合肥芯碁微电子装备股份有限公司
2021年年度报告摘要

　　证券代码：688630  证券简称：芯碁微装  公告编号：2022-023

　　合肥芯碁微电子装备股份有限公司

　　关于调整2022年限制性股票激励计划

　　首次授予部分相关事项的公告

　　本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏。并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。

　　合肥芯碁微电子装备股份有限公司（以下简称“公司”）于2022年4月27日召开的第一届董事会第十七次会议和第一届监事会第十二次会议，审议通过了《关于调整2022年限制性股票激励计划首次授予部分相关事项的议案》。现将公司《2022年限制性股票激励计划（草案）》（以下简称“《激励计划（草案）》”或“本次激励计划”）首次授予部分调整的有关事项公告如下：

　　一、 本次股权激励计划已履行的相关决策程序和信息披露情况

　　1、2022年4月7日，公司召开的第一届董事会第十六次会议审议通过了《关于公司＜2022年限制性股票激励计划（草案）＞及其摘要的议案》、《关于公司＜2022年限制性股票激励计划实施考核管理办法＞的议案》以及《关于提请股东大会授权董事会办理股权激励计划相关事项的议案》等议案。公司独立董事就本次激励计划相关事项发表了明确同意的独立意见。

　　同日，公司召开第一届监事会第十一次会议，审议通过了《关于公司＜2022年限制性股票激励计划（草案）＞及其摘要的议案》、《关于公司＜2022年限制性股票激励计划实施考核管理办法＞的议案》以及《关于核实公司＜2022年限制性股票激励计划首次授予部分激励对象名单＞的议案》，公司监事会对本次激励计划的相关事项进行核实并出具了相关核查意见。

　　上述相关事项公司已于2022年4月8日在上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）进行了披露。

　　2、2022年4月8日，公司在上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露了《合肥芯碁微电子装备股份有限公司关于独立董事公开征集委托投票权的公告》（公告编号：2022-008），根据公司其他独立董事的委托，独立董事胡刘芬女士作为征集人就2022年第一次临时股东大会审议的本次激励计划相关议案向公司全体股东征集投票权。

　　3、2022年4月8日至2022年4月17日，公司内部对本次激励计划首次授予部分激励对象的姓名和职务进行了公示。在公示期内，公司监事会未收到任何人对激励对象提出的异议。2022年4月19日，公司在上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露了《合肥芯碁微电子装备股份有限公司监事会关于公司2022年限制性股票激励计划首次授予部分激励对象名单的公示情况说明及核查意见》（公告编号：2022-009）。

　　4、2022年4月25日，公司召开2022年第一次临时股东大会，审议通过了《关于公司＜ 2022年限制性股票激励计划（草案）＞及其摘要的议案》、《关于公司＜2022年限制性股票激励计划实施考核管理办法＞的议案》及《关于提请股东大会授权董事会办理股权激励计划相关事项的议案》，并于2022年4月26日在上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露了《合肥芯碁微电子装备股份有限公司2022年第一次临时股东大会决议公告》（公告编号：2022-010）。

　　5、2022年4月26日，公司在上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露了《关于公司2022年限制性股票激励计划内幕信息知情人及激励对象买卖公司股票情况的自查报告》（公告编号：2022-011）。

　　6、2022年4月27日，公司召开第一届董事会第十七次会议和第一届监事会第十二次会议，审议通过了《关于调整2022年限制性股票激励计划首次授予部分相关事项的议案》和《关于向激励对象首次授予限制性股票的议案》。公司独立董事对上述事项发表了明确同意的独立意见。监事会对首次授予日的激励对象名单进行核实并发表了核查意见。前述相关事项公司于2022年4月28日在上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）进行了披露。

　　二、调整事由及调整结果

　　鉴于公司《2022年限制性股票激励计划（草案）》中原拟首次授予的激励对象中6名激励对象因离职失去激励资格，经审议，董事会同意取消拟向上述激励对象授予的限制性股票共计2.00万股。董事会同意对本次激励计划首次授予部分激励对象名单进行调整。调整后，首次授予部分限制性股票的激励对象人数由212人调整为206人，上述6名激励对象对应的拟授予限制性股票数量，将调整分配至本次激励计划确定的其他激励对象，首次授予部分限制性股票授予数量保持87.20万股不变。

　　除上述调整内容外，本次实施的限制性股票激励计划其他内容与公司2022年第一次临时股东大会审议通过的《2022年限制性股票激励计划（草案）》的内容一致。根据公司2022年第一次临时股东大会的授权，本次调整无需提交股东大会审议。

　　公司监事会对调整后的首次授予激励对象名单进行了核实，公司独立董事发表了明确同意的独立意见，律师就相关事项出具了法律意见书。

　　三、本次调整对公司的影响

　　公司本次对2022年限制性股票激励计划首次授予部分激励对象名单及激励数量的调整不会对公司的财务状况和经营成果产生实质性影响。

　　四、独立董事意见

　　公司本次对2022年限制性股票激励计划首次授予部分激励对象名单和激励股票数量的调整符合《中华人民共和国公司法》《中华人民共和国证券法》《上市公司股权激励管理办法》等法律、法规和规范性文件中关于股权激励计划调整的相关规定，履行了必要的程序。调整后的激励对象不存在禁止获授限制性股票的情形，激励对象的主体资格合法、有效。本次调整在公司2022年第一次临时股东大会授权范围内，调整的程序合法合规，不存在损害公司及股东利益的情形。调整后，首次授予部分限制性股票的激励对象人数由212人调整为206人，将拟向上述6名离职的激励对象授予的限制性股票共计2.00万股调整至本次激励计划确定的其他激励对象，首次授予部分限制性股票授予数量保持87.20万股不变。

　　因此，我们同意公司对2022年限制性股票激励计划首次授予部分相关事项的调整。

　　五、监事会意见

　　监事会认为：公司本次对2022年限制性股票激励计划首次授予部分激励对象名单的调整符合《上市公司股权激励管理办法》、公司《2022年限制性股票激励计划（草案）》及其摘要的相关规定，不存在损害公司股东利益的情形。调整后的首次授予部分激励对象均符合《上市公司股权激励管理办法》、公司《2022年限制性股票激励计划（草案）》及其摘要等相关文件所规定的激励对象条件，其作为本次激励计划首次授予部分的激励对象合法、有效。调整后，首次授予部分限制性股票的激励对象人数由212调整为206人，首次授予部分限制性股票授予数量保持不变。

　　除上述调整内容外，本次实施的限制性股票激励计划其他内容与公司2022年第一次临时股东大会审议通过的《2022年限制性股票激励计划（草案）》的内容一致。根据公司2022年第一次临时股东大会的授权，本次调整无需提交股东大会审议。

　　因此，监事会同意公司对2022年限制性股票激励计划首次授予部分相关事项的调整。

　　六、法律意见书的结论性意见

　　（一）公司本次激励计划调整及首次授予的相关事宜已经取得现阶段必要的批准和授权，符合《公司法》《管理办法》等相关法律法规及《公司章程》《激励计划（草案）》的相关规定。

　　（二）本次激励计划授予限制性股票的授予日、授予对象、授予数量及授予价格符合《公司法》《管理办法》等相关法律法规及《公司章程》《激励计划（草案）》的相关规定。

　　（三）本次激励计划授予限制性股票符合《公司法》《管理办法》等相关法律法规及《公司章程》《激励计划（草案）》规定的获授条件。

　　七、独财财务顾问意见

　　独立财务顾问认为：截止本报告出具日，芯碁微装对2022年限制性股票激励计划首次授予部分激励对象名单的调整符合《上市公司股权激励管理办法》、公司《激励计划（草案）》及其摘要的相关规定，不存在损害公司股东利益的情形。调整后的激励对象均符合《上市公司股权激励管理办法》、公司《激励计划（草案）》及其摘要等相关文件所规定的激励对象条件，其作为本激励计划的激励对象合法、有效。

　　特此公告。

　　合肥芯碁微电子装备股份有限公司董事会

　　2022年4月28日

　　证券代码：688630        证券简称：芯碁微装        公告编号：2022-015

　　合肥芯碁微电子装备股份有限公司

　　第一届监事会第十二次会议决议的公告

　　本公司监事会及全体监事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。

　　一、监事会会议召开情况

　　合肥芯碁微电子装备股份有限公司（以下简称“公司”）第一届监事会第十二次会议于2022年4月17日以电子邮件方式发出通知，2022年4月27日在公司会议室召开。本次会议由监事会主席魏美芹召集并主持，会议应出席监事3名，实际出席监事3名。本次会议召开符合《公司法》等法律、法规及《公司章程》的有关规定。

　　二、监事会审议情况

　　（一）审议通过《关于公司2021年年度报告及摘要的议案》

　　根据相关法律、法规、规范性文件的规定，公司编制了《合肥芯碁微电子装备股份有限公司2021年年度报告》及其摘要，对公司经营情况、财务状况等方面进行了分析总结。

　　表决情况：3票同意，0票弃权，0票反对；获全体监事一致通过。

　　此项议案尚需提交公司2021年年度股东大会审议。

　　具体内容详见公司同日在上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露的《2021年年度报告》及其摘要。

　　（二）审议通过《关于公司2022年一季度财务报告的议案》

　　根据相关法律、法规、规范性文件的规定，公司编制了《合肥芯碁微电子装备股份有限公司2022年第一季度报告》，展现了公司2022年第一季度经营情况。

　　表决情况：3票同意，0票弃权，0票反对；获全体监事一致通过。

　　具体内容详见公司同日在上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露的《2022年第一季度报告》。

　　（三）审议通过《关于公司2021年度财务决算报告的议案》

　　鉴于公司2021年度财务报表已经容诚会计师事务所（特殊普通合伙）审计，出具了标准无保留意见的审计报告。公司财务部根据2021年度的财务运行情况编制了2021年度财务决算报告。

　　表决情况：3票同意，0票弃权，0票反对；获全体监事一致通过。

　　此项议案尚需提交公司2021年年度股东大会审议。

　　（四）审议通过《关于公司2021年度利润分配预案的议案》

　　在综合考虑了公司的行业特点、发展阶段、盈利水平等因素后，拟向全体股东每10股派发现金红利2.00元（含税）。截至2021年12月31日，公司总股本120,800,000股，以此计算合计拟派发现金红利2416万元（含税），本年度公司现金分红占公司2021年度归属于母公司净利润比例为22.76%。

　　表决情况：3票同意，0票弃权，0票反对；获全体监事一致通过。

　　此项议案尚需提交公司2021年年度股东大会审议。

　　具体内容详见公司同日在上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露的《2021年利润分配预案的公告》。

　　（五）审议通过《关于公司2021年度监事会工作报告的议案》

　　公司监事会按照《公司章程》的相关规定，根据公司监事会2021年度工作情况制订了年度工作报告。

　　表决情况：3票同意，0票弃权，0票反对；获全体监事一致通过。

　　此项议案尚需提交公司2021年年度股东大会审议。

　　（六）审议通过《关于续聘容诚会计师事务所（特殊普通合伙）为公司2022年度审计机构的议案》

　　公司聘请的2021年度审计机构为容诚会计师事务所（特殊普通合伙）。该审计机构在2021年度对公司的审计工作中，客观、公正、严谨、认真地履行了职责。拟继续聘请容诚会计师事务所（特殊普通合伙）为本公司2022年度审计机构。

　　表决情况：3票同意，0票弃权，0票反对；获全体监事一致通过。

　　此项议案尚需提交公司2021年年度股东大会审议。

　　具体内容详见公司同日在上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露的《关于续聘会计师事务所的公告》。

　　（七）审议通过《关于使用暂时闲置募集资金和自有资金进行现金管理的议案》

　　为提高募集资金和自有资金使用效率，公司计划使用不超过人民币30000万元（包含本数）暂时闲置募集资金和不超过10000万元（含本数）的暂时自有资金进行现金管理，使用期限不超过董事会审议通过之日起12个月，在上述额度和期限内，资金可循环滚动使用。

　　表决情况：3票同意，0票弃权，0票反对；获全体监事一致通过。

　　具体内容详见公司同日在上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露的《关于使用暂时闲置募集资金和自有资金进行现金管理的公告》。

　　（八）审议通过《关于公司 2021年度募集资金存放与使用情况的专项报告的议案》

　　公司2021年度募集资金存放与实际使用情况的专项报告符合法律法规、《上海证券交易所科创板股票上市规则》《合肥芯碁微电子装备股份有限公司募集资金管理制度》等相关规定，该报告真实、客观的反映了公司2021年度募集资金的存放和实际使用情况。报告期内，公司募集资金实际投入项目与承诺投入项目一致，不存在违规使用募集资金的行为，亦不存在改变或者变相改变募集资金投向和损害股东利益的情形。

　　表决情况：3票同意，0票弃权，0票反对；获全体监事一致通过。

　　具体内容详见公司同日在上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露的《2021年度募集资金存放与使用情况的专项报告》。

　　（九）审议通过《关于2022年度向金融机构申请综合授信额度的议案》

　　为满足公司生产经营需求，同意公司向金融机构申请不超过人民币 70000 万元的综合授信额度，综合授信品种包括但不限于贷款、承兑汇票、贴现、信用证、押汇、保函、代付、保理等。

　　表决情况：3票同意，0票弃权，0票反对；获全体监事一致通过。

　　此项议案尚需提交公司2021年年度股东大会审议。

　　具体内容详见公司同日在上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露的《关于2022年度向金融机构申请综合授信额度的公告》。

　　（十）审议通过《关于公司2022年度董事、监事、高级管理人员薪酬方案的议案》

　　根据《公司法》《证券法》《公司章程》等有关法律、行政法规、部门规章、规范性文件的规定，综合考虑公司的实际情况及行业、地区的薪酬水平和职务贡献等因素，经薪酬与考核委员会确认，拟制定 2022 年度公司董事、监事、高级管理人员薪酬方案。

　　表决情况：3票同意，0票弃权，0票反对；获全体监事一致通过。

　　此项议案尚需提交公司2021年年度股东大会审议。

　　（十一）审议通过《关于首次公开发行股票部分募投项目结项并将节余募集资金永久补充流动资金的议案》

　　鉴于公司募集资金投资项目“高端 PCB 激光直接成像（LDI）设备升级迭代项目”，整体已达到预定可使用状态，申请将该项目予以结项。同时，为满足公司发展需要，提高募集资金使用效率，结合公司当前实际经营情况，公司拟将募投项目结项后的节余募集资金永久性补充流动资金，用于公司日常经营及业务发展。

　　表决情况：3票同意，0票弃权，0票反对；获全体监事一致通过。

　　该议案尚需提交公司2021年年度股东大会审议。

　　具体内容详见公司同日在上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露的《关于首次公开发行股票部分募投项目结项并将节余募集资金永久补充流动资金的公告》。

　　（十二）审议通过《关于调整2022年限制性股票激励计划首次授予部分相关事项的议案》

　　公司本次对2022年限制性股票激励计划（以下简称“本次激励计划”）首次授予部分激励对象名单的调整符合《上市公司股权激励管理办法》、公司《2022年限制性股票激励计划（草案）》及其摘要的相关规定，不存在损害公司股东利益的情形。调整后的首次授予部分激励对象均符合《上市公司股权激励管理办法》、公司《2022年限制性股票激励计划（草案）》及其摘要等相关文件所规定的激励对象条件，其作为本次激励计划首次授予部分的激励对象合法、有效。调整后，首次授予部分限制性股票的激励对象人数由212调整为206人，首次授予部分限制性股票授予数量保持不变。

　　除上述调整内容外，本次实施的限制性股票激励计划其他内容与公司2022年第一次临时股东大会审议通过的《2022年限制性股票激励计划（草案）》的内容一致。根据公司2022年第一次临时股东大会的授权，本次调整无需提交股东大会审议。

　　表决情况：3票同意，0票弃权，0票反对；获全体监事一致通过。

　　具体内容详见公司同日在上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露的《关于调整2022年限制性股票激励计划首次授予部分相关事项的公告》。

　　（十三）审议通过《关于向激励对象首次授予限制性股票的议案》

　　1、对公司2022年限制性股票激励计划的首次授予条件是否成就进行核查后，监事会认为：

　　公司不存在《上市公司股权激励管理办法》等法律、法规和规范性文件规定的禁止实施股权激励计划的情形，公司具备实施股权激励计划的主体资格。

　　本次激励计划首次授予部分的激励对象具备《中华人民共和国公司法》、《中华人民共和国证券法》等法律、法规和规范性文件规定的任职资格，符合《上市公司股权激励管理办法》及《上海证券交易所科创板股票上市规则》规定的激励对象条件，符合公司《2022年限制性股票激励计划（草案）》及其摘要规定的激励对象范围，其作为公司2022年限制性股票激励计划首次授予部分激励对象的主体资格合法、有效。

　　2、对本激励计划的首次授予日进行核查后，监事会认为：

　　公司确定本次激励计划的首次授予日符合《上市公司股权激励管理办法》以及公司《2022年限制性股票激励计划（草案）》及其摘要中有关授予日的相关规定。

　　因此，监事会同意以2022年4月27日为首次授予日，向符合条件的206名首次授予部分激励对象授予87.20万股限制性股票。

　　表决结果：同意3票，弃权0票，反对0票。

　　具体内容详见公司同日在上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露的《关于向激励对象首次授予限制性股票的公告》。

　　特此公告。

　　合肥芯碁微电子装备股份有限公司监事会

　　2022年4月28日

　　证券代码：688630   证券简称：芯碁微装   公告编号：2022-024

　　合肥芯碁微电子装备股份有限公司

　　关于召开2021年年度股东大会的通知

　　本公司董事会及全体董事保证公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。

　　重要内容提示：

　　● 股东大会召开日期：2022年5月18日

　　● 本次股东大会采用的网络投票系统：上海证券交易所股东大会网络投票系统

　　一、 召开会议的基本情况

　　（一） 股东大会类型和届次

　　2021年年度股东大会

　　（二） 股东大会召集人：董事会

　　（三） 投票方式：本次股东大会所采用的表决方式是现场投票和网络投票相结合的方式

　　（四） 现场会议召开的日期、时间和地点

　　召开日期时间：2022年5月18日  14 点 00分

　　召开地点：合肥市高新区长宁大道789号1号楼4楼会议室

　　（五） 网络投票的系统、起止日期和投票时间。

　　网络投票系统：上海证券交易所股东大会网络投票系统

　　网络投票起止时间：自2022年5月18日

　　至2022年5月18日

　　采用上海证券交易所网络投票系统，通过交易系统投票平台的投票时间为股东大会召开当日的交易时间段，即9:15-9:25,9:30-11:30，13:00-15:00；通过互联网投票平台的投票时间为股东大会召开当日的9:15-15:00。

　　（六） 融资融券、转融通、约定购回业务账户和沪股通投资者的投票程序

　　涉及融资融券、转融通业务、约定购回业务相关账户以及沪股通投资者的投票，应按照《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号 — 规范运作》等有关规定执行。

　　（七） 涉及公开征集股东投票权

　　无

　　二、 会议审议事项

　　本次股东大会审议议案及投票股东类型

　　■

　　注：本次股东大会还将听取《公司2021年度独立董事述职报告》。

　　1、 说明各议案已披露的时间和披露媒体

　　上述议案已于2022年4月27日经公司第一届董事会第十七次会议及第一届监事会第十二次会议审议通过，具体内容详见公司于2022年4月28日上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）及指定信息披露媒体上披露的相关公告。公司将在本次股东大会召开前，将会议资料上传至上海证券交易所网站进行披露。

　　2、 特别决议议案：无

　　3、 对中小投资者单独计票的议案：3、6、7、8、9

　　4、 涉及关联股东回避表决的议案：无

　　应回避表决的关联股东名称：无

　　5、 涉及优先股股东参与表决的议案：无

　　三、 股东大会投票注意事项

　　（一） 本公司股东通过上海证券交易所股东大会网络投票系统行使表决权的，既可以登陆交易系统投票平台（通过指定交易的证券公司交易终端）进行投票，也可以登陆互联网投票平台（网址：vote.sseinfo.com）进行投票。首次登陆互联网投票平台进行投票的，投资者需要完成股东身份认证。具体操作请见互联网投票平台网站说明。

　　（二） 同一表决权通过现场、本所网络投票平台或其他方式重复进行表决的，以第一次投票结果为准。

　　（三） 股东对所有议案均表决完毕才能提交。

　　四、 会议出席对象

　　（一） 股权登记日下午收市时在中国登记结算有限公司上海分公司登记在册的公司股东有权出席股东大会（具体情况详见下表），并可以以书面形式委托代理人出席会议和参加表决。该代理人不必是公司股东。

　　■

　　（二） 公司董事、监事和高级管理人员。

　　（三） 公司聘请的律师。

　　（四） 其他人员

　　五、 会议登记方法

　　（一）登记时间：2022年5月17日9:00-11:30，13:30-17:00

　　（二）登记方式：可采用现场登记、信函或传真方式登记，通过信函或传真方式登记的，信函或传真需在2021年5月17日17:00前送达，传真号：0551-63822005。

　　（三）登记地点：合肥市高新区长宁大道789号1号楼2楼证券部

　　（四）登记手续：

　　1、自然人股东亲自出席会议的，应出示本人身份证或其他能够表明其身份的有效证件或证明、股票账户卡；委托代理他人出席会议的，代理人还应出示本人有效身份证件、股东授权委托书。

　　2、法人股东出席会议的应由法定代表人或者法定代表人委托的代理人出席会议。

　　法定代表人出席会议的，应出示法人股东股票账户卡、本人身份证、能证明其具有法定代表人资格的有效证明；委托代理人出席会议的，代理人还应出示本人身份证、法人股东单位的法定代表人依法出具的书面授权委托书。出席会议的股东及股东代理人请携带相关证件原件到场。

　　3、公司不接受电话方式办理登记。

　　六、 其他事项

　　（一）本次现场会议出席者食宿及交通费自理。

　　（二）鉴于疫情防控需要，公司建议各位股东、股东代理人尽量通过网络投票方式参会。确需参加现场会的，请确保个人近期无中高风险地区旅居史，并请务必保持个人体温正常、无呼吸道不适等症状。会议当日，公司会按疫情防控要求对前来参会者进行体温测量和登记，请股东、股东代理人出示健康码（绿码）、行程码（无带星）、携带48小时有效的核酸检测证明、相关证件、佩戴口罩，在测温正常条件下提前半小时到达会议现场办理签到。

　　（三）会议联系方式

　　通讯地址：合肥市高新区长宁大道789号1号楼2楼证券部

　　邮编：230000

　　电话：0551-63826207

　　电子邮箱：yzwei@cfmee.cn

　　联系人：魏永珍

　　特此公告。

　　合肥芯碁微电子装备股份有限公司董事会

　　2022年4月28日

　　附件1：授权委托书

　　● 报备文件

　　提议召开本次股东大会的董事会决议

　　附件1：授权委托书

　　授权委托书

　　合肥芯碁微电子装备股份有限公司：

　　兹委托     先生（女士）代表本单位（或本人）出席2022年5月18日召开的贵公司2021年年度股东大会，并代为行使表决权。

　　委托人持普通股数：

　　委托人持优先股数：

　　委托人股东帐户号：

　　■

　　委托人签名（盖章）： 　　　　　　　　受托人签名：

　　委托人身份证号： 　　　　　　　　　　受托人身份证号：

　　委托日期：　　年 月 日

　　备注：

　　委托人应在委托书中“同意”、“反对”或“弃权”意向中选择一个并打“√”，对于委托人在本授权委托书中未作具体指示的，受托人有权按自己的意愿进行表决。

　　公司代码：688630        公司简称：芯碁微装

　　第一节 重要提示

　　1 本年度报告摘要来自年度报告全文，为全面了解本公司的经营成果、财务状况及未来发展规划，投资者应当到上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）网站仔细阅读年度报告全文。

　　2 重大风险提示

　　报告期内，不存在对公司生产经营产生实质性影响的特别重大风险。公司已在报告中详细描述可能存在的相关风险，敬请查阅第三节管理层讨论与分析“四、风险因素”部分内容。

　　3 本公司董事会、监事会及董事、监事、高级管理人员保证年度报告内容的真实性、准确性、完整性，不存在虚假记载、误导性陈述或重大遗漏，并承担个别和连带的法律责任。

　　4 公司全体董事出席董事会会议。

　　5 容诚会计师事务所（特殊普通合伙）为本公司出具了标准无保留意见的审计报告。

　　6 公司上市时未盈利且尚未实现盈利

　　□是     √否

　　7 董事会决议通过的本报告期利润分配预案或公积金转增股本预案

　　经公司第一届董事会第十七次会议审议，公司2021年度利润分配方案拟定如下：以本次权益分派股权登记日总股本120,800,000股为基数，向全体股东每10股派发现金股利人民币2.00元（含税），共计分配现金股利人民币24,160,000.00元（含税），不送股、不以资本公积转增股本，剩余未分配利润结转至下一年度。

　　上述利润分配预案已由独立董事发表独立意见，该利润分配预案需经公司2021年年度股东大会审议通过后实施。

　　8 是否存在公司治理特殊安排等重要事项

　　□适用    √不适用

　　第二节 公司基本情况

　　1 公司简介

　　公司股票简况

　　√适用    □不适用

　　■

　　公司存托凭证简况

　　□适用    √不适用

　　联系人和联系方式

　　■

　　2 报告期公司主要业务简介

　　(一) 主要业务、主要产品或服务情况

　　1、主要业务及主营产品

　　公司专业从事以微纳直写光刻为技术核心的直接成像设备及直写光刻设备的研发、制造、销售以及相应的维保服务，主要产品及服务包括PCB直接成像设备及自动线系统、泛半导体直写光刻设备及自动线系统、其他激光直接成像设备以及上述产品的售后维保服务，产品功能涵盖微米到纳米的多领域光刻环节。

　　主要产品及应用领域如下表所示：

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　　(二) 主要经营模式

　　（1）盈利模式

　　公司主要通过向下游PCB领域、泛半导体领域的客户销售设备并提供相应的周期性设备维保服务实现营业收入及利润。此外，公司还提供少量的设备租赁，并在租赁期内收取租赁费。

　　（2）研发模式

　　公司导入了IPD研发管理体系，研发模式以自主研发为主，技术开发管理部IPD项目组是研发项目的归口管理部门，负责组织项目立项、评审和验收等管理工作。报告期内，公司对研发部门进行了调整，分别为承担基础研发工作的技术研发中心（进行前瞻性技术研究和公共技术模块开发以有效支撑各产品线产品开发）、以及进行各类产品线开发的泛半导体产品线、PCB产品线、自动线产品线。

　　公司按照集成产品开发IPD模式进行产品开发，主要研发流程包括：（1）根据市场、客户需求及技术发展趋势，市场部门与产品线配合进行充分市场调研后发起项目立项并制定初步产品开发计划；（2）立项通过后，进行系统架构和核心技术可行性的分析验证，并确认产品开发计划；（3）系统详细设计，包括系统子模块设计（光学模块、机械模块、电子模块、数据电子及软件）和诸可性设计（可测试性、可维护性、可靠性等）（4）详细设计通过审核后，进入研发样机制造与测试验证；（5）研发样机验证通过后，安排小批量进行可生产性验证，并安排客户端验证；（6）客户端验证通过后，移交产品制造中心进行量产，转入产品生命周期维护阶段。——在整个研发过程阶段节点，会分别从技术和商业成功两条主线安排评审，确保产品开发结果符合预期。

　　（3）采购模式

　　在产品制造过程中，所需的主要材料包括核心组件和零部件。针对运动平台及组件、图形生成模块、光路组件、曝光光源、自动控制组件等核心组件及非标准零部件，公司通过提供设计方案、图纸和参数委托选定的优质供应商定制生产；或因为功能模块的特殊需求以及出于成本控制和供应链安全的考虑，公司在评估模块自设计和集成能力的前提下，通过购买标准核心组件后再进行二次开发。针对常规标准零部件，公司面向市场进行独立采购。

　　为保证核心组件、零部件的品质，公司制定了严格、科学的采购制度，从供应商选择、价格谈判、质量检验到物料入库的全过程，均实行有效的内控管理。具体采购方式有以下三种：（1）谈判式采购：对于核心组件和非标准零部件，为了确保产品的质量可靠，只备选国内外几家知名的供应商，建立稳定的合作关系，定期谈判以最优供货条件确定最终的供货方；（2）竞争性采购：对于常规标准零部件采取竞争性采购，遴选的条件包括质量、价格、付款条件、交期、服务等；（3）零星采购：对于价值低且需求量大的零部件，采用网上询价的方式。

　　对于部分交货期较长的进口核心组件，为缩短公司产品交货期，公司根据市场及订单情况预测做适量的策略性库存储备。为保证核心组件和零部件的供货质量，公司建立了供应商考核评价体系，根据质量、价格、交期等考核指标对供应商进行综合评分，优胜劣汰。

　　（4）生产模式

　　按照产品特点及市场销售规律，公司采用“标准化生产+定制化生产”安排生产计划，主要采用自主生产模式，部分电路板焊接等非核心工序委托外协厂商生产。

　　A：标准化生产+定制化生产

　　标准化生产模式主要是针对PCB直接成像设备的生产。PCB直接成像设备主要用于PCB规模化量产，一般情况下客户的定制化需求较少，客户需求标准相对统一，该设备主要采用标准化的生产模式。该模式下，公司根据客户下达的订单情况和对市场的需求预测来制定生产计划。对于市场需求稳定、销量高的设备，公司会维持一定数量的产品库存，以保证较短的交货周期。

　　定制化模式主要针对高端战略客户进行产品开发。此类产品需要根据客户的定制需求进行研发、生产，故主要采用定制化生产模式，实行以销定产。

　　B：自主生产+外协生产

　　生产过程中的零部件和模块组装、物理光学调试等核心工序由公司自主独立完成，公司从合作供应商处采购电子元器件、PCB 等原材料，然后将电路板焊接等非核心工序委托外协厂商完成。外协生产模式下，公司向外协厂商提供电子元器件、PCB 等原材料，外协厂商按照公司的产品规格、图纸、质量标准和工艺流程文件进行生产。市场上可供选择的同类型外协厂商较多，公司不存在依赖单一外协厂商的情形。

　　（5）销售模式

　　公司采用直销为主，经销为辅的销售模式。

　　首先，公司获取客户资源的方式分为五种情况：一是公司随着产品性能及服务口碑的提升，建立了很好的品牌知名度，客户主动获取公司信息，与公司进行商洽；二是公司根据业务规划，主动与相关领域内的客户取得联系；三是已有的存量客户有新需求后，与公司进一步合作；四是公司通过展会、专业协会、技术交流会等相关活动获取客户信息；五是公司通过经销商、代理商获取客户信息。

　　其次，在销售与服务机构的设置方面，公司设有深圳分公司、苏州子公司、台湾办事处等，能够覆盖华南、华东、华中以及台湾地区的市场销售及售后服务。同时，报告期内，公司通过经销代理商模式拓展海外市场。通过多年的市场积累，公司的成功销售案例在下游客户市场中建立了良好的口碑，为公司开拓新客户提供了良好的市场基础。

　　第三，在销售服务的内部部门协同方面，公司的市场部、研发部门与客户有着良性且深入的沟通，切实解决客户的痛点问题，维持和不断强化与客户之间良好的供销关系。

　　第四，公司设备销售主要有三种形式：（1）直接与客户签订销售合同；（2）与客户先签订试用合同，试用期满后确认合格后再进一步签署销售合同。随着公司品牌及影响力提升，与客户签订试用合同的销售模式占比很小。（3）与经销代理商签署合同，由其负责相关区域产品推广及销售。

　　(三) 所处行业情况

　　1. 行业的发展阶段、基本特点、主要技术门槛

　　公司生产的直接成像设备及自动线系统、直写光刻设备及自动线系统主要应用在下游PCB行业、泛半导体行业的制造环节，设备的市场需求同下游PCB、泛半导体产业的繁荣程度紧密相关，具体可以进一步细分为PCB、半导体及显示行业。

　　（1）PCB行业情况

　　PCB板是承载电子元器件并连接电路的桥梁，作为电子产品之母，广泛应用于通讯电子、消费电子、计算机、汽车电子、工业控制、医疗器械、国防及航空航天等领域，其行业发展呈现如下趋势：

　　①全球PCB行业规模大，国内PCB市场占有率不断提升，产业向国内转移趋势明显

　　据Prismark预估，2021年全球PCB产值约为 804.49亿美元，同比增长约23.4%；预计2021-2026年全球PCB产值复合增长率约为4.8%，2026年全球PCB产值将达到约1,015.59亿美元。根据Prismark数据，2021年中国PCB产值350亿美元，占全球的43.5%；2021-2026年中国PCB产值复合增长率约为4.6%，预计到2026年中国PCB产值将达到约546.05亿美元，占全球的53.8%。随着通信、服务器、数据存储及新能源等领域需求的持续拉动，叠加贸易争端及新冠疫情等因素，全球PCB产业往中国转移态势明显。

　　②高端PCB产品占比不断提升

　　随着下游电子产品向便携、轻薄、高性能等方向发展，PCB产业逐渐向高密度、高集成、细线路、小孔径、大容量、轻薄化的方向发展，PCB产品结构不断升级。多层板、HDI板、柔性板中高阶PCB产品市场份额占比不断提升，根据Prismark预测，预计到2025年，HDI、柔性板、类载板等占比将提升至52.6%。

　　③服务器/数据存储、汽车产业、手机、通信板块等行业PCB需求强劲

　　从产品结构上看，根据Prismark预测，如下图所示，2021-2026年服务器/数据存储、汽车产业、手机、通信板块对PCB需求呈现高增长态势。

　　■

　　④PCB行业保持良好增长态势，持续拉动曝光设备需求

　　随着PCB产业规模不断增长、产业向国内转移，同时服务器/数据存储、汽车产业、手机、通信板块等行业对PCB强劲需求，给PCB曝光设备带来了新增的市场机会；其次，PCB产品往高阶发展，催生现有PCB曝光设备的更新换代，直接成像设备替代现有传统曝光设备需求强劲。

　　（2）半导体行业情况

　　在半导体领域，公司直写光刻设备可用于制版，IC、功率分立器件、MEMS等芯片的制造、先进封装、封装基板制作等领域。行业发展呈现如下趋势：

　　①多领域细分行业增长迅速，共同带动光刻设备规模增长

　　★ IC载板下游需求强劲，国产替代进程加速

　　根据prismark数据，2022年全球IC载板产值预计为88亿美元，预计2025年中国IC载板产值将会达到412亿元，增量来源于存储芯片和MEMS等领域的推动。受疫情及贸易摩擦影响，IC载板国产替代加速推进，国内厂商积极投建IC载板项目。

　　★ 先进封装复合增长迅速，光刻设备需求增加

　　Yole Developpement 预测，随着后摩尔时代到来，先进封装市场预计将在 2019-2025 年间以8% 的复合年增长率增长，市场规模在2025年将达到420亿美元，预计2027年国内先进封装市场规模达到667.4亿元，占封装市场规模的18.53%。封装厂商积极布局先进封装业务，由此带来的光刻设备需求不断增加。

　　★ 引线框架往高集成方向发展，国产替代诉求迫切

　　集成电路封装向高集成、高性能、多引线、窄间距为特征的高密度方向发展，刻蚀类引线框架需求及占比不断增加。引线框架国内厂商市占率不足5%，疫情、供应链安全导致行业缺货严重，国产替代诉求较为迫切。

　　★ 新能源及汽车领域拉动功率器件市场需求

　　在功率及分立器件市场，新能源及汽车领域带来强劲需求，国产替代空间大，根据IHS 的数据，2020 年全球功率半导体市场规模为422 亿美元，同比增长4.6%，其中，中国功率半导体市场规模为153 亿美元，同比增长6.3%。IGBT是目前发展最快的功率半导体器件之一，据集邦咨询数据，中国是全球最大的IGBT市场，受益于新能源、新能源汽车、工业控制等领域的需求大幅增加，中国IGBT市场规模将持续增长，到2025年，中国IGBT市场规模将达到522亿人民币，年复合增长率达19.11%。

　　②全球半导体设备需求屡创新高，我国半导体设备迎来国产替代良好契机

　　根据SEMI数据，2021年半导体制造设备全球销售总额将达到1030亿美元的新高，比2020年的710亿美元的历史记录增长44.7%。预计2022年全球半导体制造设备市场总额将扩大到1140亿美元。过去 5 年（2017-2021年Q3）国内半导体设备销售额增速较全球增速平均高出 17.4%，国内需求明显强劲。随着全球贸易争端、新冠疫情反复的影响，加之我国大力扶持半导体产业发展，国产设备迎来进口替代良好契机。

　　③公司半导体市场应用场景不断拓展，直写光刻技术优势凸显

　　在全球经济步入后疫情时代，加之国际贸易形势多变，上述半导体细分市场迎来发展机遇，公司充分利用半导体市场快速增长的态势，结合公司在直写光刻技术领域的领先及品牌优势，与半导体大客户建立战略合作，迅速拓展了IC载板、先进封装、引线框架等市场。

　　（3）新型显示快速增长，公司设备覆盖产业链多个环节

　　①Mini/Micro–LED /micro-OLED等新型显示快速增长

　　据 Arizton 预测， 2021-2024 全球 Mini LED 市场规模有望从 1.5 亿美元增至 23.2 亿美元，其间每年同比增速皆高达 140%以上。

　　②2021年为Mini背光方案放量元年

　　苹果三星相继推出相关产品，TV、IT应用商业化加速渗透。2021 年为 Mini LED TV 放量元年，出货量有望突破 400 万台，快速放量至OLED的60%。Omdia 预测 2025 年全球 Mini LED 背光 TV 产品销量将增至 5280万台， 2019-2025 CAGR 53.73%。车载屏等同时会促进Mini-LED放量。

　　③公司设备覆盖产业链多个环节

　　Mini-LED产业链可大致分为芯片、封装/巨量转移与打件、面板、系统（组装）、品牌五个环节，公司设备可用于封装、基板制作等。随着厂商加速对新型显示投资，由此带来的光刻设备需求增加。

　　（4）主要技术门槛

　　光刻设备产业属于技术密集型、资金密集型产业，具有较高的技术、资金门槛，设备涵盖多门学科（光、机、电、软、算）的综合技术应用，在核心技术研发上具有研发周期长、研发风险高和研发投入大等特点。随着PCB及泛半导体应用环境的不断发展，电子器件结构趋于复杂， 集成度越来越高，对光刻设备相关性能指标提出了更高的要求。

　　2. 公司所处的行业地位分析及其变化情况

　　公司是国内最早从事直写光刻设备开发的企业之一，是国内首家光刻设备上市公司。核心技术团队成员具备三十多年的高端装备开发经验，深耕行业多年。凭借着产品技术、服务及品牌优势，公司在泛半导体领域打破了国际垄断，产品性能已比肩国际厂商，产品技术及市场份额国内领先。

　　3. 报告期内新技术、新产业、新业态、新模式的发展情况和未来发展趋势

　　全球泛半导体、PCB行业需求增长强劲，叠加贸易争端及新冠疫情等因素，产业往中国转移态势明显，国产替代进程加速，国产设备厂商迎来历史性机遇。随着高端芯片及PCB占比不断提升，新能源、汽车、服务器、存储器细分行业政策及需求的持续拉动，新型显示等应用场景的增加，厂商投建进程加快，对应光刻设备需求不断增加。

　　3 公司主要会计数据和财务指标

　　3.1 近3年的主要会计数据和财务指标

　　单位：元  币种：人民币

　　■

　　3.2 报告期分季度的主要会计数据

　　单位：元  币种：人民币

　　■

　　季度数据与已披露定期报告数据差异说明

　　□适用      √不适用

　　4 股东情况

　　4.1 普通股股东总数、表决权恢复的优先股股东总数和持有特别表决权股份的股东总数及前 10 名股东情况

　　单位: 股

　　■

　　存托凭证持有人情况

　　□适用    √不适用

　　截至报告期末表决权数量前十名股东情况表

　　√适用    □不适用

　　单位:股

　　■

　　4.2 公司与控股股东之间的产权及控制关系的方框图

　　√适用      □不适用

　　■

　　4.3 公司与实际控制人之间的产权及控制关系的方框图

　　√适用      □不适用

　　■

　　4.4 报告期末公司优先股股东总数及前10 名股东情况

　　□适用    √不适用

　　5 公司债券情况

　　□适用    √不适用

　　第三节 重要事项

　　1 公司应当根据重要性原则，披露报告期内公司经营情况的重大变化，以及报告期内发生的对公司经营情况有重大影响和预计未来会有重大影响的事项。

　　报告期内，公司实现营业收入49,224.51万元，同比增长58.74%；实现归属于上市公司股东净利润10,615.73万元，同比增长49.44%。公司主要业务增长来自于PCB及泛半导体领域业务增长，其中PCB业务同比增长47.61%；泛半导体业务增长迅速，同比增长393.49%。报告期内经营活动产生的现金流量净额3,021.87万元，同比上升150.61%，主要系营业收入规模增加，回款力度加大所致。

　　2 公司年度报告披露后存在退市风险警示或终止上市情形的，应当披露导致退市风险警示或终止上市情形的原因。

　　□适用      √不适用