中微半导体设备（上海）股份有限公司 2025年第一季度报告

　　证券代码：688012                                               证券简称：中微公司

　　本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。

　　重要内容提示

　　● 中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“公司”）在过去14年保持营业收入年均增长大于35%的基础上，2025年第一季度营业收入继续保持高速增长，同比增长35.40%，达到21.73亿元。

　　● 公司站在先进制程工艺发展的最前沿，坚持技术的创新、产品的差异化和知识产权保护的基本原则。坚持原创的设计，和国际领先的半导体客户公司同步前行。公司针对先进逻辑和存储器件制造中关键刻蚀工艺的高端产品新增付运量显著提升，先进逻辑器件中段关键刻蚀工艺和先进存储器件超高深宽比刻蚀工艺实现量产。公司为先进存储器件和逻辑器件开发的六种薄膜设备已经顺利进入市场，公司开发的薄膜设备性能达到国际领先水平，并同步推进多款金属薄膜气相设备、新一代等离子体源的PECVD设备的开发，增加薄膜设备的覆盖率。公司EPI设备顺利进入客户端量产验证阶段，已完成多家先进逻辑器件与MTM器件（包括MEMS和传感器、CIS、功率以及射频器件的超越摩尔器件）客户的工艺验证，并且结果获得客户高度认可。在泛半导体设备领域，公司正在开发更多化合物半导体外延设备，陆续付运至客户端开展生产验证。

　　● 根据市场及客户需求，公司显著加大研发力度，目前公司在研项目涵盖六大类，超过二十款新设备的开发。公司研发新产品的速度显著加快，过去通常需要三到五年开发一款新设备，现在只需两年或更短时间就能开发出有竞争力的新设备，并顺利进入市场，公司有望在未来几年更大规模地推出新产品。本期公司研发投入约6.87亿元，较上年同期增加3.26亿元，同比增长约90.53%，研发投入占公司营业收入比例约为31.60%，远高于科创板上市公司的平均研发投入水平（10%~15%）。

　　公司董事会、监事会及董事、监事、高级管理人员保证季度报告内容的真实、准确、完整，不存在虚假记载、误导性陈述或重大遗漏，并承担个别和连带的法律责任。

　　公司负责人、主管会计工作负责人及会计机构负责人（会计主管人员）保证季度报告中财务信息的真实、准确、完整。

　　第一季度财务报表是否经审计

　　□是     √否

　　一、 主要财务数据

　　(一) 主要会计数据和财务指标

　　单位：元  币种：人民币

　　公司本期营业收入为21.73亿元，同比增长35.40%。公司的等离子体刻蚀设备在国内外持续获得更多客户的认可，针对先进逻辑和存储器件制造中关键刻蚀工艺的高端产品新增付运量显著提升，先进逻辑器件中段关键刻蚀工艺和先进存储器件超高深宽比刻蚀工艺实现量产。公司为先进存储器件和逻辑器件开发的六种薄膜设备已经顺利进入市场，设备性能达到国际领先水平，并同步推进多款金属薄膜气相设备、新一代等离子体源的PECVD设备的开发，增加薄膜设备的覆盖率。公司EPI设备已顺利进入客户端量产验证阶段，已完成多家先进逻辑器件与MTM器件客户的工艺验证，并且结果获得客户高度认可。在泛半导体设备领域，公司正在开发更多化合物半导体外延设备，陆续付运至客户端开展生产验证。

　　公司本期归属于上市公司股东的净利润为3.13亿元，较上年同期增加0.64亿元，同比增长约25.67%，本期增加的主要原因：（1）由于本期营业收入增长35.40%，毛利较去年增加约2.20亿元。（2）由于市场对中微开发多种新设备的需求急剧增长，公司持续加大研发力度，以尽快补齐国产高端半导体设备短板，实现赶超，为持续增长打好基础。本期公司研发投入约6.87亿元，较上年同期增加3.26亿元，同比增长约90.53%。本期研发费用较上年同期增加2.50亿元，同比增长约116.80%。（3）本期公司持有的以公允价值计量的股权投资本期盈利约0.04亿元，与上年同期的亏损0.41亿元相比，增加约0.45亿元。（4）本期公司计入其他收益的政府补助较上年同期增加约0.43亿元。

　　本期归属于上市公司股东的扣除非经常性损益的净利润为2.98亿元，较上年同期增加0.35亿元，同比增长13.44%，主要系公司毛利增加2.20亿元，本期研发费用增长2.50亿元，以及研发加计扣除增长导致所得税费用同比减少约0.22亿元。

　　(二) 非经常性损益项目和金额

　　√适用     □不适用

　　单位:元  币种:人民币

　　对公司将《公开发行证券的公司信息披露解释性公告第1号——非经常性损益》未列举的项目认定为非经常性损益项目且金额重大的，以及将《公开发行证券的公司信息披露解释性公告第1号——非经常性损益》中列举的非经常性损益项目界定为经常性损益的项目，应说明原因。

　　□适用     √不适用

　　(三) 主要会计数据、财务指标发生变动的情况、原因

　　√适用     □不适用

　　二、 股东信息

　　(一) 普通股股东总数和表决权恢复的优先股股东数量及前十名股东持股情况表

　　单位：股

　　持股5%以上股东、前10名股东及前10名无限售流通股股东参与转融通业务出借股份情况

　　□适用     √不适用

　　前10名股东及前10名无限售流通股股东因转融通出借/归还原因导致较上期发生变化

　　□适用     √不适用

　　三、 其他提醒事项

　　需提醒投资者关注的关于公司报告期经营情况的其他重要信息

　　□适用     √不适用

　　四、 季度财务报表

　　(一) 审计意见类型

　　□适用     √不适用

　　(二) 财务报表

　　合并资产负债表

　　2025年3月31日

　　编制单位:中微半导体设备（上海）股份有限公司

　　单位：元  币种:人民币  审计类型：未经审计

　　公司负责人：尹志尧 主管会计工作负责人：陈伟文 会计机构负责人：陈伟文

　　合并利润表

　　2025年1—3月

　　编制单位：中微半导体设备（上海）股份有限公司

　　单位：元  币种:人民币  审计类型：未经审计

　　本期发生同一控制下企业合并的，被合并方在合并前实现的净利润为：0元，上期被合并方实现的净利润为：0 元。

　　公司负责人：尹志尧 主管会计工作负责人：陈伟文 会计机构负责人：陈伟文

　　合并现金流量表

　　2025年1—3月

　　编制单位：中微半导体设备（上海）股份有限公司

　　单位：元  币种：人民币  审计类型：未经审计

　　公司负责人：尹志尧 主管会计工作负责人：陈伟文 会计机构负责人：陈伟文

　　(三) 2025年起首次执行新会计准则或准则解释等涉及调整首次执行当年年初的财务报表

　　□适用     √不适用

　　特此公告

　　中微半导体设备（上海）股份有限公司董事会

　　2025年4月24日

　　证券代码：688012        证券简称：中微公司        公告编号：2025-025

　　中微半导体设备（上海）股份有限公司

　　关于召开2024年年度股东大会的通知

　　本公司董事会及全体董事保证公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。

　　重要内容提示：

　　● 股东大会召开日期：2025年5月28日

　　● 本次股东大会采用的网络投票系统：上海证券交易所股东大会网络投票系统

　　一、 召开会议的基本情况

　　（一） 股东大会类型和届次

　　2024年年度股东大会

　　（二） 股东大会召集人：董事会

　　（三） 投票方式：本次股东大会所采用的表决方式是现场投票和网络投票相结合的方式

　　（四） 现场会议召开的日期、时间和地点

　　召开日期时间：2025年5月28日   14点 30分

　　召开地点：上海市浦东新区泰华路188号中微公司二号楼三楼2303会议室

　　（五） 网络投票的系统、起止日期和投票时间。

　　网络投票系统：上海证券交易所股东大会网络投票系统

　　网络投票起止时间：自2025年5月28日

　　至2025年5月28日

　　采用上海证券交易所网络投票系统，通过交易系统投票平台的投票时间为股东大会召开当日的交易时间段，即9:15-9:25，9:30-11:30，13:00-15:00；通过互联网投票平台的投票时间为股东大会召开当日的9:15-15:00。

　　（六） 融资融券、转融通、约定购回业务账户和沪股通投资者的投票程序

　　涉及融资融券、转融通业务、约定购回业务相关账户以及沪股通投资者的投票，应按照《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号 — 规范运作》等有关规定执行。

　　（七） 涉及公开征集股东投票权

　　无

　　二、 会议审议事项

　　本次股东大会审议议案及投票股东类型

　　股东大会将听取独立董事2024年年度述职报告。

　　1、 说明各议案已披露的时间和披露媒体

　　本次提交股东大会审议的议案已经公司第三届董事会第二次会议、第三届监事会第二次会议审议通过。相关公告已于2025年4月18日在上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）及《中国证券报》、《上海证券报》、《证券时报》、《证券日报》予以披露。公司将在2024年年度股东大会召开前，在上海证券交易所网站(www.sse.com.cn)登载《2024年年度股东大会会议资料》。

　　2、 特别决议议案：11、12、13

　　3、 对中小投资者单独计票的议案：3、4、5、8、10、11、12、13

　　4、 涉及关联股东回避表决的议案：4、8、10、11、12、13

　　应回避表决的关联股东名称：尹志尧需回避表决议案4、8、10、11、12、13；陈伟文需回避表决议案10、11、12、13；拟作为2025年限制性股票激励计划的激励对象的股东及与激励对象存在关联关系的股东需回避表决议案11、12、13

　　5、 涉及优先股股东参与表决的议案：无

　　三、 股东大会投票注意事项

　　（一） 本公司股东通过上海证券交易所股东大会网络投票系统行使表决权的，既可以登陆交易系统投票平台（通过指定交易的证券公司交易终端）进行投票，也可以登陆互联网投票平台（网址：vote.sseinfo.com）进行投票。首次登陆互联网投票平台进行投票的，投资者需要完成股东身份认证。具体操作请见互联网投票平台网站说明。

　　（二） 同一表决权通过现场、本所网络投票平台或其他方式重复进行表决的，以第一次投票结果为准。

　　（三） 股东对所有议案均表决完毕才能提交。

　　四、 会议出席对象

　　（一） 股权登记日下午收市时在中国登记结算有限公司上海分公司登记在册的公司股东有权出席股东大会（具体情况详见下表），并可以以书面形式委托代理人出席会议和参加表决。该代理人不必是公司股东。

　　（二） 公司董事、监事和高级管理人员。

　　（三） 公司聘请的律师。

　　（四） 其他人员

　　五、 会议登记方法

　　1、法人股东：应由法定代表人或者法定代表人委托的代理人出席会议。法定代表人出席会议的，应出示法人股东股票账户卡、本人身份证、能证明其具有法定代表人资格的有效证明；委托代理人出席会议的，代理人还应出示本人身份证、法人股东单位的法定代表人依法出具的书面授权委托书。出席会议的股东及股东代理人请携带相关证件原件到场。

　　2、个人股东：个人股东亲自出席会议的，应出示本人身份证或其他能够表明其身份的有效证件或证明、股票账户卡；委托代理他人出席会议的，代理人还应出示本人有效身份证件、股东授权委托书。

　　（二）登记时间：2025年5月22日（上午9:30－11:30 下午1:30－4:00）。

　　（三）登记地点：上海市浦东新区泰华路188号中微公司董事会办公室。

　　（四）登记方式：可采用电话登记、现场登记、信函或传真方式登记。

　　（五）注意事项：股东请在参加现场会议时携带上述证件。

　　六、 其他事项

　　（一）会议联系方式

　　联系人：胡潇

　　电话： +86-21-6100 1199

　　传真： +86-21-6100 2205

　　地址：上海市浦东新区泰华路188号中微公司董事会办公室

　　（二）会议费用情况：本次股东大会会期半天，与会股东所有费用自理

　　（三）出席会议的股东及股东代理人请携带相关证件原件到场

　　特此公告。

　　中微半导体设备（上海）股份有限公司董事会

　　2025年4月25日

　　附件1：授权委托书

　　附件1：授权委托书

　　授权委托书

　　中微半导体设备（上海）股份有限公司：

　　兹委托     先生（女士）代表本单位（或本人）出席2025年5月28日召开的贵公司2024年年度股东大会，并代为行使表决权。

　　委托人持普通股数：

　　委托人持优先股数：

　　委托人股东账户号：

　　委托人签名（盖章）： 　　　　　　　　受托人签名：

　　委托人身份证号： 　　　　　　　　　　受托人身份证号：

　　委托日期：　　年   月   日

　　备注：

　　委托人应在委托书中“同意”、“反对”或“弃权”意向中选择一个并打“√”，对于委托人在本授权委托书中未作具体指示的，受托人有权按自己的意愿进行表决。

　　证券代码：688012         证券简称：中微公司         公告编号：2025-023

　　中微半导体设备（上海）股份有限公司

　　关于2022年限制性股票激励计划

　　第三个归属期归属结果暨股份上市的公告

　　本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。

　　重要内容提示：

　　● 本次股票上市类型为股权激励股份；股票认购方式为网下，上市股数为755,028股。

　　本次股票上市流通总数为755,028股。

　　● 本次股票上市流通日期为2025年4月29日。

　　根据中国证监会、上海证券交易所、中国证券登记结算有限责任公司上海分公司有关业务规则的规定，中微半导体设备（上海）股份有限公司于2025年4月24日收到中国证券登记结算有限责任公司上海分公司出具的《证券变更登记证明》，公司于2025年4月23日完成了2022年限制性股票激励计划第三个归属期的股份登记工作。现将有关情况公告如下：

　　一、 本次限制性股票归属的决策程序及相关信息披露

　　（1）2022年3月9日，公司召开第二届董事会第三次会议，会议审议通过了《关于公司＜2022年限制性股票激励计划（草案）＞及其摘要的议案》、《关于公司＜2022年限制性股票激励计划实施考核管理办法＞的议案》以及《关于提请股东大会授权董事会办理股权激励相关事宜的议案》等议案。公司独立董事就激励计划相关议案发表了独立意见。

　　同日，公司召开第二届监事会第二次会议，审议通过了《关于公司＜2022年限制性股票激励计划（草案）＞及其摘要的议案》、《关于公司＜2022年限制性股票激励计划实施考核管理办法＞的议案》、《关于核实公司＜2022年限制性股票激励计划激励对象名单＞的议案》，公司监事会对本激励计划的相关事项进行核实并出具了相关核查意见。

　　（2）2022年3月10日，公司于上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露了《关于独立董事公开征集委托投票权的公告》（公告编号：2022-008），根据公司其他独立董事的委托，独立董事Chen,Shimin（陈世敏）先生作为征集人就2022年第二次临时股东大会审议的公司2022年限制性股票激励计划相关议案向公司全体股东征集投票权。

　　（3）2022年3月9日至2022年3月18日，公司对本激励计划拟激励对象的姓名和职务在公司内部进行了公示。在公示期内，公司监事会未收到与本激励计划激励对象有关的任何异议。2022年3月19日，公司于上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露了《监事会关于公司2022年限制性股票激励计划激励对象名单的公示情况说明及核查意见》（公告编号：2022-010）。

　　（4）2022年3月25日，公司召开2022年第二次临时股东大会，审议并通过了《关于公司＜2022年限制性股票激励计划（草案）＞及其摘要的议案》、《关于公司＜2022年限制性股票激励计划实施考核管理办法＞的议案》、《关于提请股东大会授权董事会办理股权激励相关事宜的议案》。

　　（5）2022年3月26日，公司于上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露《关于公司2022年限制性股票激励计划内幕信息知情人买卖公司股票情况的自查报告》（公告编号：2022-012）。

　　（6）2022年3月29日，公司召开第二届董事会第四次会议与第二届监事会第三次会议，审议通过了《关于向激励对象授予限制性股票的议案》。公司独立董事对前述事项发表了独立意见，监事会对前述事项进行核实并发表了核查意见。

　　（7）2023年3月31日，公司召开第二届董事会第十二次会议和第二届监事会第十次会议，审议通过了《关于作废处理2022年限制性股票激励计划部分限制性股票的议案》、《关于公司2022年限制性股票激励计划第一个归属期符合归属条件的议案》。公司独立董事对前述事项发表了独立意见，监事会对前述事项进行核实并发表了核查意见。

　　（8）2023年10月26日，公司召开第二届董事会第十七次会议、第二届监事会第十五次会议，审议通过了《关于调整公司2020年、2022年及2023年限制性股票激励计划授予价格的议案》。公司独立董事对相关事项发表了独立意见。

　　（9）2024年3月27日，公司召开第二届董事会第二十一次会议和第二届监事会第十八次会议，审议通过了《关于作废处理2022年限制性股票激励计划部分限制性股票的议案》、《关于公司2022年限制性股票激励计划第二个归属期符合归属条件的议案》。监事会对前述事项进行核实并发表了核查意见。

　　（10）2024年6月12日，公司召开第二届董事会第二十四次会议和第二届监事会第二十一次会议，审议通过了《关于调整公司2020年、2022年、2023年及2024年限制性股票激励计划相关事项的议案》。监事会对前述事项进行核实并发表了核查意见。

　　（11）2025年4月17日，公司召开第三届董事会第二次会议和第三届监事会第二次会议，审议通过了《关于作废处理2022年、2024年限制性股票激励计划部分限制性股票的议案》、《关于2022年限制性股票激励计划第三个归属期、2024年限制性股票激励计划第一个归属期符合归属条件的议案》。监事会对前述事项进行核实并发表了核查意见。

　　二、 本次限制性股票归属的基本情况

　　（一）归属数量：755,028股。

　　（二）归属人数：873人。

　　（三）股票来源：公司向激励对象定向发行公司A股普通股股票。

　　（四）本次归属的股份情况：

　　三、 本次限制性股票归属股票的上市流通安排及股本变动情况

　　（一）本次归属股票的上市流通日：2025年4月29日

　　（二）本次归属股票的上市流通数量：755,028股

　　（三）董事和高级管理人员本次归属股票的限售和转让限制

　　1、激励对象为公司董事、高级管理人员的，其在任职期间每年转让的股份不得超过其所持有本公司股份总数的25%，在离职后半年内，不得转让其所持有的本公司股份。

　　2、激励对象为公司董事、高级管理人员、持股5%以上股东的，将其持有的本公司股票在买入后6个月内卖出，或者在卖出后6个月内又买入，由此所得收益归本公司所有，本公司董事会将收回其所得收益。

　　3、在本次激励计划的有效期内，如果《中华人民共和国公司法》《中华人民共和国证券法》《上市公司股东减持股份管理暂行办法》《上海证券交易所上市公司自律监管指引第15号——股东及董事、高级管理人员减持股份》等相关法律、法规、规范性文件和《公司章程》中对公司董事、高级管理人员、持股5%以上股东等主体持有股份转让的有关规定发生了变化，则这部分激励对象转让其所持有的公司股票应当在转让时符合修改后的相关规定。

　　（四）本次股本变动情况

　　单位：股

　　由于本次限制性股票归属后，公司股本总数由622,363,735股增加至623,118,763股。本次归属未导致公司控制权发生变更。

　　四、 验资及股份登记情况

　　大华会计师事务所（特殊普通合伙）于2025年4月17日出具了《中微半导体设备（上海）股份有限公司2022年限制性股票激励计划第三个归属期验资报告》（大华验字[2025]0011000038号）对公司2022年限制性股票激励计划第三个归属期满足归属条件的激励对象出资情况进行了审验。经审验，截至2025年4月11日止，公司已收到本次873名限制性股票激励对象缴纳的出资款人民币37,508,680.99元，各限制性股票激励对象均以货币资金出资。

　　2025年4月23日，公司2022年限制性股票激励计划第三个归属期的股份登记手续已完成，中国证券登记结算有限责任公司上海分公司出具了《证券变更登记证明》。

　　五、 本次归属后新增股份对最近一期财务报告的影响

　　根据公司2024年年度报告，公司2024年实现归属于上市公司股东的净利润1,615,675,746.81元，公司2024年基本每股收益为2.61元/股；本次归属后，以归属后总股本623,118,763股为基数计算，在归属于上市公司股东的净利润不变的情况下，公司2024年基本每股收益将相应摊薄。

　　本次归属的限制性股票数量为755,028股，约占归属前公司总股本的比例约为0.1213%，对公司最近一期财务状况和经营成果均不构成重大影响。

　　特此公告。

　　中微半导体设备（上海）股份有限公司

　　董事会

　　2025年4月25日