合肥芯碁微电子装备股份有限公司 2023年半年度募集资金存放与使用情况 的专项报告

　　证券代码：688630      证券简称：芯碁微装      公告编号：2023-046

　　本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。

　　根据中国证券监督管理委员会(以下简称“证监会”)《上市公司监管指引第2号—上市公司募集资金管理和使用的监管要求》(证监会公告[2022]15号)及《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号——规范运作》的规定，合肥芯碁微电子装备股份有限公司（以下简称“芯碁微装”或“公司”）董事会对2023年上半年度募集资金存放与使用情况的专项报告说明如下：

　　一、 募集资金基本情况

　　根据中国证券监督管理委员会《关于同意合肥芯碁微电子装备股份有限公司首次公开发行股票注册的批复》（证监许可[2021]350号）的批准，公司首次公开发行人民币普通股（A股）股票3,020.2448万股，募集资金总额人民币459,983,283.04元，募集资金净额为人民币416,358,195.95元。上述资金已于2021年3月29日全部到位，并存放于公司开设的募集资金专项账户内。容诚会计师事务所（特殊普通合伙）对前述事项进行了审验，并出具《合肥芯碁微电子装备股份有限公司验资报告》（容诚验字【2021】230Z0034号）。

　　截至2023年6月30日，募集资金存放银行产生利息共计人民币13,792,202.76（含活期利息）元，已使用募集资金金额为人民币      305,784,341.77元，本年度已使用募集资金金额为人民币        56,902,426.94 元，现金管理理财结算户余额为人民币0元，募集资金存储账户余额为人民币0元（含活期利息）。

　　二、 募集资金存放和管理情况

　　公司根据有关法律法规的规定，遵循规范、安全、高效、透明的原则，制定了《募集资金管理制度》，对募集资金的存储、审批、使用、管理与监督做出了明确的规定，在制度上保证了募集资金的规范使用。

　　公司、保荐机构海通证券股份有限公司、上海浦东发展银行股份有限公司合肥高新区支行、中信银行合肥分行营业部、中国建设银行股份有限公司合肥政务文化新区支行、中国农业银行合肥分行营业部签署了《募集资金专户存储三方监管协议》(以下简称“三方监管协议”)。《三方监管协议》与证券交易所制定的《募集资金专户存储三方监管协议（范本）》不存在重大差异，《三方监管协议》的履行不存在问题。

　　公司于2022年4月27日召开的第一届董事会第十七次会议、2022年5月18日召开的2021年年度股东大会审议通过了《关于使用暂时闲置募集资金和自有资金进行现金管理的议案》和《关于首次公开发行股票部分募投项目结项并将节余募集资金永久补充流动资金的议案》，同意公司将首次公开发行募集资金部分投资项目“高端 PCB 激光直接成像（LDI）设备升级迭代项目”结项并将节余募集资金用于永久补充公司流动资金，同时公司在履行相关审议程序后对募集资金进行了现金管理，使用不超过人民币30,000万元（含本数）的暂时闲置募集资金进行现金管理，资金可循环滚动使用。

　　公司于2023年5月26日召开第二届董事会第七次会议、第二届监事会第六次会议审议，同意公司将首次公开发行募集资金部分投资项目“晶圆级封装（WLP）直写光刻设备产业化项目”、“平板显示（FPD）光刻设备研发项目”、“微纳制造技术研发中心建设项目”结项并将节余募集资金5,582.40 万元用于永久补充公司流动资金。

　　三、 2023年半年度募集资金的实际使用情况

　　（一）募投项目的资金使用情况

　　报告期内，公司实际使用募集资金56,902,426.94元，具体募集资金使用情况见附表。

　　募投项目实际投资进度与投资计划不存在显著差异，也不存在无法单独核算效益的情形。

　　（二）募投项目先期投入及置换情况

　　截至2021年6月30日，公司已完成对预先投入募投项目的自筹资金的置换。报告期内公司不涉及对预先投入募投项目的自筹资金的置换的情形。

　　（三）用闲置募集资金暂时补充流动资金情况

　　截至2023年6月30日，公司无用闲置募集资金暂时补充流动资金的情形。

　　（四）对闲置募集资金进行现金管理、投资相关产品情况

　　公司于2022年4月27日召开的公司第一届董事会第十七次会议、2022年5月18日召开的2021年年度股东大会审议通过了《关于使用暂时闲置募集资金和自有资金进行现金管理的议案》，使用不超过人民币 30,000 万元（含本数）的暂时闲置募集资金和不超过 10,000万元（含本数）的暂时闲置自有资金进行现金管理，用于购买安全性高、流动性好、有保本约定的投资产品（包括但不限于保本型理财产品、结构性存款、定期存款、通知存款、大额存单、协定存款等），期限不超过12个月。

　　截至2023年6月30日，公司对募集资金进行现金管理情况详见下表：

　　单位：元

　　（五）用超募资金永久补充流动资金或归还银行贷款情况

　　截至2023年6月30日，公司无此种情形。

　　（六）超募资金用于在建项目及新项目（包括收购资产等）的情况

　　截至2023年6月30日，公司无此种情形。

　　（七）节余募集资金使用情况

　　经2022年4月27日召开第一届董事会第十七次会议、第一届监事会第十二次会议审议，并经2022年5月18日召开的2021年年度股东大会审议通过，公司首次公开发行募投项目“高端PCB激光直接成像（LDI）设备升级迭代项目”结项并将节余募集资金用于永久补充公司流动资金。

　　经2023年5月26日召开第二届董事会第七次会议、第二届监事会第六次会议审议，同意公司将首次公开发行募集资金部分投资项目“晶圆级封装（WLP）直写光刻设备产业化项目”、“平板显示（FPD）光刻设备研发项目”、“微纳制造技术研发中心建设项目”结项并将节余募集资金用于永久补充公司流动资金。

　　四、 变更募集资金投资项目的资金使用情况

　　公司于2022年4月27日召开第一届董事会第十七次会议、第一届监事会第十二次会议，于2022年5月18日召开了2021年度股东大会，审议通过了《关于首次公开发行股票部分募投项目结项并将节余募集资金永久补充流动资金的议案》，同意公司首次公开发行股票募投项目“高端PCB激光直接成像 (LDI) 设备升级选代项目” 结项并将节余募集资金用于永久补充流动资金。公司将该项目节余募集资金6.849.44万元(包含利息收入扣除银行手续费后净额437.92万元) 永久性补充流动资金，节余募集资金转出后，公司已对该募集资金专户办理注销手续。该事项已经公司董事会、股东大会审议通过，独立董事、监事会均发表了明确同意意见，保荐机构出具了核查意见。

　　公司于2023年5月26日召开第二届董事会第七次会议、第二届监事会第六次会议，同意公司将首次公开发行募集资金部分投资项目“晶圆级封装（WLP）直写光刻设备产业化项目”、“平板显示（FPD）光刻设备研发项目”、“微纳制造技术研发中心建设项目”结项并将节余募集资金用于永久补充公司流动资金。公司将该项目节余募集资金5，582.40万元用于永久性补充流动资金，节余募集资金转出后，公司已对该募集资金专户办理注销手续。该事项已经公司董事会审议通过，独立董事、监事会均发表了明确同意意见，保荐机构出具了核查意见。

　　五、 募集资金使用及披露中存在的问题

　　公司及时、真实、准确、完整的披露了相关信息，不存在募集资金管理的违规情形。

　　六、会计师事务所对公司2023年半年度募集资金存放与使用情况出具的鉴证报告的结论性意见

　　不适用。

　　七、公司存在两次以上融资且当年分别存在募集资金运用的，应在专项报告分别说明

　　不适用。

　　特此公告。

　　合肥芯碁微电子装备股份有限公司董事会

　　2023年8月26日

　　公司代码：688630                      　　　　　　　　　　公司简称：芯碁微装

　　合肥芯碁微电子装备股份有限公司

　　2023年半年度报告摘要

　　第一节 重要提示

　　1.1 本半年度报告摘要来自半年度报告全文，为全面了解本公司的经营成果、财务状况及未来发展规划，投资者应当到上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）网站仔细阅读半年度报告全文。

　　1.2 重大风险提示

　　报告期内，不存在对公司生产经营产生实质性影响的特别重大风险。公司已在报告中详细描述可能存在的相关风险，敬请查阅第三节管理层讨论与分析“五、风险因素”部分内容。

　　1.3 本公司董事会、监事会及董事、监事、高级管理人员保证半年度报告内容的真实性、准确性、完整性，不存在虚假记载、误导性陈述或重大遗漏，并承担个别和连带的法律责任。

　　1.4 公司全体董事出席董事会会议。

　　1.5 本半年度报告未经审计。

　　1.6 董事会决议通过的本报告期利润分配预案或公积金转增股本预案

　　无

　　1.7 是否存在公司治理特殊安排等重要事项

　　□适用    √不适用

　　第二节 公司基本情况

　　2.1 公司简介

　　公司股票简况

　　公司存托凭证简况

　　□适用    √不适用

　　联系人和联系方式

　　2.2 主要财务数据

　　单位：元  币种：人民币

　　2.3 前10名股东持股情况表

　　单位: 股

　　2.4 前十名境内存托凭证持有人情况表

　　□适用    √不适用

　　2.5 截至报告期末表决权数量前十名股东情况表

　　□适用    √不适用

　　2.6 截至报告期末的优先股股东总数、前10名优先股股东情况表

　　□适用    √不适用

　　2.7 控股股东或实际控制人变更情况

　　□适用    √不适用

　　2.8 在半年度报告批准报出日存续的债券情况

　　□适用    √不适用

　　第三节 重要事项

　　公司应当根据重要性原则，说明报告期内公司经营情况的重大变化，以及报告期内发生的对公司经营情况有重大影响和预计未来会有重大影响的事项

　　□适用    √不适用

　　证券代码：688630      证券简称：芯碁微装       公告编号：2023-047

　　合肥芯碁微电子装备股份有限公司

　　关于作废处理部分限制性股票的公告

　　本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏。并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。

　　合肥芯碁微电子装备股份有限公司（以下简称“公司”）于2023年8月25日召开的第二届董事会第十次会议和第二届监事会第九次会议，审议通过了《关于作废处理部分限制性股票的议案》。现将有关事项说明如下：

　　一、本次股权激励计划已履行的决策程序和信息披露情况

　　1、2022年4月7日，公司召开的第一届董事会第十六次会议审议通过了《关于公司<2022年限制性股票激励计划（草案）>及其摘要的议案》、《关于公司<2022年限制性股票激励计划实施考核管理办法>的议案》以及《关于提请股东大会授权董事会办理股权激励计划相关事项的议案》等议案。公司独立董事就本次激励计划相关事项发表了明确同意的独立意见。

　　同日，公司召开第一届监事会第十一次会议，审议通过了《关于公司<2022年限制性股票激励计划（草案）>及其摘要的议案》、《关于公司<2022年限制性股票激励计划实施考核管理办法>的议案》以及《关于核实公司<2022年限制性股票激励计划首次授予部分激励对象名单>的议案》，公司监事会对本次激励计划的相关事项进行核实并出具了相关核查意见。

　　上述相关事项公司已于2022年4月8日在上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）进行了披露。

　　2、2022年4月8日，公司在上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露了《合肥芯碁微电子装备股份有限公司关于独立董事公开征集委托投票权的公告》（公告编号：2022-008），根据公司其他独立董事的委托，独立董事胡刘芬女士作为征集人就2022年第一次临时股东大会审议的本次激励计划相关议案向公司全体股东征集投票权。

　　3、2022年4月8日至2022年4月17日，公司内部对本次激励计划首次授予部分激励对象的姓名和职务进行了公示。在公示期内，公司监事会未收到任何人对激励对象提出的异议。2022年4月19日，公司在上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露了《合肥芯碁微电子装备股份有限公司监事会关于公司2022年限制性股票激励计划首次授予部分激励对象名单的公示情况说明及核查意见》（公告编号：2022-009）。

　　4、2022年4月25日，公司召开2022年第一次临时股东大会，审议通过了《关于公司< 2022年限制性股票激励计划（草案）>及其摘要的议案》、《关于公司<2022年限制性股票激励计划实施考核管理办法>的议案》及《关于提请股东大会授权董事会办理股权激励计划相关事项的议案》，并于2022年4月26日在上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露了《合肥芯碁微电子装备股份有限公司2022年第一次临时股东大会决议公告》（公告编号：2022-010）。

　　5、2022年4月26日，公司在上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露了《关于公司2022年限制性股票激励计划内幕信息知情人及激励对象买卖公司股票情况的自查报告》（公告编号：2022-011）。

　　6、2022年4月27日，公司召开第一届董事会第十七次会议和第一届监事会第十二次会议，审议通过了《关于调整2022年限制性股票激励计划首次授予部分相关事项的议案》和《关于向激励对象首次授予限制性股票的议案》。公司独立董事对上述事项发表了明确同意的独立意见。监事会对首次授予日的激励对象名单进行核实并发表了核查意见。前述相关事项公司于2022年4月28日在上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）进行了披露。

　　7、2023年4月19日，公司召开第二届董事会第六次会议和第二届监事会第五次会议，审议通过了《关于调整2022年限制性股票激励计划授予价格的议案》和《关于向激励对象授予预留部分限制性股票的议案》。公司独立董事对上述事项发表了明确同意的独立意见。监事会对预留授予日的激励对象名单进行核实并发表了核查意见。前述相关事项公司于2023年4月20日在上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）进行了披露。

　　8、2023年8月25日，公司召开第二届董事会第十次会议和第二届监事会第九次会议，审议通过了《关于作废处理部分限制性股票的议案》和《关于2022年限制性股票激励计划首次授予部分第一个归属期符合归属条件的议案》。公司独立董事对上述事项发表了明确同意的独立意见。监事会对本激励计划的相关事项进行核实并出具了相关核查意见。前述相关事项公司于2023年8月26日在上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）进行了披露。

　　二、本次作废处理限制性股票的原因和数量

　　1、因激励对象离职或自愿放弃作废限制性股票

　　根据公司《2022年限制性股票激励计划（草案）》的相关规定“激励对象离职的，包括主动辞职、因公司裁员而离职、劳动合同/聘用协议到期不再续约、因个人过错被公司解聘、协商解除劳动合同或聘用协议等，其已归属股票不作处理，自离职之日起激励对象已获授予但尚未归属的限制性股票不得归属，并作废失效。”鉴于首次授予部分中33名激励对象因个人原因离职，同时有10名激励对象因个人原因自愿放弃所获授的全部限制性股票，以上43名员工已不具备激励对象资格，作废处理其已获授但尚未归属的限制性股票共17.6万股。

　　2、因公司层面考核完成度及激励对象个人层面考核原因不得归属而作废部分限制性股票

　　根据公司《2022年限制性股票激励计划（草案）》和《2022年限制性股票激励计划考核管理办法》的规定，依据2022年公司层面的业绩完成度，本次归属期公司层面归属比例为91%；个人绩效考核方面，首次授予部分62名激励对象2022年个人绩效考核评价结果为“良好”，本期个人层面归属比例为90%；4名激励对象2022年个人绩效考核评价结果为“合格”，本期个人层面归属比例为50%；故作废处理其首次授予部分第一个归属期不得归属的限制性股票共1.74万股。

　　综上所述，本次合计作废处理限制性股票19.34万股。

　　三、本次作废处理部分限制性股票对公司的影响

　　公司本次作废处理部分限制性股票不会对公司的财务状况和经营成果产生实质性影响，不会影响公司核心团队的稳定性，不会影响公司股权激励计划继续实施。

　　四、独立董事意见

　　本次对部分限制性股票的作废处理符合《上海证券交易所科创板股票上市规则（2020年12月修订）》《上市公司股权激励管理办法》以及公司《2022年限制性股票激励计划（草案）》中的相关规定，所作的决定履行了必要的程序。

　　综上，我们一致同意公司作废处理部分限制性股票。

　　五、监事会意见

　　监事会认为：公司本次作废处理部分限制性股票符合有关法律、法规及公司《2022年限制性股票激励计划（草案）》的相关规定，不存在损害股东利益的情况，同意公司此次作废部分限制性股票。

　　六、法律意见书的结论性意见

　　北京德恒(合肥)律师事务所律师认为：公司2022年限制性股票激励计划首次授予部分第一个归属期内作废处理部分限制性股票，符合 《中华人民共和国公司法》《中华人民共和国证券法》以及《上市公司股权激励管理办法》等法规的相关规定，以及公司《2022年限制性股票激励计划（草案）》的相关规定。

　　特此公告。

　　合肥芯碁微电子装备股份有限公司董事会

　　2023年8月26日

　　证券代码：688630      证券简称：芯碁微装       公告编号：2023-048

　　合肥芯碁微电子装备股份有限公司关于2022年限制性股票激励计划首次授予部分

　　第一个归属期符合归属条件的公告

　　本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏。并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。

　　重要内容提示：

　　● 限制性股票拟归属数量：12.18万股

　　● 归属股票来源：公司向激励对象定向发行公司A股普通股股票

　　一、本次股权激励计划批准及实施情况

　　（一）本次限制性股票激励计划方案及已履行的程序

　　1、本次股权激励计划主要内容

　　（1）股权激励方式：第二类限制性股票。

　　（2）授予数量：首次授予87.20万股，预留授予21.50万股。

　　（3）授予价格：25.97元/股（调整后）。

　　（4）激励人数：首次授予206人，预留授予45人。

　　（5）激励计划首次授予的限制性股票的归属期限和归属安排具体如下：

　　预留授予的限制性股票的归属期限和归属比例安排具体如下：

　　（6）任职期限和业绩考核要求

　　①激励对象满足各归属期任职期限要求

　　激励对象获授的各批次限制性股票在归属前，须满足12个月以上的任职期限。

　　②满足公司层面业绩考核要求

　　本次激励计划考核年度为2022-2024年三个会计年度，分年度进行业绩考核并归属，以达到业绩考核目标作为激励对象的归属条件。本激励计划首次授予部分的限制性股票各年度业绩考核目标如下表所示：

　　注：1.上述“营业收入”、“净利润”以经公司聘请的会计师事务所审计的合并报表所载数据为计算依据。

　　2.上述“净利润”以归属于上市公司股东的净利润作为计算依据。并剔除公司全部在有效期内的股权激励计划和员工持股计划所涉股份支付费用影响的数值作为计算依据。

　　本激励计划预留授予各年度业绩考核目标如下表所示：

　　注：1.上述“营业收入”、“净利润”以经公司聘请的会计师事务所审计的合并报表所载数据为计算依据。

　　2.上述“净利润”以归属于上市公司股东的净利润作为计算依据。并剔除公司全部在有效期内的股权激励计划和员工持股计划所涉股份支付费用影响的数值作为计算依据。

　　按照以上业绩考核目标，各归属期公司层面限制性股票的归属比例与对应考核年度考核指标完成度相挂钩，设A为考核当期营业收入实际定比2021年度营业收入增长率，B为考核当期净利润实际定比2021年度净利润增长率，则公司层面限制性股票归属比例X确定方法如下：

　　若公司未满足上述业绩考核目标触发值的，则所有激励对象对应考核当年计划归属的限制性股票均不得归属或递延至下期归属，并作废失效。

　　（五）满足激励对象个人层面绩效考核要求

　　所有激励对象的个人层面绩效考核按照公司现行的相关规定组织实施，并依照激励对象的考核结果确定其实际归属的股份数量。激励对象的绩效考核结果划分为优秀、良好、合格、不合格四个档次，届时根据以下考核评级表中对应的个人层面归属比例确定激励对象的实际归属的股份数量：

　　若公司层面业绩考核达标，激励对象当年实际归属的限制性股票数量=个人当年计划归属的数量×公司层面归属比例×个人层面归属比例。

　　所有激励对象当期计划归属的限制性股票因考核原因不能归属或不能完全归属的，作废失效，不可递延至以后年度。

　　若公司/公司股票因经济形势、市场行情等因素发生变化，继续执行激励计划难以达到激励目的，经公司董事会及/或股东大会审议确认，可决定对本激励计划的尚未归属的某一批次/多个批次的限制性股票取消归属或终止本激励计划。

　　2、本次限制性股票授予已履行的决策程序和信息披露情况

　　（1）2022年4月7日，公司召开的第一届董事会第十六次会议审议通过了《关于公司<2022年限制性股票激励计划（草案）>及其摘要的议案》、《关于公司<2022年限制性股票激励计划实施考核管理办法>的议案》以及《关于提请股东大会授权董事会办理股权激励计划相关事项的议案》等议案。公司独立董事就本次激励计划相关事项发表了明确同意的独立意见。

　　同日，公司召开第一届监事会第十一次会议，审议通过了《关于公司<2022年限制性股票激励计划（草案）>及其摘要的议案》、《关于公司<2022年限制性股票激励计划实施考核管理办法>的议案》以及《关于核实公司<2022年限制性股票激励计划首次授予部分激励对象名单>的议案》，公司监事会对本次激励计划的相关事项进行核实并出具了相关核查意见。

　　上述相关事项公司已于2022年4月8日在上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）进行了披露。

　　（2）2022年4月8日，公司在上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露了《合肥芯碁微电子装备股份有限公司关于独立董事公开征集委托投票权的公告》（公告编号：2022-008），根据公司其他独立董事的委托，独立董事胡刘芬女士作为征集人就2022年第一次临时股东大会审议的本次激励计划相关议案向公司全体股东征集投票权。

　　（3）2022年4月8日至2022年4月17日，公司内部对本次激励计划首次授予部分激励对象的姓名和职务进行了公示。在公示期内，公司监事会未收到任何人对激励对象提出的异议。2022年4月19日，公司在上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露了《合肥芯碁微电子装备股份有限公司监事会关于公司2022年限制性股票激励计划首次授予部分激励对象名单的公示情况说明及核查意见》（公告编号：2022-009）。

　　（4）2022年4月25日，公司召开2022年第一次临时股东大会，审议通过了《关于公司< 2022年限制性股票激励计划（草案）>及其摘要的议案》、《关于公司<2022年限制性股票激励计划实施考核管理办法>的议案》及《关于提请股东大会授权董事会办理股权激励计划相关事项的议案》，并于2022年4月26日在上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露了《合肥芯碁微电子装备股份有限公司2022年第一次临时股东大会决议公告》（公告编号：2022-010）。

　　（5）2022年4月26日，公司在上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露了《关于公司2022年限制性股票激励计划内幕信息知情人及激励对象买卖公司股票情况的自查报告》（公告编号：2022-011）。

　　（6）2022年4月27日，公司召开第一届董事会第十七次会议和第一届监事会第十二次会议，审议通过了《关于调整2022年限制性股票激励计划首次授予部分相关事项的议案》和《关于向激励对象首次授予限制性股票的议案》。公司独立董事对上述事项发表了明确同意的独立意见。监事会对首次授予日的激励对象名单进行核实并发表了核查意见。前述相关事项公司于2022年4月28日在上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）进行了披露。

　　（7）2023年4月19日，公司召开第二届董事会第六次会议和第二届监事会第五次会议，审议通过了《关于调整2022年限制性股票激励计划授予价格的议案》和《关于向激励对象授予预留部分限制性股票的议案》。公司独立董事对上述事项发表了明确同意的独立意见。监事会对预留授予日的激励对象名单进行核实并发表了核查意见。前述相关事项公司于2023年4月20日在上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）进行了披露。

　　（8）2023年8月25日，公司召开第二届董事会第十次会议和第二届监事会第九次会议，审议通过了《关于作废处理部分限制性股票的议案》和《关于2022年限制性股票激励计划首次授予部分第一个归属期符合归属条件的议案》。公司独立董事对上述事项发表了明确同意的独立意见。监事会对本激励计划的相关事项进行核实并出具了相关核查意见。前述相关事项公司于2023年8月26日在上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）进行了披露。

　　（二）激励计划历次限制性股票授予情况

　　（三）激励计划各期限制性股票归属情况

　　截至本公告出具日，公司激励计划各批次授予的限制性股票尚未归属。

　　二、限制性股票归属条件说明

　　（一）董事会就限制性股票归属条件是否成就的审议情况

　　2023年8月25日，公司召开第二届董事会第十次会议审议《关于2022年限制性股票激励计划首次授予部分第一个归属期符合归属条件的议案》。根据公司2022年第一次临时股东大会的授权，董事会认为：公司2022年限制性股票激励计划首次授予部分第一个归属期规定的归属条件已经成就，本次可归属数量为12.18万股，同意公司按照激励计划相关规定为符合条件的163名激励对象办理归属相关事宜。

　　（二）激励对象归属符合激励计划规定的各项归属条件的说明

　　1、根据归属时间安排，激励计划首次授予限制性股票已进入第一个归属期

　　根据激励计划的相关规定，首次授予的限制性股票的第一个归属期为“自相应批次限制性股票授予之日起12个月后的首个交易日至相应批次限制性股票授予之日起24个月内的最后一个交易日止”。本次激励计划首次授予日为2022年4月27日，因此首次授予的限制性股票的第一个归属期为2023年4月27日至2024年4月26日。

　　2、首次授予限制性股票符合归属条件的说明

　　根据公司2022年第一次临时股东大会的授权，以及公司《2022年限制性股票激励计划（草案）》和《2022年限制性股票激励计划实施考核管理办法》的相关规定，激励计划首次授予部分限制性股票第一个归属期的归属条件已成就，现就归属条件成就情况说明如下：

　　（三）部分未达到归属条件的限制性股票的处理方法

　　公司对于部分未达到归属条件的限制性股票作废失效处理，详见《关于作废处理部分限制性股票的公告》（公告编号：2023-047）。

　　（四）监事会意见

　　监事会认为：公司2022年限制性股票激励计划首次授予部分第一个归属期的归属条件已经成就，同意向符合归属条件的163名激励对象归属12.18万股限制性股票，本事项符合《上市公司股权激励管理办法》《2022年限制性股票激励计划（草案）》等相关规定。

　　（五）独立董事意见

　　根据公司《2022年限制性股票激励计划（草案）》和《2022年限制性股票激励计划实施考核管理办法》的相关规定，激励计划首次授予部分第一个归属期的归属条件已经成就。本次符合归属条件的163名激励对象的归属资格合法有效，可归属的限制性股票数量为12.18万股。

　　本次归属安排和审议程序符合《公司法》《证券法》《上市公司股权激励管理办法》等的相关规定，不存在侵犯公司及全体股东利益的情况。

　　综上，我们一致同意公司2022年限制性股票激励计划首次授予部分第一个归属期的归属条件已经成就，并同意公司在上述归属期内实施相关限制性股票的归属登记。

　　三、本次归属的具体情况

　　（一）首次授予日：2022年4月27日

　　（二）归属数量：12.18万股

　　（三）归属人数：163人

　　（四）授予价格：25.97元/股（调整后）

　　（五）股票来源：公司向激励对象定向发行公司A股普通股股票

　　（六）激励对象名单及归属情况

　　四、监事会对激励对象名单的核实情况

　　监事会核查后认为：公司2022年限制性股票激励计划首次授予部分第一个归属期163名激励对象符合《公司法》《证券法》等法律、法规和规范性文件以及《公司章程》规定的任职资格，符合《上市公司股权激励管理办法》《上海证券交易所科创板股票上市规则（2020年12月修订）》等法律、法规和规范性文件规定的激励对象条件，符合本次激励计划规定的激励对象范围，其作为公司本次限制性股票激励计划激励对象的主体资格合法、有效，激励对象获授限制性股票的归属条件已成就。

　　综上所述，我们一致同意公司为本次符合条件的163名激励对象办理归属，对应限制性股票的归属数量为12.18万股。上述事项符合相关法律、法规及规范性文件所规定的条件，不存在损害公司及股东利益的情形。

　　五、归属日及激励对象为董事、高级管理人员的在归属日前6个月内买卖公司股票的情况说明

　　公司将根据政策规定的归属窗口期，统一办理激励对象限制性股票归属及相关的归属股份登记手续，并将中国证券登记结算有限责任公司上海分公司办理完毕股份变更登记手续当日确定为归属日。

　　本激励计划首次授予部分激励对象不包括董事、高级管理人员。

　　六、限制性股票费用的核算及说明

　　公司根据《企业会计准则第11号——股份支付》和《企业会计准则第22号——金融工具确认和计量》，确定限制性股票授予日的公允价值，公司将在授予日至归属日期间的每个资产负债表日，根据最新取得的可归属的人数变动、业绩指标完成情况等后续信息，修正预计可归属限制性股票的数量，并按照限制性股票授予日的公允价值，将当期取得的服务计入相关成本或费用和资本公积。

　　公司在授予日授予限制性股票后，已在对应的等待期根据会计准则对本次限制性股票相关费用进行相应摊销，具体以会计师事务所出具的年度审计报告为准，本次限制性股票归属不会对公司财务状况和经营成果产生重大影响。

　　七、法律意见书的结论性意见

　　北京德恒(合肥)律师事务所律师认为：合肥芯碁微电子装备股份有限公司2022年限制性股票激励计划首次授予部分第一个归属期的归属条件已经成就，且已经取得必要的批准和授权，符合《公司法》《证券法》《上市公司股权激励管理办法》 等法规的相关规定，以及公司《2022年限制性股票激励计划（草案）》的相关规定。本次限制性股票的归属尚需按照《上市公司股权激励管理办法》及公司《2022年限制性股票激励计划（草案）》的相关规定在规定期限内进行信息披露和上海证券交易所办理相应后续手续。

　　八、独立财务顾问意见

　　独立财务顾问认为：截至本报告出具日，合肥芯碁微电子装备股份有限公司2022年限制性股票激励计划首次授予部分第一个归属期的归属条件已经成就，且已经取得必要的批准和授权，符合《公司法》《证券法》以及《上市公司股权激励管理办法》等法规的相关规定，符合公司《2022年限制性股票激励计划（草案）》的相关规定。本次限制性股票的归属尚需按照《上市公司股权激励管理办法》及公司《2022年限制性股票激励计划（草案）》的相关规定在规定期限内进行信息披露和上海证券交易所办理相应后续手续。

　　特此公告。

　　合肥芯碁微电子装备股份有限公司董事会

　　2023年8月26日

　　证券代码：688630        证券简称：芯碁微装        公告编号：2023-049

　　合肥芯碁微电子装备股份有限公司

　　关于召开2023年第四次临时股东大会

　　的通知

　　本公司董事会及全体董事保证公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。

　　重要内容提示：

　　● 股东大会召开日期：2023年9月11日

　　● 本次股东大会采用的网络投票系统：上海证券交易所股东大会网络投票系统

　　一、 召开会议的基本情况

　　（一） 股东大会类型和届次

　　2023年第四次临时股东大会

　　（二） 股东大会召集人：董事会

　　（三） 投票方式：本次股东大会所采用的表决方式是现场投票和网络投票相结合的方式

　　（四） 现场会议召开的日期、时间和地点

　　召开日期时间：2023年9月11日  14点30分

　　召开地点：合肥市高新区长宁大道789号1号楼会议室

　　（五） 网络投票的系统、起止日期和投票时间。

　　网络投票系统：上海证券交易所股东大会网络投票系统

　　网络投票起止时间：自2023年9月11日

　　至2023年9月11日

　　采用上海证券交易所网络投票系统，通过交易系统投票平台的投票时间为股东大会召开当日的交易时间段，即9:15-9:25,9:30-11:30，13:00-15:00；通过互联网投票平台的投票时间为股东大会召开当日的9:15-15:00。

　　（六） 融资融券、转融通、约定购回业务账户和沪股通投资者的投票程序

　　涉及融资融券、转融通业务、约定购回业务相关账户以及沪股通投资者的投票，应按照《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号 — 规范运作》等有关规定执行。

　　（七） 涉及公开征集股东投票权

　　无

　　二、 会议审议事项

　　本次股东大会审议议案及投票股东类型

　　1、 说明各议案已披露的时间和披露媒体

　　上述议案已于2023年8月14日经公司第二届监事会第八次会议审议通过，具体内容详见公司于2023年8月15日上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）及指定信息披露媒体上披露的相关公告。公司将在本次股东大会召开前，将会议资料上传至上海证券交易所网站进行披露。

　　2、 特别决议议案：无

　　3、 对中小投资者单独计票的议案：无

　　4、 涉及关联股东回避表决的议案：无

　　应回避表决的关联股东名称：不适用

　　5、 涉及优先股股东参与表决的议案：无

　　三、 股东大会投票注意事项

　　（一） 本公司股东通过上海证券交易所股东大会网络投票系统行使表决权的，既可以登陆交易系统投票平台（通过指定交易的证券公司交易终端）进行投票，也可以登陆互联网投票平台（网址：vote.sseinfo.com）进行投票。首次登陆互联网投票平台进行投票的，投资者需要完成股东身份认证。具体操作请见互联网投票平台网站说明。

　　（二） 同一表决权通过现场、本所网络投票平台或其他方式重复进行表决的，以第一次投票结果为准。

　　（三） 股东对所有议案均表决完毕才能提交。

　　四、 会议出席对象

　　（一） 股权登记日下午收市时在中国登记结算有限公司上海分公司登记在册的公司股东有权出席股东大会（具体情况详见下表），并可以以书面形式委托代理人出席会议和参加表决。该代理人不必是公司股东。

　　（二） 公司董事、监事和高级管理人员。

　　（三） 公司聘请的律师。

　　（四） 其他人员

　　五、 会议登记方法

　　（一）登记时间：2023年9月8日9:00-11:30，13:30-17:00

　　（二）登记方式：可采用现场登记、信函或传真方式登记，通过信函或传真方式登记的，信函或传真需在2023年9月8日17:00前送达，传真号：0551-63822005。

　　（三）登记地点：合肥市高新区长宁大道789号1号楼2楼证券部

　　（四）登记手续：

　　1、自然人股东亲自出席会议的，应出示本人身份证或其他能够表明其身份的有效证件或证明、股票账户卡；委托代理他人出席会议的，代理人还应出示本人有效身份证件、股东授权委托书。

　　2、法人股东出席会议的应由法定代表人或者法定代表人委托的代理人出席会议。

　　法定代表人出席会议的，应出示法人股东股票账户卡、本人身份证、能证明其具有法定代表人资格的有效证明；委托代理人出席会议的，代理人还应出示本人身份证、法人股东单位的法定代表人依法出具的书面授权委托书。出席会议的股东及股东代理人请携带相关证件原件到场。

　　3、公司不接受电话方式办理登记。

　　六、 其他事项

　　（一）本次现场会议出席者食宿及交通费自理。

　　（二）会议联系方式

　　通讯地址：合肥市高新区长宁大道789号1号楼2楼证券部

　　邮编：230000

　　电话：0551-63826207

　　电子邮箱：yzwei@cfmee.cn

　　联系人：魏永珍

　　特此公告。

　　合肥芯碁微电子装备股份有限公司董事会

　　2023年8月26日

　　附件1：授权委托书

　　附件1：授权委托书

　　授权委托书

　　合肥芯碁微电子装备股份有限公司：

　　兹委托     先生（女士）代表本单位（或本人）出席2023年9月11日召开的贵公司2023年第四次临时股东大会，并代为行使表决权。

　　委托人持普通股数：

　　委托人持优先股数：

　　委托人股东帐户号：

　　委托人签名（盖章）： 　　　　　　　　受托人签名：

　　委托人身份证号： 　　　　　　　　　　受托人身份证号：

　　委托日期：　　年 月 日

　　备注：

　　委托人应在委托书中“同意”、“反对”或“弃权”意向中选择一个并打“√”，对于委托人在本授权委托书中未作具体指示的，受托人有权按自己的意愿进行表决。

　　证券代码：688630    证券简称：芯碁微装      公告编号：2023-053

　　合肥芯碁微电子装备股份有限公司

　　关于参加2023年半年度半导体行业

　　集体业绩说明会的公告

　　本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。

　　重要内容提示：

　　会议线上交流时间：2023年9月4日(星期一) 下午13:00-15:00

　　会议召开方式：线上文字互动

　　互动平台：上海证券交易所上证路演中心（http://roadshow.sseinfo.com/）    

　　投资者可于9月1日(星期五)16:00前通过邮件、电话等形式将需要了解和关注的问题提前提供给公司。公司将在文字互动环节对投资者普遍关注的问题进行回答。

　　合肥芯碁微电子装备股份有限公司（以下简称“公司”）已于2023年8月26日发布公司2023年半年度报告，为便于广大投资者更全面深入地了解公司2023年半年度经营成果、财务状况、发展理念，公司参与了由上交所主办的2023年半年度半导体集体业绩说明会，此次活动将采用网络文字互动的方式举行，投资者可登录上海证券交易所上证路演中心（http://roadshow.sseinfo.com/）参与线上互动交流。

　　一、 说明会类型

　　本次投资者说明会以网络互动形式召开，公司将针对2023年半年度的经营成果及财务指标的具体情况与投资者进行互动交流和沟通，在信息披露允许的范围内就投资者普遍关注的问题进行回答。

　　二、 说明会召开的时间、方式

　　（一） 会议线上交流时间：2023年9月4日(星期一) 下午13:00-15:00

　　（二） 会议召开方式：线上文字互动

　　（三）线上文字互动平台：上海证券交易所上证路演中心（http://roadshow.sseinfo.com/）

　　（四）投资者可于9月1日(星期五)16:00前通过邮件、电话等形式将需要了解和关注的问题提前提供给公司。公司将在文字互动环节对投资者普遍关注的问题进行回答。

　　三、 参加人员

　　董事长：程卓

　　总经理：方林

　　董事会秘书、财务总监：魏永珍

　　独立董事：胡刘芬

　　四、联系人及咨询办法

　　联系人：公司证券部

　　电话：0551-63826207

　　邮箱：yzwei@cfmee.cn

　　五、其他事项

　　本次投资者说明会召开后，投资者可以通过上海证券交易所上证路演中心（http://roadshow.sseinfo.com/）查看本次投资者说明会的召开情况及主要内容。

　　特此公告。

　　合肥芯碁微电子装备股份有限公司

　　董事会

　　2023年8月26日