合肥芯碁微电子装备股份有限公司
2021年度利润分配预案的公告

　　证券代码：688630    证券简称：芯碁微装   公告编号：2022-016

　　本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性承担法律责任。

　　重要内容提示：

　　● 每股分配比例：每10股派发人民币2.00元现金股利（含税）。

　　● 本次利润分配以实施权益分派股权登记日登记的总股本为基数，具体日期将在权益分派实施公告中明确。

　　● 在实施权益分派的股权登记日前公司总股本发生变动的，拟维持每股分配比例不变，相应调整利润分配总额，并将另行公告具体调整情况。

　　● 本年度现金分红比例低于30%的原因为：公司处于快速发展阶段，需要投入大量资金用于技术研发以及市场开拓。

　　一、利润分配方案内容

　　经容诚会计师事务所（特殊普通合伙）审计确认，截至2021年12月31日，合肥芯碁微电子装备股份有限公司（以下简称“芯碁微装”或“公司”）期末可供分配利润为：193,273,964.40元。经董事会决议，公司2021年年度拟以实施权益分派股权登记日登记的总股本为基数分配利润，具体分配方案如下：

　　公司拟向全体股东每10股派发现金红利2.00元（含税）。截至2021年12月31日，公司总股本120,800,000股，以此计算合计拟派发现金红利24,160,000元（含税），占2021年度归属于母公司股东净利润的22.76%；不送红股、不以资本公积转增股本。

　　如在本公告披露之日起至实施权益分派股权登记日期间，因可转债转股/回购股份/股权激励授予股份回购注销/重大资产重组股份回购注销等致使公司总股本发生变动的，公司拟维持每股分配比例不变，相应调整利润分配总额。如后续总股本发生变化，将另行公告具体调整情况。

　　本次利润分配方案尚需提交2021年年度股东大会审议。

　　二、关于2021年度利润分配预案的情况说明

　　报告期内，公司盈利106,157,288.87元，母公司累计未分配利润为193,452,772.69元，上市公司拟分配的现金红利总额为24,160,000元，占本年度归属于上市公司股东的净利润比例低于30%。具体原因如下：

　　（一）公司所处行业情况及特点

　　公司产品主要应用在PCB行业、泛半导体行业的制造环节，设备的市场需求同下游PCB、泛半导体产业的繁荣程度紧密相关。公司所处行业是一个全球化程度较高的行业，其发展呈现一定的周期性。当宏观经济和终端消费市场需求变化较大时，下游厂商会调整其资本性支出和对设备的采购计划，从而对公司的营业收入和盈利产生影响。

　　在全球贸易争端不断、世界经济增长放缓、疫情影响尚未结束、国内经济下行压力加大的背景下，PCB、泛半导体产业及其设备行业呈现震荡发展态势，公司需留存一定资金应对复杂的环境变化。

　　（二）公司发展阶段和自身经营模式

　　公司主要通过向下游PCB、泛半导体领域的客户销售PCB直接成像设备及自动线系统、泛半导体直写光刻设备及自动线系统，并提供相应的周期性设备维保服务实现营业收入及利润。

　　目前公司处于快速发展阶段，需要投入大量资金用于技术研发以及市场开拓等。

　　（三）公司盈利水平及资金需求

　　2021年度公司实现归属于上市公司股东的净利润为106,157,288.87元，母公司实现的净利润为106,294,722.58元，公司盈利能力不断增强，整体财务状况向好。

　　公司始终秉承“成为国产光刻机世界品牌”的奋斗目标，在“依托自有核心技术，加大研发力度，开拓新型应用领域”及“整合行业资源，打造高端装备产业供应链”的战略发展方向下，公司不断对现有产品进行改进和升级，满足客户对高性能直接成像设备及直写光刻设备的需求，积极融入全球化的竞争格局。在此过程中，公司将继续吸引国内及国际一流技术人才，持续投入研发力量。同时，为适应经营规模的快速发展，公司将进一步提升质量管控和内部管理水平，不断做大做强，为全体股东创造较好的投资回报。在此过程中，公司需要更多的资金以保障上述目标的实现。

　　（四）公司现金分红水平较低的原因

　　目前公司正处于快速发展的重要阶段，经营规模不断扩大，需要大量资金的支持。

　　（五）公司留存未分配利润的确切用途以及预计收益情况

　　公司2021年度剩余未分配利润将累积滚存至下一年度，以满足公司生产经营和项目研发带来的营运资金的需求。公司将继续严格按照相关法律法规和《公司章程》等规定，综合考虑与利润分配相关的各种因素，从有利于公司发展和投资者回报的角度出发，积极履行公司的利润分配政策，与广大投资者共享公司发展的成果。

　　三、公司履行的决策程序

　　（一）董事会会议的召开、审议和表决情况

　　公司于2022年4月27日召开了第一届董事会第十七次会议，审议通过了《关于公司2021年度利润分配预案的议案》，同意公司拟定的利润分配方案并将该议案提交2021年年度股东大会审议。

　　（二）独立董事意见

　　独立董事认为：公司董事会拟定的2021年度利润分配预案符合公司实际情况，兼顾了公司与全体股东的利益，不存在损害投资者利益的情况，符合相关法律法规及《公司章程》的规定，有利于公司持续、稳定、健康发展。同意该议案并将该议案提交2021年年度股东大会审议。

　　（三）监事会意见

　　公司于2022年4月27日召开第一届监事会第十二次会议审议通过了《关于公司2021年度利润分配预案的议案》，该议案与公司发展规划相符，有利于公司的正常经营和健康发展，具备合法性、合规性、合理性，符合公司及全体股东的利益。同意该议案并将该议案提交2021年年度股东大会审议。

　　四、相关风险提示

　　（一）本次利润分配方案结合了公司发展阶段、未来的资金需求等因素，不会对公司经营现金流产生重大影响，不会影响公司正常经营和长期发展。

　　（二）本次利润分配方案尚需提交公司2021年年度股东大会审议通过后方可实施。

　　特此公告。

　　合肥芯碁微电子装备股份有限公司董事会

　　2022年 4月28日

　　证券代码：688630    证券简称：芯碁微装    公告编号：2022-019

　　合肥芯碁微电子装备股份有限公司

　　关于续聘会计师事务所的公告

　　本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性承担个别及连带责任。

　　重要内容提示：

　　● 拟聘任的会计师事务所名称：容诚会计师事务所（特殊普通合伙）（以下简称“容诚事务所”）

　　合肥芯碁微电子装备股份有限公司（以下简称“芯碁微装”或“公司”）于2022年4月27日召开的第一届董事会第十七次会议和第一届监事会第十二次会议审议通过了《关于续聘容诚会计师事务所（特殊普通合伙）为公司2022年度审计机构的议案》，公司拟续聘容诚事务所担任公司2022年度审计机构。现将相关事项公告如下：

　　一、拟聘任会计师事务所的基本情况

　　（一）机构信息

　　1.基本信息

　　容诚事务所由原华普天健会计师事务所（特殊普通合伙）更名而来，初始成立于1988年8月，2013年12月10日改制为特殊普通合伙企业，是国内最早获准从事证券服务业务的会计师事务所之一，长期从事证券服务业务。注册地址为北京市西城区阜成门外大街22号1幢外经贸大厦901-22至901-26，首席合伙人肖厚发。

　　2.人员信息

　　截至2021年12月31日，容诚会计师事务所共有合伙人160人，共有注册会计师1131人，其中504人签署过证券服务业务审计报告。

　　3.业务规模

　　容诚会计师事务所经审计的2020年度收入总额为187,578.73万元，其中审计业务收入163,126.32万元，证券期货业务收入73,610.92万元。

　　容诚会计师事务所共承担274家上市公司2020年年报审计业务，审计收费总额31,843.39万元，客户主要集中在制造业（包括但不限于计算机、通信和其他电子设备制造业、专用设备制造业、电气机械和器材制造业、化学原料和化学制品制造业、汽车制造业、医药制造业）及信息传输、软件和信息技术服务业，建筑业，批发和零售业，水利、环境和公共设施管理业，交通运输、仓储和邮政业，科学研究和技术服务业，金融业，电力、热力、燃气及水生产和供应业，文化、体育和娱乐业，采矿业等多个行业。容诚会计师事务所合肥芯碁微电子装备股份有限公司所在的相同行业上市公司审计客户家数为185家。

　　4.投资者保护能力

　　容诚会计师事务所已购买注册会计师职业责任保险，职业保险购买符合相关规定；截至2021年12月31日累计责任赔偿限额9亿元。

　　近三年在执业中无相关民事诉讼承担民事责任的情况。

　　5.独立性和诚信记录

　　容诚会计师事务所近三年因执业行为受到刑事处罚 0 次、行政处罚 0 次、监督管理措施 1 次、自律监管措施 1 次、纪律处分 0 次。

　　5名从业人员近三年在容诚会计师事务所执业期间因执业行为受到自律监管措施1次；11名从业人员近三年在容诚会计师事务所执业期间受到监督管理措施各1次。

　　10名从业人员近三年在其他会计师事务所执业期间受到监督管理措施各1次。

　　（二）项目成员信息

　　1.基本信息

　　项目合伙人：王彩霞，2011年成为中国注册会计师，2011年开始从事上市公司审计业务，2009年开始在容诚会计师事务所执业，2022年开始为公司提供审计服务；近三年签署过悦康药业、合锻智能等多家上市公司审计报告。

　　项目签字注册会计师：陈林曦，2022年成为中国注册会计师，2015年开始从事上市公司审计业务，2015年开始在容诚会计师事务所执业，2021年开始为公司提供审计服务。

　　项目质量控制复核人：孔晶晶，2011年成为中国注册会计师，2009年开始从事上市公司审计业务，2009年开始在容诚会计师事务所执业；近三年签署过长信科技等多家上市公司审计报告。

　　2.上述相关人员诚信记录情况

　　项目合伙人王彩霞、签字注册会计师陈林曦、项目质量控制复核人孔晶晶近三年内未曾因执业行为受到刑事处罚、行政处罚、监督管理措施和自律监管措施、纪律处分。

　　3.独立性

　　容诚会计师事务所及上述人员不存在违反《中国注册会计师职业道德守则》对独立性要求的情形。

　　（三）审计收费

　　审计收费定价原则：根据本公司的业务规模、所处行业和会计处理复杂程度等多方面因素，并根据本公司年报审计需配备的审计人员情况和投入的工作量以及事务所的收费标准确定最终的审计收费。本期（2021）审计收费55万元，上期（2020）审计收费50万元。

　　二、拟续聘会计事务所履行的程序

　　（一）审计委员会的履职情况及审查意见

　　公司审计委员会意见：容诚事务所在2021年度对公司的审计工作中，客观、公正、严谨、认真地履行了职责。拟继续聘请容诚事务所为公司2022年度审计机构。审计委员会同意将该议案提交董事会审议。

　　（二）独立董事的事前认可情况及独立意见

　　独立董事的事前认可意见：容诚事务所具备证券、期货相关业务执业资格，具备为公司提供审计服务的经验与能力，能够为公司提供真实公允的审计服务，满足公司2022年度审计工作的要求。公司拟续聘会计师事务所的审议程序符合有关法律、法规和《公司章程》的规定，不存在损害公司及全体股东利益的情况。

　　独立董事独立意见：容诚事务所在历年的审计过程中能够严格按照《企业会计准则》等有关规定进行审计，出具的财务报告能够准确、真实、客观地反映公司的财务状况和经营成果。因此，我们认为聘请容诚事务所作为公司2022年度审计机构符合公司及股东的利益，同意续聘容诚事务所为公司2022年度审计机构。

　　（三）董事会及监事会审议情况

　　公司于2022年4月27日召开第一届董事会第十七次会议和第一届监事会第十二次会议，审议通过了《关于续聘容诚会计师事务所（特殊普通合伙）为公司2022年度审计机构的议案》，同意公司继续聘请容诚事务所为公司2022年度审计机构。

　　（四）本次聘任会计师事务所事项尚需提交公司2021年年度股东大会审议，并自公司2021年年度股东大会审议通过之日起生效。

　　特此公告。

　　合肥芯碁微电子装备股份有限公司董事会

　　2022年4月28日

　　证券代码：688630    证券简称：芯碁微装    公告编号：2022-020

　　合肥芯碁微电子装备股份有限公司

　　关于首次公开发行股票部分募投项目结项并将节余募集资金永久补充流动资金的

　　公告

　　本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。

　　合肥芯碁微电子装备股份有限公司（以下简称“公司”）于2022年4月27日召开第一届董事会第十七次会议、第一届监事会第十二次会议，审议通过了《关于首次公开发行股票部分募投项目结项并将节余募集资金永久补充流动资金的议案》，同意公司将首次公开发行募集资金部分投资项目“高端PCB激光直接成像（LDI）设备升级迭代项目”结项并将节余募集资金用于永久补充公司流动资金。公司独立董事对该事项发表了明确的同意意见。本议案尚需提交公司股东大会审议，具体情况如下：

　　一、募集资金的基本情况

　　根据中国证券监督管理委员会《关于同意合肥芯碁微电子装备股份有限公司首次公开发行股票注册的批复》（证监许可[2021]350号）的批准，公司首次公开发行人民币普通股（A股）股票3,020.2448万股，募集资金总额人民币459,983,283.04元，募集资金净额为人民币416,358,195.95元。上述资金已于2021年3月29日全部到位，并存放于公司开设的募集资金专项账户内。容诚会计师事务所（特殊普通合伙）对前述事项进行了审验，并出具《合肥芯碁微电子装备股份有限公司验资报告》（容诚验字【2021】230Z0034号）。

　　二、首次公开发行股票募集资金存放及管理情况

　　为规范公司募集资金管理，保护公司股东特别是中小投资者的合法权益，根据《上市公司监管指引第2号——上市公司募集资金管理和使用的监管要求》等法律法规要求，公司开立了募集资金专项账户（以下简称“专户”），对募集资金进行了专户存储，并与保荐机构海通证券股份有限公司、存放募集资金的商业银行签署了《募集资金专户存储三方监管协议》。详细情况请参见公司已于2021年3月31日披露于上海证券交易所网站（http://www.sse.com.cn）的《首次公开发行股票科创板上市公告书》。

　　三、募集资金投资项目的情况

　　由于公司首次公开发行实际募集资金净额少于拟投入的募集资金金额，公司召开第一届董事会第十次会议和第一届监事会第六次会议审议通过了《关于调整部分募集资金投资项目拟投入募集资金金额的议案》（具体详见公司于2021年4月8日披露于上海证券交易所网站（http://www.sse.com.cn）的《关于调整部分募集资金投资项目拟投入募集资金金额的公告》），经调整后，公司本次发行募集资金投资项目情况如下：

　　单位：人民币万元

　　■

　　四、本次结项募投项目募集资金的存储及节余情况

　　公司本次结项的募集资金投资项目为“高端PCB激光直接成像（LDI）设备升级迭代项目”。截至2022年3月31日，该项目已基本完成投资，产线及设备已达到可使用状态并投入使用。

　　（一） 本次结项募集资金专户存储情况

　　本次结项募集资金投资项目“高端PCB激光直接成像（LDI）设备升级迭代项目”，截至2022年3月31日，募集资金存储情况如下：

　　单位：人民币万元

　　■

　　（二） 本次结项项目募集资金节余情况

　　截至2022年3月31日，本次结项项目募集资金使用情况以及节余情况如下：

　　单位：人民币万元

　　■

　　注：募集资金预计剩余金额未包含尚未收到的银行利息收入，最终转入公司自有资金账户的金额以资金转出当日专户余额为准。

　　五、募集资金节余主要原因

　　截至2022年3月31日，“高端PCB激光直接成像（LDI）设备升级迭代项目”预计投入与实际投入差异情况如下：

　　单位：人民币万元

　　■

　　项目集资金节余主要原因如下：

　　（一）场地建设为政府代建，整体开票，场地建设投资包含部分动力设备，导致场地建设投资支出加大、设备投资减少。

　　（二）为了节约成本，部分设备采取自制，节约了设备投资金额。

　　（三）本募投项目所需的部分生产和研发设备自2019年初至今市场售价呈下降趋势，进一步节约了设备购置费用。

　　（四）在募投项目建设过程中，公司从项目的实际情况出发，在保证项目质量的前提下，坚持谨慎、节约的原则，加强项目建设各个环节费用的控制、监督和管理，通过生产线相关设备维修重复利用等方式，合理降低了设备总支出。

　　（五）募集资金在存储过程中产生了利息收入和现金管理投资收益。

　　六、节余募集资金的使用计划

　　“高端PCB激光直接成像（LDI）设备升级迭代项目”已基本完成投资，产线及设备已达到可使用状态，目前产品已发货到相关客户。为提高募集资金的使用效率，改善公司资金状况，提升经济效益，公司拟将节余募集资金人民币6,825.18万元（实际金额以资金转出当日专户余额为准）永久性补充流动资金，用于公司日常经营活动。

　　节余募集资金转出后，公司将办理销户手续，注销相关募集资金账户，公司与保荐机构、项目实施主体、开户银行签署的募集资金专户监管协议随之终止。

　　七、专项意见说明

　　（一）独立董事意见

　　独立董事认为：公司首次公开发行股票部分募投项目“高端PCB激光直接成像（LDI）设备升级迭代项目”结项并将节余募集资金用于永久补充公司流动资金，将进一步充盈公司主营业务的现金流，有利于公司主营业务发展、提高公司资金利用效率，符合公司和全体股东的利益，不存在损害公司或股东利益的情形。

　　该事项的内容和决策程序符合《上市公司监管指引第2号——上市公司募集资金管理和使用的监管要求》《上海证券交易所科创板股票上市规则》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管规则适用指引第1号——规范运作》等相关法律法规的规定，不存在变相改变募集资金投向和损害股东，特别是中小股东利益的情形。因此，公司独立董事同意《关于首次公开发行股票部分募投项目结项并将节余募集资金永久补充流动资金的议案》所审议的事项。

　　（二）监事会意见

　　监事会认为：本次公司首次公开发行股票部分募投项目“高端PCB激光直接成像（LDI）设备升级迭代项目”结项并将节余募集资金用于永久补充公司流动资金符合《上市公司监管指引第2号——上市公司募集资金管理和使用的监管要求》《上海证券交易所科创板股票上市规则》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管规则适用指引第1号——规范运作》等相关法律法规的规定，有利于进一步充盈公司主营业务的现金流，提高募集资金使用效率，提高盈利能力，符合公司及全体股东的利益，不存在变相改变募集资金投向和损害股东利益的情形。因此，公司监事会同意《关于首次公开发行股票部分募投项目结项并将节余募集资金永久补充流动资金的议案》所审议的事项。

　　（三）保荐机构核查意见

　　经核查，保荐机构认为：公司首次公开发行股票募投项目“高端PCB激光直接成像（LDI）设备升级迭代项目”结项并将节余募集资金永久补充流动资金事项，已经公司董事会、监事会审议通过，独立董事发表了明确同意意见，履行了必要的审批程序。符合《上市公司监管指引第2号——上市公司募集资金管理和使用的监管要求》、《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号——规范运作》等相关法律法规及公司《募集资金管理制度》的规定，符合全体股东的利益。保荐机构对公司首次公开发行股票募投项目“高端PCB激光直接成像（LDI）设备升级迭代项目”结项并将节余募集资金永久补充流动资金事项无异议。

　　特此公告。

　　合肥芯碁微电子装备股份有限公司

　　董事会

　　2022年4月28日

　　证券代码：688630  证券简称：芯碁微装  公告编号：2022-022

　　合肥芯碁微电子装备股份有限公司关于

　　向激励对象首次授予限制性股票的公告

　　本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏。并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。

　　重要内容提示：

　　● 限制性股票首次授予日：2022年4月27日

　　● 限制性股票首次授予数量：87.20万股，占公司目前股本总额12,080.00万股的0.72%。

　　● 股权激励方式：第二类限制性股票

　　合肥芯碁微电子装备股份有限公司（以下简称“公司”）《2022年限制性股票激励计划（草案）》（以下简称“《激励计划（草案）》”或“本次激励计划”）规定的限制性股票首次授予条件已经成就，根据公司2022年第一次临时股东大会的授权，公司于2022年4月27日召开的第一届董事会第十七次会议和第一届监事会第十二次会议，审议通过了《关于向激励对象首次授予限制性股票的议案》，确定2022年4月27日为首次授予日，以26.17元/股的授予价格向206名激励对象授予87.20万股限制性股票。现将有关事项说明如下：

　　一、限制性股票授予情况

　　（一）本次限制性股票授予已履行的决策程序和信息披露情况

　　1、2022年4月7日，公司召开的第一届董事会第十六次会议审议通过了《关于公司＜2022年限制性股票激励计划（草案）＞及其摘要的议案》、《关于公司＜2022年限制性股票激励计划实施考核管理办法＞的议案》以及《关于提请股东大会授权董事会办理股权激励计划相关事项的议案》等议案。公司独立董事就本次激励计划相关事项发表了明确同意的独立意见。

　　同日，公司召开第一届监事会第十一次会议，审议通过了《关于公司＜2022年限制性股票激励计划（草案）＞及其摘要的议案》、《关于公司＜2022年限制性股票激励计划实施考核管理办法＞的议案》以及《关于核实公司＜2022年限制性股票激励计划首次授予部分激励对象名单＞的议案》，公司监事会对本次激励计划的相关事项进行核实并出具了相关核查意见。

　　上述相关事项公司已于2022年4月8日在上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）进行了披露。

　　2、2022年4月8日，公司在上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露了《合肥芯碁微电子装备股份有限公司关于独立董事公开征集委托投票权的公告》（公告编号：2022-008），根据公司其他独立董事的委托，独立董事胡刘芬女士作为征集人就2022年第一次临时股东大会审议的本次激励计划相关议案向公司全体股东征集投票权。

　　3、2022年4月8日至2022年4月17日，公司内部对本次激励计划首次授予部分激励对象的姓名和职务进行了公示。在公示期内，公司监事会未收到任何人对激励对象提出的异议。2022年4月19日，公司在上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露了《合肥芯碁微电子装备股份有限公司监事会关于公司2022年限制性股票激励计划首次授予部分激励对象名单的公示情况说明及核查意见》（公告编号：2022-009）。

　　4、2022年4月25日，公司召开2022年第一次临时股东大会，审议通过了《关于公司＜ 2022年限制性股票激励计划（草案）＞及其摘要的议案》、《关于公司＜2022年限制性股票激励计划实施考核管理办法＞的议案》及《关于提请股东大会授权董事会办理股权激励计划相关事项的议案》，并于2022年4月26日在上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露了《合肥芯碁微电子装备股份有限公司2022年第一次临时股东大会决议公告》（公告编号：2022-010）。

　　5、2022年4月26日，公司在上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露了《关于公司2022年限制性股票激励计划内幕信息知情人及激励对象买卖公司股票情况的自查报告》（公告编号：2022-011）。

　　6、2022年4月27日，公司召开第一届董事会第十七次会议和第一届监事会第十二次会议，审议通过了《关于调整2022年限制性股票激励计划首次授予部分相关事项的议案》和《关于向激励对象首次授予限制性股票的议案》。公司独立董事对上述事项发表了明确同意的独立意见。监事会对首次授予日的激励对象名单进行核实并发表了核查意见。前述相关事项公司于2022年4月28日在上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）进行了披露。

　　（二）本次实施的股权激励计划与股东大会审议通过的股权激励计划差异情况

　　鉴于公司《2022年限制性股票激励计划（草案）》中原拟首次授予的激励对象中6名激励对象因离职失去激励资格，经审议，董事会同意取消拟向上述6名激励对象授予的限制性股票共计2万股。董事会同意对本次激励计划首次授予部分激励对象名单和激励股票数量进行调整。调整后，首次授予部分限制性股票的激励对象人数由212人调整为206人，上述6名激励对象对应的拟授予限制性股票数量，将调整分配至本次激励计划确定的其他激励对象，首次授予部分限制性股票授予数量保持87.20万股不变。

　　除上述调整内容外，本次实施的限制性股票激励计划其他内容与公司2022年第一次临时股东大会审议通过的《2022年限制性股票激励计划（草案）》的内容一致。

　　（三）董事会关于符合授予条件的说明，独立董事及监事会发表的明确意见

　　1、董事会对本次授予是否满足条件的相关说明

　　根据《激励计划（草案）》中授予条件的规定，激励对象获授限制性股票需同时满足如下条件：

　　（1）公司未发生如下任一情形：

　　①最近一个会计年度财务会计报告被注册会计师出具否定意见或者无法表示意见的审计报告；

　　②最近一个会计年度财务报告内部控制被注册会计师出具否定意见或者无法表示意见的审计报告；

　　③上市后最近36个月内出现过未按法律法规、公司章程、公开承诺进行利润分配的情形；

　　④法律法规规定不得实行股权激励的；

　　⑤中国证监会认定的其他情形。

　　（2）激励对象未发生如下任一情形：

　　①最近12个月内被证券交易所认定为不适当人选；

　　②最近12个月内被中国证监会及其派出机构认定为不适当人选；

　　③最近12个月内因重大违法违规行为被中国证监会及其派出机构行政处罚或者采取市场禁入措施；

　　④具有《公司法》规定的不得担任公司董事、高级管理人员情形的；

　　⑤法律法规规定不得参与上市公司股权激励的；

　　⑥中国证监会认定的其他情形。

　　公司董事会经过认真核查，确定公司和激励对象均未出现上述任一情形，亦不存在不能授予或不得成为激励对象的其他情形，本次激励计划的授予条件已经成就。

　　2、监事会对本次授予是否满足条件的相关说明

　　（1）公司不存在《上市公司股权激励管理办法》（以下简称“《管理办法》”）等法律、法规和规范性文件规定的禁止实施股权激励计划的情形，公司具备实施股权激励计划的主体资格；

　　本次激励计划首次授予部分的激励对象具备《公司法》、《证券法》等法律、法规和规范性文件规定的任职资格，符合《管理办法》及《上海证券交易所科创板股票上市规则》（以下简称“《上市规则》”）规定的激励对象条件，符合公司《2022年限制性股票激励计划（草案）》及其摘要规定的激励对象范围，其作为公司2022年限制性股票激励计划首次授予部分激励对象的主体资格合法、有效。

　　（2）公司确定本次激励计划的首次授予日符合《管理办法》以及公司《2022年限制性股票激励计划（草案）》及其摘要中有关授予日的相关规定。

　　因此，监事会同意以2022年4月27日为首次授予日，向符合条件的206名首次授予部分激励对象授予87.20万股限制性股票。

　　3、独立董事对本次授予是否满足条件的相关说明

　　（1）根据公司2022年第一次临时股东大会的授权，董事会确定公司本次激励计划的首次授予日为2022年4月27日，该授予日符合《管理办法》等法律、法规以及公司《2022年限制性股票激励计划（草案）》中关于授予日的相关规定。

　　（2）未发现公司存在《管理办法》等法律、法规和规范性文件规定的禁止实施股权激励计划的情形，公司具备实施股权激励计划的主体资格。

　　（3）公司确定首次授予部分限制性股票的激励对象均符合《公司法》、《证券法》等相关法律、法规和《公司章程》中关于本次激励计划有关任职资格的规定，均符合《管理办法》规定的激励对象条件，符合公司《2022年限制性股票激励计划（草案）》中规定的激励对象范围，其作为公司2022年限制性股票激励计划首次授予部分激励对象的主体资格合法、有效。

　　（4）公司实施本次激励计划有利于进一步完善公司治理结构，建立、健全公司激励约束机制，增强公司员工对实现公司持续、健康发展的责任感、使命感，有利于公司的持续发展，不存在损害公司及全体股东利益。

　　综上所述，我们认为公司本次激励计划的授予条件已经成就，一致同意公司2022年限制性股票激励计划首次授予部分激励对象获授限制性股票的授予日为2022年4月27日，并同意以26.17元/股的授予价格向符合条件的206名激励对象授予87.20万股限制性股票。

　　（四）首次授予限制性股票的具体情况

　　1、授予日：2022年4月27日

　　2、授予数量：87.20万股，占公司目前股本总额12,080.00万股的0.72%。

　　3、授予人数：206人

　　4、授予价格：26.17元/股

　　5、股票来源：公司向激励对象定向发行公司A股普通股股票

　　6、激励计划的有效期、归属期限和归属安排

　　（1）本激励计划有效期自限制性股票首次授予之日起至激励对象获授的限制性股票全部归属或作废失效之日止，最长不超过54个月。

　　（2）本激励计划授予的限制性股票在激励对象满足相应归属条件后将按约定比例分次归属，归属日必须为交易日，但不得在下列期间内归属：

　　① 公司年度报告、半年度报告公告前30日内，因特殊原因推迟年度报告和半年度报告公告日期的，自原预约公告日前30日起算，至公告前1日；

　　② 公司季度报告、业绩预告、业绩快报公告前10日内；

　　③ 自可能对本公司股票及其衍生品种交易价格产生较大影响的重大事件 发生之日或者进入决策程序之日，至依法披露之日内；

　　④ 中国证监会及上海证券交易所规定的其他期间。

　　上述“重大事件”为公司依据《上市规则》的规定应当披露的交易或其他重大事项。

　　如相关法律、行政法规、部门规章对不得归属的期间另有规定的，以相关规定为准。

　　本次激励计划首次授予的限制性股票的归属期限和归属安排具体如下：

　　■

　　在上述约定期间内未归属的限制性股票或因未达到归属条件而不能申请归属的该期限制性股票，不得归属，作废失效。

　　激励对象根据本激励计划获授的限制性股票在归属前不得转让、用于担保或偿还债务。激励对象已获授但尚未归属的限制性股票由于资本公积金转增股本、送股等情形增加的股份同时受归属条件约束，且归属之前不得转让、用于担保或偿还债务，若届时限制性股票不得归属的，则因前述原因获得的股份同样不得归属。

　　7、本次激励计划禁售期

　　禁售期是指激励对象获授的限制性股票归属后其售出限制的时间段。本次限制性股票激励计划的获授股票归属后不设置禁售期，激励对象为公司董事、高级管理人员的，限售规定按照《公司法》、《证券法》、《上市公司股东、董监高减持股份的若干规定》、《上海证券交易所上市公司股东及董事、监事、高级管理人员减持股份实施细则》等相关法律、法规、规范性文件和《公司章程》的规定执行，具体内容如下：

　　（1）激励对象为公司董事和高级管理人员的，其在任职期间每年转让的股份不得超过其所持有本公司股份总数的25%，在离职后半年内，不得转让其所持有的本公司股份。

　　（2）激励对象为公司董事和高级管理人员及其配偶、父母、子女的，将其持有的本公司股票在买入后6个月内卖出，或者在卖出后6个月内又买入，由此所得收益归本公司所有，本公司董事会将收回其所得收益。

　　（3）激励对象为公司董事和高级管理人员的，减持公司股票还需遵守《上市公司股东、董监高减持股份的若干规定》、《上海证券交易所上市公司股东及董事、监事、高级管理人员减持股份实施细则》等相关规定。

　　（4）在本次激励计划有效期内，如果《公司法》、《证券法》、《上市公司股东、董监高减持股份的若干规定》、《上海证券交易所上市公司股东及董事、监事、高级管理人员减持股份实施细则》等相关法律、法规、规范性文件和《公司章程》中对公司董事和高级管理人员持有股份转让的有关规定发生了变化，则这部分激励对象转让其所持有的公司股票应当在转让时符合修改后的相关规定。

　　8、首次授予部分激励对象名单及授予情况

　　■

　　注：1、上述任何一名激励对象通过全部在有效期内的股权激励计划获授的本公司股票均未超过公司总股本的1%。公司全部有效期内的激励计划所涉及的标的股票总数累计不超过股权激励计划提交股东大会审议时公司股本总额的20%。

　　2、本计划首次授予激励对象不包括董事、高级管理人员、独立董事、监事、外籍员工、单独或合计持有上市公司5%以上股份的股东、上市公司实际控制人及其配偶、父母、子女。

　　2、上表中数值若出现总数与各分项数值之和尾数不符，均为四舍五入原因所致。

　　二、监事会对激励对象名单核实的情况

　　1、本次激励计划首次授予的激励对象均不存在《管理办法》第八条规定的不得成为激励对象的情形：

　　（1）最近12个月内被证券交易所认定为不适当人选；

　　（2）最近12个月内被中国证监会及其派出机构认定为不适当人选；

　　（3）最近12个月内因重大违法违规行为被中国证监会及其派出机构行政处罚或者采取市场禁入措施；

　　（4）具有《公司法》规定的不得担任公司董事、高级管理人员情形的；

　　（5）法律法规规定不得参与上市公司股权激励的；

　　（6）中国证监会认定的其他情形。

　　2、参与本次激励计划的激励对象不包括公司独立董事、监事，本次激励计划首次授予部分激励对象未包括董事、高级管理人员、外籍员工、单独或合计持股5%以上的股东、公司实际控制人及其配偶、父母、子女。

　　3、除取消6名已离职激励对象激励资格外，公司本次限制性股票激励计划首次授予部分激励对象人员名单与公司2022年第一次临时股东大会批准的公司《2022年限制性股票激励计划（草案）》中规定的激励对象相符。

　　4、本次激励计划首次授予部分激励对象名单符合《公司法》、《证券法》等法律、法规和规范性文件以及《公司章程》规定的任职资格，符合《管理办法》、《上市规则》等法律、法规和规范性文件规定的激励对象条件，符合公司《2022年限制性股票激励计划（草案）》规定的激励对象条件。

　　综上所述，我们一致同意公司本次激励计划首次授予部分激励对象名单，同意公司本次激励计划的首次授予日为2022年4月27日，并同意以26.17元/股的授予价格向206名激励对象授予87.20万股限制性股票。

　　三、激励对象为董事、高级管理人员的，在限制性股票授予日前6个月卖出公司股份情况的说明

　　本次激励计划首次授予部分激励对象不包含董事、高级管理人员。

　　四、限制性股票的会计处理方法与业绩影响测算

　　（一）限制性股票的公允价值及确定方法

　　对于第二类限制性股票，公司将按照授予日的公允价值，将当期取得的服务计入相关成本或费用和资本公积。根据《企业会计准则第22号——金融工具确认和计量》中关于公允价值确定的相关规定，公司选择Black-Scholes模型来计算第二类限制性股票的公允价值，于2022年4月27日用该模型对首次授予的第二类限制性股票的公允价值进行测算。具体参数选取如下：

　　1、标的股价：41.30元/股（授予日收盘价为2022年4月27日收盘价）；

　　2、有效期分别为：12个月、24个月、36个月（第二类限制性股票授予之日至每期归属日的期限）；

　　3、历史波动率：23.6394%、23.0523%、23.8145%（采用申万机械设备行业最近12个月、24个月、36个月的波动率）；

　　4、无风险利率：1.50%、2.10%、2.75%（分别采用中国人民银行制定的金融机构1年期、2年期、3年期存款基准利率）；

　　5、股息率：1.1925%（采用申万机械设备行业2021年度股息率）。

　　（二）预计限制性股票实施对各期经营业绩的影响

　　公司按照会计准则及相关估值工具确定授予日第二类限制性股票的公允价值，并最终确认本激励计划的股份支付费用，该等费用将在本激励计划的实施过程中按归属安排的比例摊销。由本激励计划产生的激励成本将在经常性损益中列支。

　　根据中国会计准则要求，本激励计划限制性股票首次授予部分对各期会计成本的影响如下表所示：

　　■

　　注：1．上述计算结果并不代表最终的会计成本，实际会计成本与授予日、授予价格和归属数量相关，激励对象在归属前离职、公司业绩考核或个人绩效考核达不到对应标准的会相应减少实际归属数量从而减少股份支付费用。同时，公司提醒股东注意可能产生的摊薄影响。

　　2．上述对公司经营成果影响的最终结果将以会计师事务所出具的年度审计报告为准。

　　上述测算部分不包含限制性股票的预留部分限制性股票，预留部分授予时将产生额外的股份支付费用。

　　公司以目前信息初步估计，限制性股票费用的摊销对有效期内各年净利润有所影响。但同时此次限制性股票激励计划实施后，将进一步提升员工的凝聚力、团队稳定性，并有效激发管理团队的积极性，从而提高经营效率，给公司带来更高的经营业绩和内在价值。

　　五、法律意见书的结论性意见

　　北京德恒（合肥）律师事务所认为：

　　（一）公司本次激励计划调整及首次授予的相关事宜已经取得现阶段必要的批准和授权，符合《公司法》《管理办法》等相关法律法规及《公司章程》《激励计划（草案）》的相关规定。

　　（二）本次激励计划授予限制性股票的授予日、授予对象、授予数量及授予价格符合《公司法》《管理办法》等相关法律法规及《公司章程》《激励计划（草案）》的相关规定。

　　（三）本次激励计划授予限制性股票符合《公司法》《管理办法》等相关法律法规及《公司章程》《激励计划（草案）》规定的获授条件。

　　六、独立财务顾问意见

　　独立财务顾问认为：截至本报告出具日，合肥芯碁微电子装备股份有限公司本次限制性股票激励计划首次授予相关事项已取得了必要的批准和授权；公司不存在不符合公司2022年限制性股票激励计划规定的授予条件的情形；本次限制性股票首次授予日、授予价格、授予对象、授予数量等的确定符合《管理办法》、《上市规则》等法律法规和规范性文件的规定。

　　七、上网公告附件

　　1、《独立董事对公司第一届董事会第十七次会议相关事项的独立意见》；

　　2、《监事会关于公司2022年限制性股票激励计划首次授予部分激励对象名单的核查意见》；

　　3、《2022年限制性股票激励计划首次授予部分激励对象名单》；

　　4、《北京德恒（合肥）律师事务所关于合肥芯碁微电子装备股份有限公司2022年限制性股票激励计划调整及首次授予相关事项的法律意见》；

　　5、《上海荣正投资咨询股份有限公司关于合肥芯碁微电子装备股份有限公司2022年限制性股票激励计划首次授予相关事项之独立财务顾问报告》。

　　特此公告。

　　合肥芯碁微电子装备股份有限公司董事会

　　2022年4月28日

　　证券代码：688630    证券简称：芯碁微装    公告编号：2022-017

　　合肥芯碁微电子装备股份有限公司

　　关于使用暂时闲置募集资金和自有资金

　　进行现金管理的公告

　　本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。

　　合肥芯碁微电子装备股份有限公司（以下简称“公司”或“芯碁微装”）于2022年4月27日召开了第一届董事会第十七次会议和第一届监事会第十二次会议，审议通过了《关于使用暂时闲置募集资金和自有资金进行现金管理的议案》，同意公司在确保不影响募集资金安全和投资项目资金使用进度安排以及公司正常业务开展的前提下，使用不超过人民币30,000万元（含本数）的暂时闲置募集资金和不超过10,000万元（含本数）的暂时闲置自有资金进行现金管理，使用期限不超过董事会审议通过之日起12个月，在上述额度和期限内，资金可循环滚动使用。

　　董事会授权公司管理层在授权额度和期限内行使现金管理投资决策权并签署相关合同文件，具体事项由公司财务中心负责组织实施。公司监事会、独立董事和保荐机构海通证券股份有限公司（以下简称“保荐机构”）对上述事项出具了明确的同意意见。现将有关事项公告如下：

　　一、募集资金基本情况

　　公司首次公开发行股票并在科创板上市的注册申请于2021年2月1日经中国证券监督管理委员会（以下简称“中国证监会”）同意注册（证监许可〔2021〕350号《关于同意合肥芯碁微电子装备股份有限公司首次公开发行股票注册的批复》）。公司向社会公众公开发行人民币普通股（A股）股票3,020.2448万股，每股面值1元，发行价格为每股人民币15.23元，本次发行募集资金总额459,983,283.04元；扣除发行费用后，募集资金净额为416,358,195.95元。容诚会计师事务所（特殊普通合伙）对公司本次公开发行新股的资金到位情况进行了审验，并于2021年3月30日出具了容诚验字［2021］230Z0034号《验资报告》。

　　为规范公司募集资金管理，保护投资者的权益，根据《上海证券交易所上市公司募集资金管理办法》要求，公司已经与保荐机构、存放募集资金的商业银行签署了《募集资金专户存储三方监管协议》。

　　二、募集资金投资项目情况

　　由于公司首次公开发行实际募集资金净额少于拟投入的募集资金金额，公司召开第一届董事会第十次会议和第一届监事会第六次会议审议通过了《关于调整部分募集资金投资项目拟投入募集资金金额的议案》。截至2021年12月31日，公司募集资金已使用148,306,821.81元，募集资金投资项目具体情况如下表所示：

　　单位：万元

　　■

　　因募集资金投资有一定的周期性，截至目前，部分募集资金存在暂时闲置的情形。

　　三、使用暂时闲置募集资金和自有资金进行现金管理的相关情况

　　（一）投资目的

　　为提高募集资金和自有资金使用效率，合理利用部分暂时闲置募集资金和自有资金，在确保不影响募集资金安全和投资项目资金使用进度安排，不变相改变募集资金用途且不影响公司正常业务开展的情况下，增加公司的收益，为公司及股东获取更多回报。

　　（二）投资产品品种

　　募集资金投资安全性高、流动性好、有保本约定的投资产品（包括但不限于协定存款、通知存款、定期存款、大额存单、收益凭证等），且该等现金管理产品不得用于质押，不用于以证券投资为目的的投资行为。

　　自有资金将投资于安全性高、流动性好、中低风险的投资产品（包括不限于银行、证券公司等金融机构发行的金融产品或结构性存款等），且该等现金管理产品不得用于质押，不用于以证券投资为目的的投资行为。

　　（三）投资额度及期限

　　公司计划使用不超过人民币30,000万元（包含本数）的暂时闲置募集资金和不超过10,000万元（含本数）的暂时闲置自有资金进行现金管理，使用期限不超过董事会审议通过之日起12个月。在上述额度和期限内，资金可循环滚动使用。

　　（四）实施方式

　　公司授权管理层在授权额度和期限内行使现金管理投资决策权并签署相关合同文件，具体事项由公司财务中心负责组织实施。

　　（五）信息披露

　　公司将依据上海证券交易所的相关规定，及时履行信息披露义务；不会变相改变募集资金用途。

　　（六）现金管理收益的分配

　　公司使用暂时闲置募集资金进行现金管理所获得的收益将优先用于补足募投项目投资金额不足部分以及公司日常经营所需的流动资金，并严格按照中国证券监督管理委员会及上海证券交易所关于募集资金监管措施的要求管理和使用。

　　四、对公司的影响

　　本次使用暂时闲置募集资金和自有资金进行现金管理是在符合国家法律法规，确保不影响公司募集资金投资项目的进度，有效控制投资风险的前提下进行的，将不会影响公司日常经营和募集资金投资项目的正常开展，亦不会影响公司主营业务的正常发展，不存在损害公司和股东利益的情形。

　　通过对暂时闲置募集资金和自有资金进行适度、适时的现金管理，可以提高募集资金和自有资金使用效率，增加公司现金资产收益，为公司股东谋取更多的投资回报。

　　五、风险控制措施

　　（一）投资风险

　　本次现金管理方式是购买安全性高、流动性好的金融机构的投资产品（包括但不限于协定存款、通知存款、定期存款、大额存单、收益凭证、银行、证券公司等金融机构发行的金融产品或结构性存款等），该类投资产品主要受货币政策等宏观经济政策的影响。公司将根据经济形势以及金融市场的变化适时适量地介入，但不排除该项投资受到市场波动的影响。

　　（二）风险控制措施

　　1、公司将严格按照《上海证券交易所科创板股票上市规则》等相关法律法规、《公司章程》以及公司《募集资金使用管理办法》等有关规定办理相关现金管理业务。

　　2、严格筛选合作对象，选择信誉好、规模大、经营效益好、资金运作能力强的金融机构所发行的安全性高、流动性好的投资产品，并明确投资产品的金额、期限、投资品种、双方的权利义务及法律责任等。

　　3、公司财务中心建立台账管理，对资金运用情况建立健全完整的会计账目，做好资金使用的账务核算工作。

　　4、监事会、独立董事有权对资金使用情况进行监督与检查，必要时可以聘请专业机构进行审计。

　　六、专项意见说明

　　（一）监事会意见

　　监事会认为，为提高募集资金和自有资金使用效率，合理利用部分暂时闲置募集资金和自有资金，在确保不影响募集资金安全和投资项目资金使用进度安排，不变相改变募集资金用途且不影响公司正常业务开展的情况下，增加公司的收益，为公司及股东获取更多回报。同意计划使用不超过人民币30000万元（包含本数）暂时闲置募集资金和不超过10000万元（含本数）的暂时自有资金进行现金管理，使用期限不超过董事会审议通过之日起12个月，在上述额度和期限内，资金可循环滚动使用。

　　（二）独立董事意见

　　独立董事认为：公司在确保公司募投项目所需资金和保证募集资金安全的前提下对暂时闲置募集资金适时进行现金管理，有利于提高募集资金使用效率，获得一定的投资收益。本次使用暂时闲置募集资金和自有资金进行现金管理履行了必要的审议程序，符合中国证监会、上海证券交易所关于募集资金使用的相关规定，不会影响募集资金投资项目建设和募集资金使用，不存在变相改变募集资金用途和损害股东利益的情形，也不会对公司生产经营造成不利影响。

　　（三）保荐机构核查意见

　　经核查，保荐机构认为，公司本次使用部分闲置募集资金和闲置自有资金进行现金管理事项已经公司董事会、监事会审议通过，独立董事发表了明确同意意见，公司已履行了现阶段相应的法律程序；公司通过投资安全性高、流动性好的理财产品，可以提高资金使用效率，不涉及变相改变募集资金用途，不影响募集资金投资计划的正常进行，符合《证券发行上市保荐业务管理办法》《上海证券交易所科创板股票上市规则》《上市公司监管指引第2号——上市公司募集资金管理和使用的监管要求》和《上海证券交易所科创板上市公司自律监管规则适用指引第1号——规范运作》等相关规定及公司募集资金管理制度。保荐机构对公司本次使用部分闲置募集资金和闲置自有资金进行现金管理事项无异议。

　　七、上网公告文件

　　1、《独立董事对公司第一届董事会第十七次会议相关事项的独立意见》

　　2、《海通证券股份有限公司关于合肥芯碁微电子装备股份有限公司使用部分闲置募集资金和闲置自有资金进行现金管理的核查意见》

　　特此公告。

　　合肥芯碁微电子装备股份有限公司董事会

　　2022年4月28日

　　证券代码：688630    证券简称：芯碁微装    公告编号：2022-018

　　合肥芯碁微电子装备股份有限公司

　　关于2022年度向金融机构申请

　　综合授信额度的公告

　　本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。

　　合肥芯碁微电子装备股份有限公司（以下简称“公司”或“芯碁微装”）于2022年4月27日召开了第一届董事会第十七次会议，审议通过了《关于2022年度向金融机构申请综合授信额度的议案》，同意公司在授权期限内向金融机构申请不超过人民币70,000.00 万元的综合授信额度。具体内容如下：

　　为促进公司持续发展，满足公司生产经营需求，公司拟向金融机构申请不超过人民币70,000.00 万元的综合授信额度，综合授信品种包括但不限于贷款、承兑汇票、贴现、信用证、押汇、保函、代付、保理等。实际融资金额应在授信额度内，并以金融机构与公司实际发生的融资金额为准，实际融资金额将视公司运营资金的实际需求决定。以上综合授信额度的授信期限自股东大会审议通过之日起，至下一年度股东大会召开之日止，在授信期限内，授信额度可循环使用且单笔融资不再上报董事会或股东大会审议。

　　为确保公司向银行申请授信额度的工作顺利进行，董事会同意提请股东大会授权公司董事长代表公司签署上述授信额度内的一切与授信有关的法律文件（包括但不限于签署授信、借款合同、质押/抵押合同以及其他法律文件），并办理相关手续，由此产生的法律、经济责任全部由本公司承担。

　　上述事项尚需提交2021年年度股东大会审议。

　　特此公告。

　　合肥芯碁微电子装备股份有限公司董事会

　　2022年4月28日

　　证券代码：688630    证券简称：芯碁微装    公告编号：2022-021

　　合肥芯碁微电子装备股份有限公司

　　2021年年度募集资金存放与使用情况的

　　专项报告

　　本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性承担个别及连带责任。

　　根据中国证券监督管理委员会(以下简称“证监会”)《上市公司监管指引第2号—上市公司募集资金管理和使用的监管要求》(证监会公告[2012]44号)及《上海证券交易所上市公司募集资金管理办法(2013年修订)》(上证公字[2013]13号)的规定，合肥芯碁微电子装备股份有限公司（以下简称“芯碁微装”或“公司”）董事会对2021年年度募集资金存放与使用情况的专项报告说明如下：

　　一、 募集资金基本情况

　　根据中国证券监督管理委员会《关于同意合肥芯碁微电子装备股份有限公司首次公开发行股票注册的批复》（证监许可[2021]350号）的批准，公司首次公开发行人民币普通股（A股）股票3,020.2448万股，募集资金总额人民币459,983,283.04元，募集资金净额为人民币416,358,195.95元。上述资金已于2021年3月29日全部到位，并存放于公司开设的募集资金专项账户内。容诚会计师事务所（特殊普通合伙）对前述事项进行了审验，并出具《合肥芯碁微电子装备股份有限公司验资报告》（容诚验字【2021】230Z0034号）。

　　截至2021年12月31日，募集资金存放银行产生利息共计人民币6,657,768.40（含活期利息）元，已使用募集资金金额为人民币148,306,821.81元，本年度已使用募集资金金额为人民币148,306,821.81元，现金管理理财结算户余额为人民币255,000,000.00元（含活期余额20,000,000.00元），募集资金存储账户余额为人民币19,710,106.66元。

　　二、 募集资金存放和管理情况

　　公司根据有关法律法规的规定，遵循规范、安全、高效、透明的原则，制定了《募集资金管理制度》，对募集资金的存储、审批、使用、管理与监督做出了明确的规定，在制度上保证了募集资金的规范使用。

　　公司、保荐机构海通证券股份有限公司、上海浦东发展银行股份有限公司合肥高新区支行、中信银行合肥分行营业部、中国建设银行股份有限公司合肥政务文化新区支行、中国农业银行合肥分行营业部签署了《募集资金专户存储三方监管协议》(以下简称“三方监管协议”)。《三方监管协议》与证券交易所制定的《募集资金专户存储三方监管协议（范本）》不存在重大差异，《三方监管协议》的履行不存在问题。

　　公司于2021年4月22日召开的公司第一届董事会第十一次会议、2021年5月14日召开的2020年年度股东大会审议通过了《关于使用暂时闲置募集资金和自有资金进行现金管理的议案》。公司2021年6月15日召开的公司第一届董事会第十二次会议审议通过了《关于使用募集资金置换预先投入的自筹资金的议案》，公司在履行相关审议程序后对募集资金进行现金管理。

　　截至2021年12月31日，募集资金存放情况如下表所示：

　　■

　　三、 2021年年度募集资金的实际使用情况

　　（一）募投项目的资金使用情况

　　报告期内，公司实际使用募集资金148,306,821.81元，具体募集资金使用情况见附表。

　　募投项目实际投资进度与投资计划不存在显著差异的，也不存在无法单独核算效益的情形。

　　（二）募投项目先期投入及置换情况

　　2021年6月15日召开的公司第一届董事会第十二次会议审议通过了《关于使用募集资金置换预先投入的自筹资金的议案》，同意公司使用募集资金人民币58,213,358.72元置换预先投入募投项目的自筹资金。截至2021年6月30日，公司已完成对预先投入募投项目的自筹资金的置换。

　　（三）用闲置募集资金暂时补充流动资金情况

　　截至2021年12月31日，公司无用闲置募集资金暂时补充流动资金的情形。

　　（四）对闲置募集资金进行现金管理、投资相关产品情况

　　公司于2021年4月22日召开的公司第一届董事会第十一次会议、2021年5月14日召开的2020年年度股东大会审议通过了《关于使用暂时闲置募集资金和自有资金进行现金管理的议案》，同意公司使用额度不超过人民币30000万元（包含本数）的闲置募集资金在确保不影响募集资金投资计划进度、不影响公司正常生产经营及确保资金安全的情况下进行现金管理，用于购买安全性高、流动性好、有保本约定的投资产品（包括但不限于保本型理财产品、结构性存款、定期存款、通知存款、大额存单、协定存款等），期限不超过12个月。

　　截至2021年12月31日，公司对募集资金进行现金管理情况详见下表：

　　单位：元

　　■

　　（五）用超募资金永久补充流动资金或归还银行贷款情况

　　截至2021年12月31日，公司无此种情形。

　　（六）超募资金用于在建项目及新项目（包括收购资产等）的情况

　　截至2021年12月31日，公司无此种情形。

　　（七）节余募集资金使用情况

　　截至2021年12月31日，公司无此种情形。

　　四、 变更募集资金投资项目的资金使用情况

　　截至2021年12月31日，无此类情况。

　　五、 募集资金使用及披露中存在的问题

　　公司及时、真实、准确、完整的披露了相关信息，不存在募集资金管理的违规情形。

　　六、会计师事务所对公司2021年年度募集资金存放与使用情况出具的鉴证报告的结论性意见

　　会计师事务所认为，芯碁微装《2021年度募集资金存放与使用情况的专项报告》在所有重大方面按照上述《上市公司监管指引第2号——上市公司募集资金管理和使用的监管要求》及交易所的相关规定编制，公允反映了芯碁微装2021年度募集资金实际存放与使用情况。

　　七、保荐机构对公司2021年年度募集资金存放与使用情况所出具的专项核查报告的结论性意见

　　经核查，保荐机构认为，公司2021年度募集资金的存放与使用符合《证券发行上市保荐业务管理办法》、《上市公司监管指引第2号——上市公司募集资金管理和使用的监管要求》、《上海证券交易所科创板股票上市规则》、《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号——规范运作》等相关规定及公司募集资金管理制度，对募集资金进行了专户存储和使用，截至2021年12月31日，公司不存在变相改变募集资金用途和损害股东利益的情形，不存在违规使用募集资金的情形，公司募集资金使用不存在违反国家反洗钱相关法律法规的情形。保荐机构对芯碁微装2021年度募集资金存放与使用情况无异议。

　　八、公司存在两次以上融资且当年分别存在募集资金运用的，应在专项报告分别说明

　　公司不存在两次以上融资且当年存在募集资金运用的情况。

　　九、上网公告附件

　　（一）海通证券股份有限公司关于合肥芯碁微电子装备股份有限公司2021年度募集资金存放与使用情况的核查意见；

　　（二）容诚会计师事务所（特殊普通合伙）对合肥芯碁微电子装备股份有限公司2021年度募集资金存放及使用情况鉴证报告。

　　特此公告。

　　合肥芯碁微电子装备股份有限公司董事会

　　2022年4月28日

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