盛美半导体设备（上海）股份有限公司 2023年半年度报告摘要

　　公司代码：688082   　　　　　　公司简称：盛美上海

　　第一节 重要提示

　　1.1 本半年度报告摘要来自半年度报告全文，为全面了解本公司的经营成果、财务状况及未来发展规划，投资者应当到www.sse.com.cn网站仔细阅读半年度报告全文。

　　1.2 重大风险提示

　　公司已在本报告中详细阐述公司在经营过程中可能面临的各种风险及应对措施，敬请查阅本报告第三节“管理层讨论与分析”

　　1.3 本公司董事会、监事会及董事、监事、高级管理人员保证半年度报告内容的真实性、准确性、完整性，不存在虚假记载、误导性陈述或重大遗漏，并承担个别和连带的法律责任。

　　1.4 公司全体董事出席董事会会议。

　　1.5 本半年度报告未经审计。

　　1.6 董事会决议通过的本报告期利润分配预案或公积金转增股本预案

　　无

　　1.7 是否存在公司治理特殊安排等重要事项

　　□适用    √不适用

　　第二节 公司基本情况

　　2.1 公司简介

　　公司股票简况

　　公司存托凭证简况

　　□适用    √不适用

　　联系人和联系方式

　　2.2 主要财务数据

　　单位：元  币种：人民币

　　2.3 前10名股东持股情况表

　　单位: 股

　　2.4 前十名境内存托凭证持有人情况表

　　□适用    √不适用

　　2.5 截至报告期末表决权数量前十名股东情况表

　　□适用    √不适用

　　2.6 截至报告期末的优先股股东总数、前10名优先股股东情况表

　　□适用    √不适用

　　2.7 控股股东或实际控制人变更情况

　　□适用    √不适用

　　2.8 在半年度报告批准报出日存续的债券情况

　　□适用    √不适用

　　第三节 重要事项

　　公司应当根据重要性原则，说明报告期内公司经营情况的重大变化，以及报告期内发生的对公司经营情况有重大影响和预计未来会有重大影响的事项

　　□适用    √不适用

　　证券代码：688082      证券简称：盛美上海       公告编号：2023-033

　　盛美半导体设备（上海）股份有限公司

　　关于继续使用闲置募集资金

　　进行现金管理的公告

　　本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。

　　盛美半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“公司”）于2023年8月3日召开第二届董事会第五次会议、第二届监事会第五次会议，审议通过了《关于继续使用闲置募集资金进行现金管理的议案》，同意公司在保证不影响募集资金计划正常进行的前提下，使用最高不超过人民币15亿元的暂时闲置募集资金用于购买安全性高、流动性好、有保本约定的投资产品，使用期限自公司董事会、监事会审议通过之日起12个月内有效。在前述额度及期限范围内，公司可以循环滚动使用。公司董事会授权公司董事长或董事长授权人员在上述额度范围内行使投资决策权并签署相关合同文件，具体事项由公司财务部负责组织实施。

　　一、募集资金基本情况

　　根据中国证券监督管理委员会核发的《关于同意盛美半导体设备（上海）股份有限公司首次公开发行股票注册的批复》（证监许可[2021]2689号），公司于2021年11月18日首次公开发行A股43,355,753股，每股的发行价为人民币85.00元，募集资金总额为人民币3,685,239,005.00元，扣除发行费用人民币203,980,484.66元（不含增值税，下同）后，实际募集资金净额（以下简称“募资净额”）为人民币3,481,258,520.34元。上述募资净额已由立信会计师事务所（特殊普通合伙）审验并出具信会师报字[2021]第ZI10561号《验资报告》予以确认。

　　为规范公司募集资金管理和使用、保护投资者权益，公司设立了募集资金专项账户，并与保荐机构、存放募集资金的商业银行签署了《募集资金专户存储三方监管协议》。募集资金到账后，已全部存放于经公司董事会批准开设的募集资金专项账户内。

　　二、募集资金使用情况

　　截至2023年6月30日，公司募投项目及募集资金使用情况详见公司于2023年8月5日披露于上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）的《盛美半导体设备（上海）股份有限公司2023年半年度募集资金存放与实际使用情况专项报告》（公告编号：2023-032）。

　　三、前次使用暂时闲置募集资金进行现金管理的基本情况

　　2022年8月18日公司召开第一届董事会第二十次会议及第一届监事会第十七次会议，审议通过了《关于使用闲置募集资金进行现金管理的议案》，同意公司在保证不影响募集资金计划正常进行的前提下，使用最高不超过人民币20亿元的暂时闲置募集资金用于购买安全性高、流动性好、有保本约定的投资产品，使用期限自公司董事会、监事会审议通过之日起12个月内有效。在前述额度及期限范围内，公司可以循环滚动使用。在上述使用期限内，公司严格按照董事会授权的额度对闲置募集资金进行现金管理。鉴于上述授权期限即将到期，公司拟继续使用暂时闲置募集资金进行现金管理。

　　四、本次使用暂时闲置募集资金进行现金管理的基本情况

　　（一）投资目的

　　为进一步规范公司募集资金的使用与管理，在不影响募集资金投资计划正常进行的前提下，合理利用部分暂时闲置募集资金进行现金管理，可以提高募集资金使用效益。

　　（二）额度及期限

　　在保证不影响公司募集资金投资计划正常进行的前提下，公司拟使用最高不超过人民币15亿元的暂时闲置募集资金进行现金管理，使用期限自公司董事会、监事会审议通过之日起12个月内有效。在前述额度及期限范围内，公司可以循环滚动使用。

　　（三）投资产品品种

　　为控制资金使用风险，公司拟使用闲置募集资金购买流动性好、安全性高、有保本约定的理财产品或存款类产品，包括但不限于保本型理财产品、结构性存款、通知存款、定期存款、大额存单、信托理财产品、收益凭证等。该等现金管理产品不用于质押，不用于以证券投资为目的的投资行为。

　　（四）决议有效期

　　自公司董事会、监事会审议通过之日起12个月内有效。

　　（五）实施方式

　　公司董事会授权公司董事长或董事长授权人员在上述额度范围内行使投资决策权并签署相关合同文件，具体事项由公司财务部负责组织实施。

　　（六）信息披露

　　公司将按照《上海证券交易所科创板股票上市规则》《上市公司监管指引第2号——上市公司募集资金管理和使用的监管要求》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号——规范运作》等相关法律法规的规定和要求，及时披露募集资金进行现金管理的具体情况，不变相改变募集资金用途。

　　（七）现金管理收益的分配

　　公司使用暂时闲置募集资金进行现金管理所获得的收益将优先用于补足募投项目投资金额不足部分以及公司日常经营所需的流动资金，并严格按照中国证监会及上海证券交易所关于募集资金监管措施的要求进行管理和使用。

　　五、对公司日常经营的影响

　　公司本次计划使用部分暂时闲置募集资金进行现金管理是在确保公司募投项目所需资金和保证募集资金安全的前提下进行的，不会影响公司日常资金正常周转需要和募集资金项目的正常运转，亦不会影响公司主营业务的正常发展。

　　同时，对暂时闲置的募集资金适时进行现金管理，能获得一定的投资收益，有利于进一步提升公司整体业绩水平，为公司和股东谋取较好的投资回报。

　　六、风险控制措施

　　（一）为控制风险，公司进行现金管理时，将选择购买安全性高、流动性好的、有保本约定的投资产品。

　　（二）公司现金管理投资品种不得用于股票及其衍生产品。上述投资产品不得用于质押，不用于以证券投资为目的的投资行为。

　　（三）公司财务部安排专人及时分析和跟踪现金管理产品投向、项目进展情况，一旦发现或判断有不利因素，及时通报公司内审人员、公司董事长，并采取相应的保全措施，最大限度地控制投资风险、保证资金的安全。

　　（四）独立董事、监事会有权对资金使用情况进行监督与检查，必要时可以聘请专业机构进行审计。

　　（五）公司将严格根据中国证监会和上海证券交易所的相关规定，及时履行信息披露的义务。

　　七、专项意见说明

　　（一）独立董事意见

　　独立董事认为：公司本次继续使用闲置募集资金不超过15亿元进行现金管理，董事会审议的表决程序合法、有效。符合公司当前的实际情况，有利于提高公司资金的使用效率，获得一定的投资收益，符合《上市公司监管指引第2号——上市公司募集资金管理使用的监管要求》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管规则适用指引第1号——规范运作》等法律、法规以及规范性文件和公司章程、公司募集资金管理制度的相关规定，不存在变相改变募集资金投向和损害股东利益的情况。

　　综上，独立董事同意公司继续使用额度不超过人民币15亿元的暂时闲置募集资金进行现金管理。

　　（二）监事会意见

　　监事会认为：本次继续使用部分暂时闲置募集资金进行现金管理，内容及审议程序符合《上市公司监管指引第2号——上市公司募集资金管理和使用的监管要求》等相关法律法规、规章及公司《募集资金管理制度》的规定。本次继续使用部分暂时闲置募集资金进行现金管理，可以提高募集资金利用效率，增加公司现金资产收益，不存在变相改变募集资金用途的情形，不影响募投项目的正常实施。

　　监事会同意公司使用最高不超过人民币15亿元的暂时闲置募集资金在确保不影响募集资金投资项目实施、确保募集资金安全的前提下用于现金管理。

　　（三）保荐机构核查意见

　　经核查，保荐机构认为，公司本次继续使用闲置募集资金进行现金管理事项已经公司董事会、监事会审议通过，独立董事发表了明确同意意见，履行了必要的审批程序；公司通过投资安全性高、流动性好的理财产品，可以提高资金使用效率，不涉及变相改变募集资金用途，不影响募集资金投资计划的正常进行，符合《上市公司监管指引第2号——上市公司募集资金管理和使用的监管要求》《上海证券交易所上市公司自律监管指引第11号——持续督导》《上海证券交易所科创板股票上市规则》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号——规范运作》等相关规定及公司募集资金管理制度。保荐机构对公司本次继续使用闲置募集资金进行现金管理事项无异议。

　　八、上网公告文件

　　（一）《盛美半导体设备（上海）股份有限公司独立董事关于第二届董事会第五次会议相关事项的独立意见》；

　　（二）《海通证券股份有限公司关于盛美半导体设备（上海）股份有限公司继续使用闲置募集资金进行现金管理的核查意见》。

　　特此公告。

　　盛美半导体设备（上海）股份有限公司

　　董事会

　　2023年8月5日

　　证券代码：688082       证券简称：盛美上海       公告编号：2023-034

　　盛美半导体设备（上海）股份有限公司

　　关于通过开设募集资金保证金账户的方式开具银行承兑汇票、信用证或

　　保函支付募投项目款项的公告

　　本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。

　　盛美半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“公司”）于2023年8月3日召开了第二届董事会第五次会议、第二届监事会第五次会议，审议通过了《关于通过开设募集资金保证金账户的方式开具银行承兑汇票、信用证或保函支付募投项目款项的议案》，同意公司通过开设募集资金保证金账户的方式开具银行承兑汇票、信用证或保函，用以支付募投项目中涉及的部分材料、设备、工程等款项。

　　公司独立董事、监事会已对上述事项发表了明确同意意见；保荐机构海通证券股份有限公司（以下简称“保荐机构”）出具了无异议意见。根据《上市公司监管指引第2号——上市公司募集资金管理和使用的监管要求》及公司《募集资金管理制度》相关规定，该事项无需提交公司股东大会审议。现将相关事项公告如下：

　　一、募集资金基本情况

　　根据中国证券监督管理委员会核发的《关于同意盛美半导体设备（上海）股份有限公司首次公开发行股票注册的批复》（证监许可[2021]2689号），公司于2021年11月18日首次公开发行A股43,355,753股，每股的发行价为人民币85.00元，募集资金总额为人民币3,685,239,005.00元，扣除发行费用人民币203,980,484.66元（不含增值税，下同）后，实际募集资金净额（以下简称“募资净额”）为人民币3,481,258,520.34元。上述募资净额已由立信会计师事务所（特殊普通合伙）审验并出具信会师报字[2021]第ZI10561号《验资报告》予以确认。

　　为规范公司募集资金管理和使用、保护投资者权益，公司设立了募集资金专项账户，并与保荐机构、存放募集资金的商业银行签署了《募集资金专户存储三方监管协议》。募集资金到账后，已全部存放于经公司董事会批准开设的募集资金专项账户内。

　　二、募集资金使用情况

　　截至2023年6月30日，公司募投项目及募集资金使用情况详见公司于2023年8月5日披露于上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）的《盛美半导体设备（上海）股份有限公司2023年半年度募集资金存放与实际使用情况专项报告》（公告编号：2023-032）。

　　三、关于通过开设募集资金保证金账户的方式开具银行承兑汇票、信用证或保函支付募投项目款项的基本情况和操作流程

　　为提高公司资金使用效率、合理改进募投项目款项支付方式、降低资金成本，根据《上市公司监管指引第2号——上市公司募集资金管理和使用的监管要求》及公司《募集资金管理制度》相关规定，在不影响募集资金投资计划正常进行的前提下，在募投项目实施期间，公司拟通过开设募集资金保证金账户的方式开具银行承兑汇票、信用证或保函，用以支付募投项目中涉及的部分材料、设备、工程等款项。具体操作流程如下：

　　（一）使用银行承兑汇票、信用证或保函支付募投项目款项所需的申请、审批、支付等程序，须遵守公司《募集资金管理制度》的相关规定；

　　（二）财务部建立专项台账，逐笔统计使用银行承兑汇票、信用证或保函支付的募投项目款项，按月编制汇总明细表，并定期抄送保荐机构；

　　（三）对于开具银行承兑汇票、信用证或保函用于支付募投项目款项的，以募集资金支付银行承兑汇票、信用证或保函保证金，并以银行承兑汇票、信用证或保函保证金形式存储于募集资金专户银行开设的募集资金保证金账户中。从募集资金专户中转出相应款项之后，应及时以邮件或书面形式通知保荐人；

　　（四）募集资金专户银行在募集资金保证金账户内以该银行承兑汇票、信用证或保函保证金开具银行承兑汇票、信用证或保函，并用于支付募投项目中涉及的部分材料、设备、工程等款项；

　　（五）银行承兑汇票、信用证或保函到期后，该保证金将直接用于兑付到期的银行承兑汇票、信用证或保函资金，剩余不足支付部分由公司使用募集资金专户中的募集资金直接支付；

　　（六）募集资金保证金账户注销前，若存在本金及利息结余，应及时转入募集资金专户；

　　（七）保荐机构和保荐代表人对公司通过开立募集资金保证金账户方式开具银行承兑汇票、信用证或保函用来支付募集资金投资项目款项的情况进行监督。保荐机构有权采取现场检查、书面问询等方式对公司开具银行承兑汇票、信用证或保函支付募集资金投资项目款项的情况进行监督，公司及相关募投项目实施主体与募集资金专户银行应当配合保荐机构的调查与查询。

　　四、专项意见说明

　　（一）独立董事意见

　　经核查，独立董事认为：公司通过开设募集资金保证金账户的方式开具银行承兑汇票、信用证或保函支付募投项目款项是为合理改进募投项目款项支付方式，有利于提高募集资金的流动性和使用效率，降低资金使用成本，符合股东和广大投资者利益，不影响公司募集资金投资项目的正常运行，不存在变相改变募集资金投向和损害公司股东尤其是中小股东利益的情况，不存在违反《上市公司监管指引第2号—上市公司募集资金管理和使用的监管要求》和《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号—规范运作》等相关规定。综上，独立董事同意公司通过开设募集资金保证金账户的方式开具银行承兑汇票、信用证或保函支付募投项目款项事项。

　　（二）监事会意见

　　经审议，监事会认为：公司拟通过开设募集资金保证金账户的方式开具银行承兑汇票、信用证或保函支付募投项目款项，符合公司经营发展的实际需要，有利于提高募集资金的使用效率、合理改进募投项目款项支付方式、降低资金成本；不会影响募集资金投资计划的正常进行，不存在变相改变募集资金专项账户或改变募集资金投向的情况。该事项已经董事会审议通过，独立董事发表了明确的同意意见，履行了必要的内部决策程序，符合相关法律法规的规定。因此，监事会同意本议案。

　　（三）保荐机构核查意见

　　经核查，保荐机构认为，公司本次通过开设募集资金保证金账户的方式开具银行承兑汇票、信用证或保函支付募投项目款项的事项符合公司经营发展的实际需要，有利于提高募集资金的使用效率，不存在变相改变募集资金用途和损害股东利益的情况，不会影响募集资金投资项目的正常进行。上述事项已经公司董事会、监事会审议通过，独立董事发表了明确同意意见，履行了必要的审批程序，符合《上市公司监管指引第2号——上市公司募集资金管理和使用的监管要求》《上海证券交易所上市公司自律监管指引第11号——持续督导》《上海证券交易所科创板股票上市规则》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号——规范运作》等相关规定及公司募集资金管理制度。保荐机构将对此事项实际操作流程进行监督，并督促公司加强管理。保荐机构对公司本次通过开设募集资金保证金账户的方式开具银行承兑汇票、信用证或保函支付募投项目款项的事项无异议。

　　五、上网公告附件

　　（一）《独立董事关于第二届董事会第五次会议相关事项的独立意见》；

　　（二）《海通证券股份有限公司关于盛美半导体设备（上海）股份有限公司通过开设募集资金保证金账户的方式开具银行承兑汇票、信用证或保函支付募投项目款项的核查意见》。

　　特此公告。

　　盛美半导体设备（上海）股份有限公司

　　董事会

　　2023年8月5日

　　证券代码：688082        证券简称：盛美上海        公告编号：2023-030

　　盛美半导体设备（上海）股份有限公司

　　第二届董事会第五次会议决议公告

　　本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。

　　一、董事会会议召开情况

　　2023年8月3日，盛美半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“公司）第二届董事会第五次会议在上海自由贸易试验区蔡伦路1690号第4幢5楼会议室举行，本次会议应出席董事11名，实际出席会议的董事11名。全体董事认可本次会议的通知时间、议案内容等事项。本次会议的召集和召开程序符合《中华人民共和国公司法》《中华人民共和国证券法》等法律法规及《盛美半导体设备（上海）股份有限公司章程》和《盛美半导体设备（上海）股份有限公司董事会议事规则》的相关规定，合法有效。

　　会议由董事长HUI WANG先生主持。

　　二、董事会会议审议情况

　　（一）审议通过了《关于公司2023年半年度报告及其摘要的议案》

　　表决情况：11票赞成，占全体董事人数的100%；0票弃权；0票反对。

　　详见同日在上海证券交易所（http://www.sse.com.cn）披露的《2023年半年度报告》及摘要。

　　（二）审议通过了《关于公司2023年半年度募集资金存放与实际使用情况的专项报告的议案》

　　公司独立董事已对该事项发表了同意的独立意见。

　　表决情况：11票赞成，占全体董事人数的100%；0票弃权；0票反对。

　　详见同日在上海证券交易所（http://www.sse.com.cn）披露的《2023年半年度募集资金存放与使用情况的专项报告》（公告编号：2023-032）。

　　（三）审议通过了《关于继续使用闲置募集资金进行现金管理的议案》

　　公司独立董事已对该事项发表了同意的独立意见。

　　表决情况：11票赞成，占全体董事人数的100%；0票弃权；0票反对。

　　详见同日在上海证券交易所（http://www.sse.com.cn）披露的《关于继续使用闲置募集资金进行现金管理的公告》（公告编号：2023-033）。

　　（四）审议通过了《关于通过开设募集资金保证金账户的方式开具银行承兑汇票、信用证或保函支付募投项目款项的议案》

　　公司独立董事已对该事项发表了同意的独立意见。

　　表决情况：11票赞成，占全体董事人数的100%；0票弃权；0票反对。

　　详见同日在上海证券交易所（http://www.sse.com.cn）披露的《关于通过开设募集资金保证金账户的方式开具银行承兑汇票、信用证或保函支付募投项目款项的公告》（公告编号：2023-034）。

　　（五）审议通过了《关于调整募集资金投资项目内部结构的议案》

　　公司独立董事已对该事项发表了同意的独立意见。

　　表决情况：11票赞成，占全体董事人数的100%；0票弃权；0票反对。

　　详见同日在上海证券交易所（http://www.sse.com.cn）披露的《关于调整募集资金投资项目内部结构的公告》（公告编号：2023-035）。

　　（六）审议通过了《关于调整2023年限制性股票激励计划相关事项的议案》

　　表决情况：6票赞成，占无关联关系董事人数的100%；0票弃权；0票反对。

　　董事HUI WANG、王坚、HAIPING DUN、罗千里、STEPHEN SUN-HAI CHIAO对本议案回避表决。

　　详见同日在上海证券交易所（http://www.sse.com.cn）披露的《关于调整2023年限制性股票激励计划相关事项的公告》（公告编号：2023-036）。

　　（七）审议通过了《关于向2023年限制性股票激励计划激励对象首次授予限制性股票的议案》

　　公司独立董事已对该事项发表了同意的独立意见。

　　表决情况：6票赞成，占无关联关系董事人数的100%；0票弃权；0票反对。

　　董事HUI WANG、王坚、HAIPING DUN、罗千里、STEPHEN SUN-HAI CHIAO对本议案回避表决。

　　详见同日在上海证券交易所（http://www.sse.com.cn）披露的《关于向2023年限制性股票激励计划激励对象首次授予限制性股票的公告》（公告编号：2023-037）。

　　（八）审议通过了《关于调整2019年股票期权激励计划相关事项的议案》

　　公司独立董事已对该事项发表了同意的独立意见。

　　表决情况：6票赞成，占无关联关系董事人数的100%；0票弃权；0票反对。

　　董事HUI WANG、王坚、HAIPING DUN、罗千里、STEPHEN SUN-HAI CHIAO对本议案回避表决。

　　详见同日在上海证券交易所（http://www.sse.com.cn）披露的《关于调整2019年股票期权激励计划相关事项的公告》（公告编号：2023-038）。

　　特此公告。

　　盛美半导体设备（上海）股份有限公司

　　董事会

　　2023年8月5日

　　证券代码：688082      证券简称：盛美上海       公告编号：2023-035

　　盛美半导体设备（上海）股份有限公司

　　关于调整募集资金投资项目内部结构

　　的公告

　　本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。

　　盛美半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“公司”）于2023年8月3日分别召开第二届董事会第五次会议和第二届监事会第五次会议，审议通过了《关于调整募集资金投资项目内部结构的议案》，同意公司在募投项目实施主体、募集资金投资用途及投资总额不变的情况下，调整募集资金投资项目“高端半导体设备拓展研发项目”的内部投资结构。本事项在董事会审批权限范围内，无需提交公司股东大会审议，现将具体情况公告如下：

　　一、募集资金基本情况

　　根据中国证券监督管理委员会核发的《关于同意盛美半导体设备（上海）股份有限公司首次公开发行股票注册的批复》（证监许可[2021]2689号），公司于2021年11月18日首次公开发行A股43,355,753股，每股的发行价为人民币85.00元，募集资金总额为人民币3,685,239,005.00元，扣除发行费用人民币203,980,484.66元（不含增值税，下同）后，实际募集资金净额（以下简称“募资净额”）为人民币3,481,258,520.34元。上述募资净额已由立信会计师事务所（特殊普通合伙）审验并出具信会师报字[2021]第ZI10561号《验资报告》予以确认。

　　为规范公司募集资金管理和使用、保护投资者权益，公司设立了募集资金专项账户，并与保荐机构、存放募集资金的商业银行签署了《募集资金专户存储三方监管协议》。募集资金到账后，已全部存放于经公司董事会批准开设的募集资金专项账户内。

　　二、募集资金使用情况

　　根据《盛美半导体设备（上海）股份有限公司首次公开发行股票并在科创板上市招股说明书》，公司的募集资金投资项目及募集资金的使用计划具体如下：

　　单位：元

　　（一）募集资金先期投入及置换情况

　　公司于2022年3月1日分别召开了第一届董事会第十七次会议和第一届监事会第十四次会议，审议通过了《关于使用募集资金置换预先投入募投项目及已支付发行费用的自筹资金的议案》，同意使用募集资金置换预先投入募投项目及已支付发行费用的自筹资金，置换资金总额为217,839,663.21元。公司监事会、独立董事对本事项发表了意见，保荐机构海通证券股份有限公司出具了核查意见，立信会计师事务所（特殊普通合伙）出具了审核报告。具体内容详见公司于2022年3月2日在上海证券交易所网站（http://www.sse.com.cn）披露的《关于使用募集资金置换预先投入募投项目及已支付发行费用的自筹资金的公告》（公告编号：2022-009）。

　　（二）公司超募资金情况

　　公司于2022年8月4日召开第一届董事会第十九次会议和第一届监事会第十六次会议，审议通过了《关于使用部分超募资金投资建设新项目的议案》，同意公司使用74,773.07万元（含利息收益）用于投资建设“高端半导体设备拓展研发项目”，其中使用超募资金人民币73,087.15万元。公司监事会、独立董事对本事项发表了意见，保荐机构海通证券股份有限公司出具了核查意见。该议案于2022年9月8日经公司2022年第一次临时股东大会审议通过。具体内容详见公司于2022年8月8日在上海证券交易所网站（http://www.sse.com.cn）披露的《关于使用部分超募资金投资建设新项目的公告》（公告编号：2022-019）。

　　公司于2023年2月23日召开第二届董事会第三次会议和第二届监事会第三次会议，审议通过了《关于使用部分超募资金向全资孙公司增资以实施新建项目的议案》，同意公司以超募资金人民币24,500.00万元向全资孙公司ACM Research Korea CO., LTD.（以下简称“盛美韩国”）增资以新建并实施“盛美韩国半导体设备研发与制造中心”项目，并同意通过技术许可的方式，将现有成熟技术授权于盛美韩国，应用到本项目的研发生产中。公司监事会、独立董事对本事项发表了意见，保荐机构海通证券股份有限公司出具了核查意见。该议案于2023年3月29日经公司2023年第二次临时股东大会审议通过。具体内容详见公司于2023年2月25日在上海证券交易所网站（http://www.sse.com.cn）披露的《关于使用部分超募资金向全资孙公司增资以实施新建项目的公告》（公告编号：2023-015）。

　　三、本次调整部分募投项目内部投资结构的情况

　　（一）调整募投项目内部投资结构的原因

　　公司募集资金投资项目“高端半导体设备拓展研发项目”计划总投资74,773.07万元，原计划投资结构为场地投资46,750.25万元，研发设备购置及安装费2,070.30万元，研发费用25,952.52万元。在项目实施过程中，经公开挂牌转让程序，公司以低于预算金额的价格成功购得研发办公楼。此外公司优化了场地装修方案,缩减了不必要的装修支出，有效降低了场地装修费。以上原因使得公司在场地投资上的支出将大幅低于原预算金额。

　　与此同时，随着半导体技术不断发展，晶圆制程越来越复杂，技术节点越来越小，对晶圆清洗和干燥的要求也越来越高。超临界CO2清洗干燥技术相较于传统的湿法清洗工艺具有明显的优势，可以有效地提高晶圆的清洁度和完整性，提升产品性能和良率，更好地满足新一代半导体制造中对晶圆表面和内部质量的要求。超临界CO2清洗干燥技术在10nm级技术节点已成为关键性技术。当前和未来，其都将像光刻机、刻蚀机、PECVD、ALD、高端检测设备一样，是半导体先进制程的关键核心设备。为进一步提升公司“高端半导体设备拓展研发项目”拟研发的超临界CO2清洗干燥设备的技术水平和竞争力，公司计划继续增加研发投入。

　　综上，为进一步提高募集资金使用效率，更加科学地安排和调动资源，公司拟调整“高端半导体设备拓展研发项目”内部投资结构中“场地投资”和“研发费用”的投入金额。

　　（二）调整部分募投项目内部投资结构的具体情况

　　“高端半导体设备拓展研发项目”内部投资结构调整情况如下：

　　单位：人民币万元

　　四、募集资金投资项目内部结构调整对公司的影响

　　公司本次调整“高端半导体设备拓展研发项目”内部投资结构，系基于当前市场环境、公司业务发展规划以及项目实际实施情况做出的审慎性决策，未改变募投项目实施主体及投资总额，不存在改变或者变相改变募集资金投向及损害公司及股东利益的情况，不会对公司的正常经营产生重大不利的影响。公司将严格遵守《上海证券交易所股票上市规则》《上海证券交易所上市公司自律监管指引第1号——规范运作》等相关规定，加强募集资金使用的内部与外部监督，确保募集资金使用合法、有效。

　　五、审议程序及相关意见

　　（一）独立董事意见

　　独立董事认为：公司本次调整部分募集资金投资项目内部投资结构是结合公司技术发展需求，综合考虑原募集资金投资项目内部结构的实际情况而做出的审慎决定，本次调整内部投资结构是合理且必要的。本次调整有利于募投项目的正常实施以及募投项目目标的实现，有利于提高募集资金投资使用效率，符合公司战略布局。本次调整未改变募投项目实施主体和实施方式，不存在变相改变公司募集资金用途和损害公司及全体股东特别是中小股东利益的情形。

　　因此，我们一致同意此次调整事项。

　　（二）监事会意见

　　监事会认为：本次调整募集资金投资项目内部结构符合项目建设的实际情况和公司经营规划，符合公司战略规划及未来业务发展需要，不存在变相改变募集资金用途和损害股东特别是中小股东利益的情形。该事项履行了必要的审议程序，符合《上市公司监管指引第2号——上市公司募集资金管理和使用的监管要求》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号——规范运作》等法律法规、规章和规范性文件及公司《募集资金管理制度》的规定。

　　综上，监事会同意公司本次调整募集资金投资项目内部结构事项。

　　（三）保荐机构核查意见

　　经核查，保荐机构认为，公司本次调整募集资金投资项目内部结构事项已经公司董事会、监事会审议通过，独立董事发表了明确同意意见。公司本次调整募集资金投资项目内部结构事项是公司基于市场环境、公司业务发展规划及项目实际实施情况做出的安排，不存在损害股东利益的情况，符合《上市公司监管指引第2号——上市公司募集资金管理和使用的监管要求》《上海证券交易所上市公司自律监管指引第11号——持续督导》《上海证券交易所科创板股票上市规则》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号——规范运作》等相关规定及公司募集资金管理制度。保荐机构对公司本次调整募集资金投资项目内部结构事项无异议。

　　六、上网公告附件

　　（一）《盛美半导体设备（上海）股份有限公司独立董事关于第二届董事会第五次会议相关事项的独立意见》；

　　（二）《海通证券股份有限公司关于盛美半导体设备（上海）股份有限公司调整募集资金投资项目内部结构的核查意见》。

　　特此公告。

　　盛美半导体设备（上海）股份有限公司

　　董事会

　　2023年8月5日

　　证券代码：688082        证券简称：盛美上海       公告编号：2023-038

　　盛美半导体设备（上海）股份有限公司

　　关于调整2019年股票期权激励计划

　　相关事项的公告

　　本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。

　　2023年8月3日，盛美半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“公司”或“本公司”）召开第二届董事会第五次会议及第二届监事会第五次会议，审议通过了《关于调整2019年股票期权激励计划相关事项的议案》。现将相关事项说明如下：

　　一、股票期权激励计划已履行的相关审批程序

　　2019年11月14日，公司召开第一届董事会第一次会议，审议通过了《关于公司2019年股票期权激励计划（草案）的议案》《关于公司2019年股票期权激励计划实施考核管理办法的议案》《关于提请股东大会授权董事会办理2019年股票期权激励相关事宜的议案》等议案。独立董事发表了同意上述议案的独立意见。

　　2019年11月14日，公司召开第一届监事会第一次会议，审议通过了《关于公司2019年股票期权激励计划（草案）的议案》《关于公司2019年股票期权激励计划实施考核管理办法的议案》等议案。

　　2019年11月15日，公司通过现场张贴等手段，在公司内部公示了激励对象的姓名和职务，公示期不少于10天。

　　2019年11月25日，公司召开第一届监事会第二次会议，审议通过了《关于监事会对股票期权激励对象名单的审核意见及公示情况说明的议案》。

　　2019年11月29日，公司召开2019年第一次临时股东大会，审议通过了《关于公司2019年股票期权激励计划（草案）的议案》《关于公司2019年股票期权激励计划实施考核管理办法的议案》《关于授权董事会办理2019年股票期权激励相关事宜的议案》等议案。

　　2019年12月31日，公司分别召开第一届董事会第二次会议和第一届监事会第三次会议，审议通过了《关于调整股票期权激励计划激励对象和授予数量的议案》《关于向激励对象授予股票期权的议案》等议案。独立董事发表了同意上述议案的独立意见。

　　2023年2月3日，公司分别召开第二届董事会第二次会议和第二届监事会第二次会议，审议通过了《关于2019年股票期权激励计划第一个行权期行权条件成就的议案》，独立董事发表了同意上述议案的独立意见。

　　2023年8月3日，公司召开第二届董事会第五次会议及第二届监事会第五次会议，审议通过了《关于调整2019年股票期权激励计划相关事项的议案》，独立董事发表了同意上述议案的独立意见。

　　二、股票期权行权价格及数量的调整事由及调整结果

　　（一）行权价格的调整

　　公司于2023年6月28日召开2022年年度股东大会，审议并通过了《关于2022年度利润分配预案的议案》。2023年7月14日，公司披露了《2022年年度权益分派实施公告》（公告编号：2023-028）。利润分配方案为：以方案实施前的公司总股本433,557,100股为基数，每股派发现金红利0.372元（含税），共计派发现金红利161,283,241.20元。本次权益分派已于2023年7月21日实施完毕。根据公司《2019年股票期权激励计划（草案）》第十一章第二条规定，若在行权前公司发生资本公积金转增股份、派送股票红利、股票拆细、缩股、派息、配股或增发等事项，应对行权价格进行相应的调整，调整方法如下：

　　P=P0–V

　　其中：P0为调整前的行权价格；V为每股的派息额；P为调整后的行权价格；若公司未上市，则在行权前发生股票派息情形时，行权价格不予调整。

　　根据以上公式，本激励计划调整后的行权价格=13.00-0.372=12.63元/股（四舍五入保留两位小数）。

　　（二）行权数量及行权人数的调整

　　自2023年2月3日至本次第二届董事会第五次会议召开之日，共1名激励对象由于个人原因辞职，不再具备激励对象资格。因此，公司需作废其已获授但尚未行权的股票期权92,308份。调整后，公司2019年股票期权激励计划的有效期权数量由5,377,500份变更为5,285,192份，持有对象由84人变更为83人。

　　三、本次调整对公司的影响

　　本次调整公司2019年股票期权激励计划行权价格、行权数量及行权人数的事项符合《上市公司股权激励管理办法》、公司《2019年股票期权激励计划（草案）》等有关法律、法规和规范性文件以及《公司章程》的规定，不会对公司的财务状况和经营成果产生实质性影响，不会影响公司股权激励计划的继续实施。公司管理团队将继续勤勉尽责，认真履职，努力推动公司经营目标的实现，促进公司的长远可持续发展。

　　四、专项意见说明

　　（一）独立董事意见

　　独立董事认为：公司本次调整2019年股票期权激励计划行权价格、行权数量及行权人数的事项符合《上市公司股权激励管理办法》、公司《2019年股票期权激励计划（草案）》等有关法律、法规和规范性文件以及《公司章程》的相关规定，公司审议程序合法合规，不会对公司的财务状况和经营成果产生重大影响，不存在损害公司及全体股东特别是中小股东利益的情形。同意公司本次调整激励计划行权价格、行权数量及行权人数的事项。

　　（二）监事会意见

　　监事会认为：公司本次对2019年股票期权激励计划行权价格、行权数量及行权人数进行调整的事项符合《上市公司股权激励管理办法》《2019年股票期权激励计划（草案）》等有关法律、法规和规范性文件以及《公司章程》的相关规定，审议和表决程序合法有效，不存在损害公司及全体股东利益的情形。监事会同意公司调整2019年股票期权激励计划行权价格、行权数量及行权人数的事项。

　　（三）律师法律意见书的结论意见

　　北京市金杜律师事务所上海分所认为：截至本法律意见书出具日，本次调整已经取得现阶段必要的批准和授权；本次调整符合《上市公司股权激励管理办法》和《2019年股票期权激励计划（草案）》的相关规定。公司尚需按照相关法律法规规定履行相应的信息披露义务。

　　五、上网公告附件

　　（一）《盛美半导体设备（上海）股份有限公司独立董事关于第二届董事会第五次会议相关事项的独立意见》；

　　（二）《北京市金杜律师事务所上海分所关于盛美半导体设备（上海）股份有限公司调整2019年股票期权激励计划行权价格及数量之法律意见书》。

　　特此公告。

　　盛美半导体设备（上海）股份有限公司

　　董事会

　　2023年8月5日

　　证券代码：688082        证券简称：盛美上海       公告编号：2023-031

　　盛美半导体设备（上海）股份有限公司

　　第二届监事会第五次会议决议公告

　　本公司监事会及全体监事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。

　　一、监事会会议召开情况

　　2023年8月3日，盛美半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“公司”）第二届监事会第五次会议在上海自由贸易试验区蔡伦路1690号第4幢5楼会议室举行。本次会议应出席监事3名，实际出席会议的监事3名。全体监事认可本次会议的通知时间、议案内容等事项，会议的召开符合《中华人民共和国公司法》（以下简称“《公司法》”）、《中华人民共和国证券法》等法律法规及《盛美半导体设备（上海）股份有限公司章程》（以下简称“《公司章程》”）、《盛美半导体设备（上海）股份有限公司监事会议事规则》的相关规定，合法有效。

　　会议由监事会主席TRACY DONG LIU女士主持。

　　二、监事会会议审议情况

　　（一）审议通过《关于公司2023年半年度报告及其摘要的议案》

　　监事会认为：董事会编制和审议2023年半年度报告的程序符合法律、行政法规和中国证监会的规定，公司2023年半年度报告及摘要内容真实、准确、完整地反映了公司2023年半年度的经营实际情况，不存在虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏。

　　表决情况：3票赞成，占监事人数的100%；0票弃权；0票反对。

　　（二）审议通过《关于公司2023年半年度募集资金存放与实际使用情况的专项报告的议案》

　　监事会认为：2023年上半年，公司严格按照相关法律法规以及公司《募集资金管理制度》等规定和要求管理募集资金专项账户，并及时、真实、准确、完整履行相关信息披露工作，公司募集资金存放与使用合法合规，不存在变相改变募集资金投向、损害公司及全体股东利益的情形。

　　表决情况：3票赞成，占监事人数的100%；0票弃权；0票反对。

　　（三）审议通过《关于继续使用闲置募集资金进行现金管理的议案》

　　监事会认为：本次继续使用部分暂时闲置募集资金进行现金管理，内容及审议程序符合《上市公司监管指引第2号——上市公司募集资金管理和使用的监管要求》等相关法律法规、规章及公司《募集资金管理制度》的规定。本次继续使用部分暂时闲置募集资金进行现金管理，可以提高募集资金利用效率，增加公司现金资产收益，不存在变相改变募集资金用途的情形，不影响募投项目的正常实施。

　　监事会同意公司使用最高不超过人民币15亿元的暂时闲置募集资金在确保不影响募集资金投资项目实施、确保募集资金安全的前提下用于现金管理。

　　表决情况：3票赞成，占监事人数的100%；0票弃权；0票反对。

　　（四）审议通过《关于通过开设募集资金保证金账户的方式开具银行承兑汇票、信用证或保函支付募投项目款项的议案》

　　监事会认为：公司拟通过开设募集资金保证金账户的方式开具银行承兑汇票、信用证或保函支付募投项目款项，符合公司经营发展的实际需要，有利于提高募集资金的使用效率、合理改进募投项目款项支付方式、降低资金成本；不会影响募集资金投资计划的正常进行，不存在变相改变募集资金专项账户或改变募集资金投向的情况。该事项已经董事会审议通过，独立董事发表了明确的同意意见，履行了必要的内部决策程序，符合相关法律法规的规定。因此，监事会同意本议案。

　　表决情况：3票赞成，占监事人数的100%；0票弃权；0票反对。

　　（五）审议通过《关于调整募集资金投资项目内部结构的议案》

　　监事会认为：本次调整募集资金投资项目内部结构符合项目建设的实际情况和公司经营规划，符合公司战略规划及未来业务发展需要，不存在变相改变募集资金用途和损害股东特别是中小股东利益的情形。该事项履行了必要的审议程序，符合《上市公司监管指引第2号——上市公司募集资金管理和使用的监管要求》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号——规范运作》等法律法规、规章和规范性文件及公司《募集资金管理制度》的规定。

　　表决情况：3票赞成，占监事人数的100%；0票弃权；0票反对。

　　（六）审议通过《关于调整2023年限制性股票激励计划相关事项的议案》

　　监事会认为：本次调整符合《上市公司股权激励管理办法》《2023年限制性股票激励计划（草案）》的相关规定，不存在损害公司股东利益的情形。调整后的激励对象均符合《上市公司股权激励管理办法》、公司《2023年限制性股票激励计划（草案）》等相关文件所规定的激励对象条件，其作为本激励计划的激励对象合法、有效。经本次调整后，公司本次激励计划授予的激励对象人数由515名调整为508名，首次授予数量仍为1,064.85万股，预留授予的限制性股票数量仍为266.15万股。授予价格由50.15元/股调整为49.78元/股。

　　我们同意调整2023年限制性股票激励计划激励对象名单及授予价格。

　　表决情况：3票赞成，占监事人数的100%；0票弃权；0票反对。

　　（七）审议通过《关于向2023年限制性股票激励计划激励对象首次授予限制性股票的议案》

　　监事会认为：

　　1、本次拟首次授予限制性股票的激励对象具备《公司法》等法律、法规和规范性文件以及《公司章程》规定的任职资格，符合《上市公司股权激励管理办法》和《2023年限制性股票激励计划（草案）》等文件规定的激励对象条件，不存在《上市公司股权激励管理办法》第八条规定的不得成为激励对象的情形，符合本次激励计划规定的激励对象范围。本次拟首次授予限制性股票的激励对象主体资格合法、有效，满足获授限制性股票的条件；

　　2、公司本次激励计划首次授予的激励对象不包括公司独立董事、监事；

　　3、公司与激励对象均未发生不得授予及获授限制性股票的情形，本次激励计划设定的激励对象获授条件已经成就。

　　综上所述，监事会同意公司以2023年8月3日为首次授予日，向508名激励对象授予1,064.85万股限制性股票，授予价格为49.68元/股。

　　表决情况：3票赞成，占监事人数的100%；0票弃权；0票反对。

　　（八）审议通过《关于调整2019年股票期权激励计划相关事项的议案》

　　监事会认为：公司本次对2019年股票期权激励计划行权价格、行权数量及行权人数进行调整的事项符合《上市公司股权激励管理办法》《2019年股票期权激励计划（草案）》等有关法律、法规和规范性文件以及《公司章程》的相关规定，审议和表决程序合法有效，不存在损害公司及全体股东利益的情形。监事会同意公司调整2019年股票期权激励计划行权价格、行权数量及行权人数的事项。

　　表决情况：3票赞成，占监事人数的100%；0票弃权；0票反对。

　　特此公告。

　　盛美半导体设备（上海）股份有限公司

　　监事会

　　2023年8月5日

　　证券代码：688082         证券简称：盛美上海         公告编号：2023-032

　　盛美半导体设备（上海）股份有限公司

　　2023年半年度募集资金存放与

　　实际使用情况专项报告

　　本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。

　　根据中国证券监督管理委员会《上市公司监管指引第2号——上市公司募集资金管理和使用的监管要求（2022年修订）》（证监会公告［2022］15号）、《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号——规范运作》的相关规定，本公司就2023年半年度募集资金存放与使用情况作如下专项报告：

　　一、募集资金基本情况

　　（一）实际募集资金金额、资金到位情况

　　经中国证券监督管理委员会《关于同意盛美半导体设备（上海）股份有限公司首次公开发行股票注册的批复》（证监许可[2021]2689号）批准，公司向社会公开发行人民币普通股（A股）43,355,753股，发行价格为85.00元/股，募集资金总额为人民币3,685,239,005.00元，扣除承销商保荐及承销费用人民币173,832,028.54元，减除其他与发行权益性证券直接相关的外部费用人民币30,148,456.12元（包括：审计费及验资费12,467,000.00元、律师费10,904,467.37元、用于本次发行的信息披露费用4,575,471.70元、发行手续费及材料制作费等2,201,517.05元），募集资金净额为人民币3,481,258,520.34元。上述募集资金到位情况已经立信会计师事务所（特殊普通合伙）审验并出具信会师报字[2021]第ZI10561号《验资报告》。

　　（二）2023年半年度募集资金使用情况及结余情况

　　截至2023年6月30日，募集资金累计使用及结余情况如下：

　　注：募集资金结余金额详情见本专项报告二、（二）及三、（四）。

　　二、募集资金管理情况

　　（一）募集资金的管理情况

　　为规范公司募集资金管理，保护中小投资者利益，公司已制定了《募集资金管理制度》，对募集资金的存放、使用以及监督等作出了具体明确的规定。报告期内，公司严格按照公司《募集资金管理制度》的规定管理和使用募集资金，募集资金的存放、使用、管理均不存在违反《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号——规范运作》等法规文件的规定以及公司《募集资金管理制度》等制度的情况。

　　2021年11月，公司和保荐机构海通证券股份有限公司分别与招商银行股份有限公司上海分行、中国光大银行股份有限公司上海昌里支行、中国银行股份有限公司上海市浦东开发区支行、上海银行股份有限公司浦东分行、招商银行股份有限公司上海陆家嘴支行、上海浦东发展银行股份有限公司黄浦支行、招商银行股份有限公司上海淮海支行、兴业银行股份有限公司上海市北支行、宁波银行股份有限公司上海长宁支行、中国工商银行股份有限公司上海自贸试验区新片区分行共同签订了《募集资金专户存储三方监管协议》，公司及全资子公司盛帷半导体设备（上海）有限公司和保荐机构海通证券股份有限公司与招商银行股份有限公司上海分行共同签订了《募集资金专户存储四方监管协议》。2022年10月，公司和保荐机构海通证券股份有限公司与上海浦东发展银行股份有限公司黄浦支行签订了《募集资金专户存储三方监管协议之补充协议》。上述监管协议明确了各方的权利和义务，协议主要条款与上海证券交易所《募集资金专户存储三方监管协议（范本）》不存在重大差异。其中中国银行股份有限公司上海市浦东开发区支行已于2023年5月15日、上海银行股份有限公司浦东分行已于2023年5月22日销户。截至2023年6月30日，其他上述监管协议履行正常。

　　（二）募集资金存储情况

　　截至2023年6月30日，募集资金存储情况如下：

　　注：定期账户为系统自动生成，依托于活期账户而存在，资金进出均需通过募集资金专户。

　　三、本报告期募集资金的实际使用情况

　　（一）募集资金投资项目（以下简称“募投项目”）的资金使用情况

　　本公司2023年半年度募集资金实际使用情况详见附表《募集资金使用情况对照表》。

　　（二）募投项目先期投入及置换情况

　　报告期内，本公司不存在募投项目先期投入及置换的情况。

　　（三）用闲置募集资金暂时补充流动资金情况

　　截至2023年6月30日，本公司不存在用闲置募集资金暂时补充流动资金的情况。

　　（四）对闲置募集资金进行现金管理，投资相关产品情况

　　本公司于2022年8月18日召开第一届董事会第二十次会议、第一届监事会第十七次会议，审议通过了《关于使用闲置募集资金进行现金管理的议案》，同意公司在保证不影响募集资金计划正常进行的前提下，使用最高不超过人民币20亿元的暂时闲置募集资金用于购买安全性高、流动性好、有保本约定的投资产品，使用期限自公司董事会、监事会审议通过之日起12个月内有效。在前述额度及期限范围内，公司可以循环滚动使用。具体内容详见公司于2022年8月20日在上海证券交易所网站（http://www.sse.com.cn）披露的《关于使用闲置募集资金进行现金管理的公告》（公告编号：2022-023）。

　　报告期内，公司使用部分闲置募集资金进行现金管理具体情况如下：

　　（五）用超募资金永久补充流动资金或归还银行贷款情况

　　截至2023年6月30日，本公司不存在用超募资金永久补充流动资金或归还银行贷款情况。

　　（六）超募资金用于在建项目及新项目（包括收购资产等）的情况

　　公司于2023年2月23日召开第二届董事会第三次会议和第二届监事会第三次会议，审议通过了《关于使用部分超募资金向全资孙公司增资以实施新建项目的议案》，同意公司以超募资金人民币24,500.00万元向全资孙公司ACM Research Korea CO., LTD.（以下简称“盛美韩国”）增资以新建并实施“盛美韩国半导体设备研发与制造中心”项目，并同意通过技术许可的方式，将现有成熟技术授权于盛美韩国，应用到本项目的研发生产中。公司监事会、独立董事对本事项发表了明确的同意意见，保荐机构海通证券股份有限公司出具了核查意见。该议案于2023年3月29日经公司2023年第二次临时股东大会审议通过。具体内容详见公司于2023年2月25日在上海证券交易所网站（http://www.sse.com.cn）披露的《关于使用部分超募资金向全资孙公司增资以实施新建项目的公告》（公告编号：2023-015）。

　　（七）节余募集资金使用情况

　　截至2023年6月30日，本公司不存在将募投项目节余资金用于其他募投项目或非募投项目的情况。

　　（八）募集资金使用的其他情况

　　截至2023年6月30日，本公司不存在募集资金使用的其他情况。

　　四、变更募投项目的资金使用情况

　　报告期内，本公司募投项目未发生变更。

　　五、募集资金使用及披露中存在的问题

　　本公司已披露的相关信息不存在不及时、不真实、不准确、不完整披露的情况。已使用的募集资金均投向所承诺的募集资金投资项目，不存在违规使用募集资金的情形。

　　特此公告。

　　盛美半导体设备（上海）股份有限公司

　　董事会

　　2023年8月5日

　　附表：

　　募集资金使用情况对照表

　　2023年半年度

　　编制单位：盛美半导体设备（上海）股份有限公司            

　　单位：人民币元

　　注1：“募集资金总额”是指扣除保荐承销费及其他发行费用后的金额人民币3,481,258,520.34元。

　　注2：“截至期末承诺投入金额”以最近一次已披露募集资金投资计划为依据确定。

　　注3：实际投入金额超过承诺投入金额系累计收到的银行存款利息扣除银行手续费和使用闲置募集资金购买现金管理产品取得投资收益的净额投入募投项目所致。