召开2020年第二次临时股东大会，审议并通过了《关于公司<2020年限制性股票激励计划（草案修订稿）>及其摘要的议案》等议案。

　　9、2020年6月30日，公司召开第一届董事会第十三次会议与第一届监事会第九次会议，审议通过了《向激励对象首次授予限制性股票的议案》。公司独立董事对前述事项发表了独立意见，监事会对前述事项进行核实并发表了核查意见。

　　10、2020年11月6日，公司召开第一届董事会第十六次会议与第一届监事会第十二次会议，审议通过了《关于向激励对象授予预留部分限制性股票的议案》。公司独立董事对前述事项发表了独立意见，监事会对前述事项进行核实并发表了核查意见。

　　11、2021年7月9日，公司召开第一届董事会第二十一次会议、第一届监事会第十五次会议，审议通过了《关于作废处理部分限制性股票的议案》《关于公司2020年限制性股票激励计划首次授予部分第一个归属期符合归属条件的议案》《关于公司2020年股票增值权激励计划第一个行权期符合行权条件的议案》。公司独立董事对相关事项发表了独立意见。

　　二、本次作废处理限制性股票的原因和数量

　　1、根据公司《2020年限制性股票激励计划（草案修订稿）》（以下简称“《激励计划》”）及《2020年限制性股票、股票增值权激励计划实施考核管理办法》（以下简称“《考核管理办法》”），由于60名激励对象已离职，该等激励对象已不具备激励对象资格，作废处理其已获授但尚未归属的限制性股票55.6961万股；

　　2、根据公司《激励计划》及《考核管理办法》，65名激励对象根据其2020年个人绩效考核评价结果，归属比例为90%，作废处理其本期不得归属的限制性股票1.4078万股；

　　3、根据《激励计划》及《上市公司股权激励管理办法》（以下简称“《管理办法》”），上市公司应当在股权激励计划经股东大会审议通过后12个月内明确预留权益的授予对象；超过12个月未明确激励对象的，预留权益失效。公司于2020年6月22日召开2020年第二次临时股东大会，审议并通过了《关于公司<2020年限制性股票激励计划（草案修订稿）>及其摘要的议案》。截至2021年6月22日，《激励计划》中预留部分限制性股票剩余26.011万股尚未明确预留权益的授予对象，该部分26.011万股限制性股票作废失效处理。

　　本次合计作废处理的限制性股票数量为83.1149万股。

　　三、本次作废处理部分限制性股票对公司的影响

　　公司作废处理部分限制性股票不会对公司的财务状况和经营成果产生实质性影响，不会影响公司核心团队的稳定性，不会影响公司股权激励计划继续实施。

　　四、监事会意见

　　本次合计作废处理的限制性股票数量为83.1149万股，符合《管理办法》、公司《激励计划》相关规定。监事会同意公司作废处理部分限制性股票。

　　五、独立董事意见

　　本次部分限制性股票的作废处理符合《上海证券交易所科创板股票上市规则》《管理办法》以及公司《激励计划》中的相关规定，所作的决定履行了必要的程序。

　　六、法律意见书的结论性意见

　　本次作废理部分限制性股票的原因及作废数量符合《中华人民共和国公司法》《中华人民共和国证券法》《管理办法》及《激励计划》的规定。

　　特此公告。

　　中微半导体设备（上海）股份有限公司董事会

　　2021年7月10日