合盛硅业子公司成功研发 碳化硅半导体材料并具备量产能力

　　本报记者 冯思婕

　　5月21日晚间，合盛硅业公告称，公司控股子公司宁波合盛新材料有限公司（以下简称“合盛新材”）于近日成功研发碳化硅半导体材料并具备量产能力。

　　据悉，合盛硅业通过合盛新材布局第三代半导体产业的研发与制造，截至2022年底，宽禁带半导体碳化硅衬底及外延片产业化生产线项目已累计投资4.62亿元。

　　在2022年年度董事会工作报告中，合盛硅业提到，基于产业链优势，公司进一步加快硅基新材料的布局。公司已完整掌握了碳化硅材料的原料合成、晶体生长、衬底加工以及晶片外延等全产业链核心工艺技术，突破了关键材料（多孔石墨、涂层材料）和装备的技术壁垒，目前碳化硅生产线已具备量产能力，产品良率处于国内企业领先水平，在关键技术指标方面已追赶上国际龙头企业水平。

　　据悉，合盛新材2万片宽禁带半导体碳化硅衬底及外延片产业化生产线项目已通过验收，并具备量产能力，6英寸晶体良率达到90%，外延片良率达到95%；产品得到市场的积极反馈，合盛新材的6英寸衬底和外延片已得到国内多家下游器件客户的验证，并顺利开发了国外客户。同时，合盛新材8英寸衬底研发顺利，已经实现了量产。

　　“碳化硅下游需求较旺盛，但碳化硅的原材料并不稀缺，因此，其制作工艺、加工稳定性以及产品良率尤为关键，非常考验企业的实际制造能力。”北京特亿阳光新能源总裁祁海珅告诉记者，“合盛硅业作为硅料行业的头部企业，拓展碳化硅市场具有一定的先天优势。其碳化硅产品良率达到90%，超过了业界平均水平，甚至达到全球领先水平。”

　　合盛硅业认为，提高碳化硅衬底材料的国产化率、实现进口替代是我国半导体行业急需突破的产业瓶颈，公司研发成功后，可以进一步推动碳化硅工艺技术进步，实现进口替代，保障第三代半导体材料的可持续发展。

　　近年来，合盛硅业持续布局光伏产业链，在光伏组件、光伏玻璃、硅料等环节发力，落实了公司向硅化工下游进一步拓展的整体战略规划，形成公司光伏新能源产业链一体化的格局。

　　华安证券分析师王强峰在研报中提到，合盛硅业在光伏领域的建设，一方面顺应行业发展趋势，向下游领域进行业务延伸，拓展建设光伏组件产能，进一步扩大和完善了公司在硅基新材料的布局，提升公司的产业规模和综合市场竞争实力。另一方面，落实了公司向工业硅下游进一步拓展的整体战略规划，形成公司光伏新能源产业链一体化的格局，形成了‘多晶硅-单晶切片-电池组件&光伏玻璃-光伏发电’的完整产业链，有利于公司打造新的盈利增长点，为公司中长期可持续发展提供保障。