中微半导体设备（上海）股份有限公司关于 向2026年限制性股票激励计划激励对象 首次授予限制性股票的公告

　　证券代码：688012        证券简称：中微公司        公告编号：2026-041

　　本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。

　　重要内容提示：

　　● 限制性股票首次授予日：2026年4月23日

　　● 限制性股票首次授予数量：700万股，约占中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“公司”）2026年限制性股票激励计划（以下简称“本激励计划”）公告时公司股本总额62,614.5307万股的1.1180%

　　● 股权激励方式：第二类限制性股票

　　公司《2026年限制性股票激励计划（草案）》（以下简称“《激励计划》”）规定的限制性股票首次授予条件已经成就，根据公司2025年年度股东会授权，公司于2026年4月23日召开第三届董事会第十一次会议，审议通过了《关于向激励对象首次授予限制性股票的议案》，确定2026年4月23日为首次授予日，以人民币200元/股的授予价格向3049名激励对象授予700万股限制性股票。现将有关事项说明如下：

　　一、限制性股票授予情况

　　（一）本次限制性股票授予已履行的决策程序和信息披露情况

　　1、2026年3月31日，公司召开第三届董事会第十次会议，会议审议通过了《关于＜2026年限制性股票激励计划（草案）＞及其摘要的议案》《关于＜2026年限制性股票激励计划实施考核管理办法＞的议案》以及《关于提请股东会授权董事会办理股权激励相关事宜的议案》等议案。董事会薪酬与考核委员会对本激励计划的相关事项进行核实并出具了相关核查意见。

　　2、2026年4月7日至2026年4月16日，公司对本激励计划拟激励对象的姓名和职务在公司内部进行了公示。截至公示期满，公司未收到任何员工对本次拟首次授予激励对象名单提出的任何异议。2026年4月18日，公司于上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露了《董事会薪酬与考核委员会关于公司2026年限制性股票激励计划首次授予激励对象名单的公示情况说明及核查意见》。

　　3、2026年4月23日，公司召开2025年年度股东会，审议并通过了《关于＜2026年限制性股票激励计划（草案）＞及其摘要的议案》《关于＜2026年限制性股票激励计划实施考核管理办法＞的议案》《关于提请股东会授权董事会办理股权激励相关事宜的议案》等议案。

　　4、2026年4月24日，公司于上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露了《关于公司2026年限制性股票激励计划内幕信息知情人买卖公司股票情况的自查报告》。

　　5、2026年4月23日，公司召开第三届董事会第十一次会议，审议通过了《关于调整公司2026年限制性股票激励计划相关事项的议案》《关于向激励对象首次授予限制性股票的议案》。董事会薪酬与考核委员会对前述事项进行核实并发表了核查意见。

　　（二）董事会关于符合授予条件的说明，董事会薪酬与考核委员会发表的明确意见

　　1、董事会对本次授予是否满足条件的相关说明

　　根据《激励计划》中授予条件的规定，激励对象获授限制性股票需同时满足如下条件：

　　（1）公司未发生如下任一情形：

　　①最近一个会计年度财务会计报告被注册会计师出具否定意见或者无法表示意见的审计报告；

　　②最近一个会计年度财务报告内部控制被注册会计师出具否定意见或者无法表示意见的审计报告；

　　③上市后最近36个月内出现过未按法律法规、公司章程、公开承诺进行利润分配的情形；

　　④法律法规规定不得实行股权激励的；

　　⑤中国证监会认定的其他情形。

　　（2）激励对象未发生如下任一情形：

　　①最近12个月内被证券交易所认定为不适当人选；

　　②最近12个月内被中国证监会及其派出机构认定为不适当人选；

　　③最近12个月内因重大违法违规行为被中国证监会及其派出机构行政处罚或者采取市场禁入措施；

　　④具有《中华人民共和国公司法》规定的不得担任公司董事、高级管理人员情形的；

　　⑤法律法规规定不得参与上市公司股权激励的；

　　⑥不存在任何违反《中华人民共和国劳动合同法》第三十九条的情形；

　　⑦中国证监会认定的其他情形。

　　公司董事会经过认真核查，确定公司和激励对象均未出现上述任一情形，亦不存在不能授予或不得成为激励对象的其他情形，本激励计划的授予条件已经成就。

　　2、董事会薪酬与考核委员会对本次授予是否满足条件的相关说明

　　（1）公司不存在《上市公司股权激励管理办法》（2025修正）（以下简称“《管理办法》”）等法律、法规和规范性文件规定的禁止实施股权激励计划的情形，公司具备实施限制性股票激励计划的主体资格；公司2026年限制性股票激励计划的激励对象具备《中华人民共和国公司法》等法律法规和规范性文件规定的任职资格，符合《管理办法》及《上海证券交易所科创板股票上市规则》（以下简称“《上市规则》”）规定的激励对象条件，符合公司《激励计划》及其摘要规定的激励对象范围，其作为公司2026年限制性股票激励计划激励对象的主体资格合法、有效。

　　（2）公司确定2026年限制性股票激励计划的首次授予日符合《管理办法》以及《激励计划》及其摘要中有关授予日的相关规定。

　　综上，董事会薪酬与考核委员会同意公司2026年限制性股票激励计划的首次授予日为2026年4月23日，并同意以人民币200元/股的授予价格向3049名激励对象授予700万股限制性股票。

　　（三）授予的具体情况

　　1、首次授予日：2026年4月23日

　　2、首次授予数量：700万股，约占本激励计划公告时公司股本总额62691.7810万股的1.1180%

　　3、首次授予人数：3049人

　　4、首次授予价格：人民币200元/股

　　5、股票来源：公司向激励对象定向发行公司A股普通股股票。

　　6、激励计划的有效期、归属期限和归属安排

　　（1）本激励计划有效期自限制性股票授予之日起至激励对象获授的限制性股票全部归属或作废失效之日止，最长不超过72个月。

　　（2）本激励计划授予的限制性股票在激励对象满足相应归属条件后将按约定比例分次归属，归属日必须为本激励计划有效期内的交易日，但不得在下列期间内归属：

　　①公司年度报告、半年度报告公告前十五日内，因特殊原因推迟公告日期的，自原预约公告日前十五日起算，至公告前一日；

　　②公司季度报告、业绩预告、业绩快报公告前五日内；

　　③自可能对本公司证券及其衍生品种交易价格产生较大影响的重大事件发生之日或在决策过程中，至依法披露之日内；

　　④中国证监会及上海证券交易所规定的其他期间。

　　上述“重大事件”为公司依据《上市规则》的规定应当披露的交易或其他重大事项。

　　本激励计划首次授予的限制性股票的归属期限和归属安排具体如下：

　　7、激励对象名单及授予情况

　　注：1.上述任何一名激励对象通过全部在有效期内的股权激励计划获授的本公司股票均未超过公司总股本的1%。公司全部在有效期内的激励计划所涉及的标的股票总数累计不超过股权激励计划提交股东会时公司股本总额的20%。

　　2.本计划激励对象不包括独立董事、单独或合计持有上市公司5%以上股份的股东、上市公司实际控制人及其配偶、父母、子女。

　　3.预留部分的激励对象由本激励计划经股东会审议通过后 12 个月内确定，经董事会提出、董事会薪酬与考核委员会发表明确意见、律师发表专业意见并出具法律意见书后，公司在指定网站按要求及时准确披露激励对象相关信息。

　　4.上表中部分合计数与各明细数直接相加之和在尾数上如有差异，是由于四舍五入所造成。

　　二、董事会薪酬与考核委员会对激励对象名单核实的情况

　　1、本激励计划激励对象均不存在《管理办法》第八条规定的不得成为激励对象的情形：

　　（1）最近12个月内被证券交易所认定为不适当人选；

　　（2）最近12个月内被中国证监会及其派出机构认定为不适当人选；

　　（3）最近12个月内因重大违法违规行为被中国证监会及其派出机构行政处罚或者采取市场禁入措施；

　　（4）具有《中华人民共和国公司法》规定的不得担任公司董事、高级管理人员情形的；

　　（5）法律法规规定不得参与上市公司股权激励的；

　　（6）中国证监会认定的其他情形。

　　2、本激励计划激励对象不包括公司独立董事、单独或合计持有公司5%以上股份的股东或实际控制人及其配偶、父母、子女。

　　3、除12名激励对象离职或因个人原因自愿放弃拟获授的全部限制性股票外，公司本次授予激励对象人员名单与公司2025年年度股东会批准的《2026年限制性股票激励计划（草案）》中规定的激励对象条件相符。

　　4、本激励计划授予激励对象名单人员符合《中华人民共和国公司法》《中华人民共和国证券法》等法律、法规和规范性文件以及《中微半导体设备（上海）股份有限公司章程》规定的任职资格，符合《管理办法》《上市规则》等法律、法规和规范性文件规定的激励对象条件，符合《激励计划》规定的激励对象条件。

　　综上，董事会薪酬与考核委员会同意公司本激励计划首次授予激励对象名单，同意公司2026年限制性股票激励计划的首次授予日为2026年4月23日，并同意以授予价格人民币200元/股向符合条件的3049名激励对象授予700万股限制性股票。

　　三、激励对象为董事、高级管理人员的，在限制性股票授予日前6个月卖出公司股份情况的说明

　　根据公司自查及中国证券登记结算有限责任公司上海分公司出具的《信息披露义务人持股及股份变更查询证明》，截至限制性股票授予日前6个月，参与本激励计划的董事、高级管理人员尹志尧先生通过集中竞价减持个人持有的公司股份，符合相关法律法规对上市公司董事、高级管理人员的减持规定，不存在违规减持的情况，公司已对减持情况进行相关公告。除此之外，参与本激励计划的其他董事、高级管理人员不存在买卖公司股票行为。

　　四、限制性股票的会计处理方法与业绩影响测算

　　（一）限制性股票的公允价值及确定方法

　　参照中华人民共和国财政部会计司《股份支付准则应用案例-授予限制性股票》，第二类限制性股票股份支付费用的计量参照股票期权执行。根据《企业会计准则第11号——股份支付》和《企业会计准则第 22 号——金融工具确认和计量》的相关规定，公司选择 Black-Scholes 模型计算第二类限制性股票的公允价值，并于2026年4月23日用该模型对首次授予的700万股第二类限制性股票进行测算。具体参数选取如下：

　　1、标的股价：315.05元/股（2026年4月23日收盘价）；

　　2、有效期分别为：12个月、24个月、36个月、48个月（第二类限制性股票授予之日至每期归属日的期限）；

　　3、历史波动率：48.1598%、49.6863%、47.0445%、48.6580%（采用中微公司截至2026年4月23日最近12个月、24个月、36个月、48个月的波动率）；

　　4、无风险利率：1.50%、2.10%、2.75%（分别采用中国人民银行制定的金融机构1年期、2 年期、3年期存款基准利率）；

　　5、股息率：0.0948%（采用公司截至2026年4月23日最近一年的股息率）。

　　（二）预计限制性股票实施对各期经营业绩的影响

　　公司按照会计准则及相关估值工具确定授予日第二类限制性股票的公允价值，并最终确认本激励计划的股份支付费用，该等费用将在本激励计划的实施过程中按归属安排的比例摊销。由本激励计划产生的激励成本将在经常性损益中列支。

　　根据中国会计准则要求，本激励计划首次授予限制性股票对各期会计成本的影响如下表所示：

　　注：1、上述计算结果并不代表最终的会计成本。实际会计成本与授予日、授予价格和归属数量相关，激励对象在归属前离职、公司业绩考核或个人绩效考核达不到对应标准的会相应减少实际归属数量从而减少股份支付费用。同时，公司提醒股东注意可能产生的摊薄影响。

　　2、上述对公司经营成果影响的最终结果将以会计师事务所出具的年度审计报告为准。

　　公司以目前信息初步估计，限制性股票费用的摊销对有效期内各年净利润有所影响。但同时此次限制性股票激励计划实施后，将进一步提升核心团队的稳定性，并有效激发核心团队的积极性，从而提高经营效率，给公司带来更高的经营业绩和内在价值。

　　五、法律意见书的结论性意见

　　综上所述，上海市锦天城律师事务所律师认为，截至本法律意见书出具之日，中微公司本次激励计划授予相关事项已取得必要的批准和授权，公司与激励对象均未发生不得授予权益的情况，授予条件已成就。授予的授予日、激励对象、授予数量及授予价格的确定符合《公司法》《证券法》《管理办法》及《激励计划（草案）》的相关规定，合法、有效。公司已履行了现阶段关于授予相关事项的信息披露义务，并应根据相关法律法规的要求继续履行相应的信息披露义务。

　　六、上网公告附件

　　（一）董事会薪酬与考核委员会关于2026年限制性股票激励计划首次授予激励对象名单的核查意见；

　　（二）上海市锦天城律师事务所关于中微半导体设备（上海）股份有限公司向2026年限制性股票激励计划激励对象首次授予限制性股票之法律意见书。

　　特此公告。

　　中微半导体设备（上海）股份有限公司董事会

　　2026年4月25日

　　证券代码：688012          证券简称：中微公司      公告编号：2026-039

　　中微半导体设备（上海）股份有限公司

　　关于公司2024年限制性股票激励计划

　　第二个归属期符合归属条件的公告

　　本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。

　　重要内容提示：

　　● 限制性股票拟归属数量：193.3343万股

　　● 归属股票来源：公司向激励对象定向发行公司A股普通股股票

　　一、本次股权激励计划批准及实施情况

　　（一）本次股权激励计划方案及履行的程序

　　1、本次股权激励计划主要内容

　　（1）股权激励方式：第二类限制性股票。

　　（2）授予数量：授予的限制性股票数量总量为1080万股，约占公司2024年限制性股票激励计划（以下简称“激励计划”）草案公告时公司股本总额61,927.9423万股的1.74%。其中首次授予不超过880万股，预留200万股。    （3）授予价格：75.50元/股（调整后），即满足授予条件和归属条件后，激励对象可以每股75.50元的价格购买公司向激励对象增发的公司A股普通股股票。

　　（4）激励人数：本激励计划首次授予的激励对象总人数为 1791人，包括在公司任职的董事、高级管理人员、核心技术人员及董事会认为需要激励的其他人员。

　　（5）本激励计划首次授予的限制性股票的归属期限和归属安排具体如下：

　　（6）任职期限、公司层面业绩考核要求及个人层面绩效考核要求

　　①激励对象满足各归属期任职期限要求

　　激励对象获授的各批次限制性股票在归属前，须满足12个月以上的任职期限。

　　②公司层面业绩考核要求

　　本激励计划首次授予的限制性股票考核年度为2024-2027四个会计年度，每个会计年度考核一次。以公司2023年度的营业收入为基数，根据各考核年度的营业收入累计值定比基数的年度累计营业收入增长率（X），确定各年度的业绩考核目标对应的公司层面归属比例。各考核年度业绩考核目标安排如下表所示：

　　注：1.上述“营业收入”以经公司聘请的会计师事务所审计的合并报表所载数据为计算依据；

　　2.对标企业指Gartner公布的相应年度全球半导体设备厂商销售额排名前五位的公司（如果Gartner未公布或未及时公布，可采用其他权威机构数据）；

　　3.对标企业算数平均增长率=各对标企业各考核年度的营业收入累计值定比2023年度的累计营业收入增长率（同中微公司各考核年度累计营业收入增长率算法）之和除以五；

　　4.如对标企业年度报告财务报表日在1-9月内或对标企业考核年度的年度报告在中微公司董事会审议归属条件是否成就议案的前一日尚未披露，则选取对标企业已披露的最近四个季度财务数据（含考核年度内各季度）之和作为考核年度数据用于比较。如对标企业年度报告财务报表日在10-12月且对标企业考核年度的年度报告在中微公司董事会审议归属条件是否成就议案的前一日已披露，则将对标企业考核年度的年度报告数据视为考核年度数据。

　　③激励对象个人层面绩效考核要求

　　激励对象的个人层面绩效考核按照公司现行目标管理（MBO）规定组织实施，并依照激励对象的考核结果确定其实际归属的股份数量。激励对象的绩效考核结果划分为五个档次，届时根据以下考核评级表中对应的个人层面归属比例确定激励对象的实际归属的股份数量：

　　激励对象当年实际归属的限制性股票数量=个人当年计划归属的数量×公司层面归属比例×个人层面归属比例。

　　激励对象当期计划归属的限制性股票因考核原因不能归属或不能完全归属的，作废失效，不可递延至下一年度。

　　2、本次限制性股票激励计划已履行的决策程序和信息披露情况

　　（1）2024年3月27日，公司召开第二届董事会第二十一次会议，会议审议通过了《关于公司＜2024年限制性股票激励计划（草案）＞及其摘要的议案》《关于公司＜2024 年限制性股票激励计划实施考核管理办法＞的议案》以及《关于提请股东大会授权董事会办理股权激励相关事宜的议案》等议案。

　　同日，公司召开第二届监事会第十八次会议，审议通过了《关于公司＜2024年限制性股票激励计划（草案）＞及其摘要的议案》《关于公司＜2024年限制性股票激励计划实施考核管理办法＞的议案》《关于核实公司＜2024年限制性股票激励计划激励对象名单＞的议案》等议案，公司监事会对本激励计划的相关事项进行核实并出具了相关核查意见。

　　（2）2024年3月28日，公司在上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露了《关于独立董事公开征集委托投票权的公告》（公告编号：2024-023）。根据公司其他独立董事的委托，独立董事陈世敏博士作为征集人就2023年年度股东大会审议的股权激励计划相关议案向公司全体股东征集投票权。

　　（3）2024年3月28日至2024年4月10日，公司对本激励计划拟激励对象的姓名和职务在公司内部进行了公示。截至公示期满，公司监事会未收到任何员工对本次拟首次授予激励对象名单提出的任何异议。2024年4月11日，公司于上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露了《监事会关于公司2024年限制性股票激励计划首次授予激励对象名单的公示情况说明及核查意见》。

　　（4）2024年4月17日，公司召开2023年年度股东大会，审议并通过了《关于公司＜2024年限制性股票激励计划（草案）＞及其摘要的议案》《关于公司＜2024年限制性股票激励计划实施考核管理办法＞的议案》《关于提请股东大会授权董事会办理股权激励相关事宜的议案》等议案。

　　（5）2024年4月18日，公司于上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露了《关于公司2024年限制性股票激励计划内幕信息知情人买卖公司股票情况的自查报告》。

　　（6）2024年4月26日，公司召开第二届董事会第二十三次会议与第二届监事会第二十次会议，审议通过了《关于调整公司2024年限制性股票激励计划相关事项的议案》《关于向激励对象首次授予限制性股票的议案》。监事会对前述事项进行核实并发表了核查意见。

　　（7）2024年6月12日，公司召开第二届董事会第二十四次会议和第二届监事会第二十一次会议，审议通过了《关于调整公司2020年、2022年、2023年及2024年限制性股票激励计划相关事项的议案》。监事会对前述事项进行核实并发表了核查意见。

　　（8）2025年4月17日，公司召开第三届董事会第二次会议和第三届监事会第二次会议，审议通过了《关于作废处理2022年、2024年限制性股票激励计划部分限制性股票的议案》、《关于2022年限制性股票激励计划第三个归属期、2024年限制性股票激励计划第一个归属期符合归属条件的议案》。监事会对前述事项进行核实并发表了核查意见。

　　（9）2026年3月30日，公司召开第三届董事会第十次会议，审议通过了《关于调整公司2022年、2023年、2024年及2025年限制性股票激励计划相关事项的议案》。

　　（10）2026年4月23日，公司召开第三届董事会第十一次会议，审议通过了《关于作废处理2024年限制性股票激励计划部分限制性股票的议案》、《关于2024年限制性股票激励计划第二个归属期符合归属条件的议案》。董事会薪酬与考核委员会对前述事项进行核实并发表了核查意见。

　　（二）限制性股票授予情况

　　（三）激励计划各期限制性股票归属情况

　　二、限制性股票归属条件说明

　　（一）董事会就限制性股票归属条件是否成就的审议情况

　　2026年4月23日，公司召开第三届董事会第十一次会议审议通过了《关于2024年限制性股票激励计划第二个归属期符合归属条件的议案》。根据公司2023年年度股东大会对董事会的授权，董事会认为：公司2024年限制性股票激励计划授予股份第二个归属期规定的归属条件已经成就，本次可归属数量为193.3343万股，同意公司按照激励计划的相关规定为符合条件的激励对象办理归属相关事宜。

　　（二）2024年限制性股票激励计划第二个归属期符合归属条件说明

　　1、本激励计划授予的限制性股票进入第二个归属期

　　根据《2024年限制性股票激励计划（草案）》的相关规定，本次授予的限制性股票第二个归属期为“自首次授予之日起24个月后的首个交易日至首次授予之日起36个月内的最后一个交易日止”。本次激励计划的授予日为2024年4月26日，因此本次授予的限制性股票第二个归属期为2026年4月26日至2027年4月25日。

　　2、符合归属条件的说明

　　根据公司2023年年度股东大会的授权、公司《2024年限制性股票激励计划（草案）》和《2024年限制性股票激励计划实施考核管理办法》的相关规定，本激励计划授予的限制性股票第二个归属期的归属条件已成就，现就归属条件成就情况说明如下：

　　（三）部分未达到归属条件的限制性股票的处理方法

　　公司对于部分未达到归属条件的限制性股票作废失效处理，详见公司同日在上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露的《关于作废处理2024年限制性股票激励计划部分限制性股票的公告》。

　　（四）薪酬与考核委员会意见

　　薪酬与考核委员会认为：公司2024年限制性股票激励计划授予的限制性股票第二个归属期的归属条件已经成就，同意符合归属条件的1576名激励对象归属193.3343万股限制性股票，本事项符合《上市公司股权激励管理办法》、《2024年限制性股票激励计划（草案）》等相关规定。

　　三、本次归属的具体情况

　　（一）授予日：2024年4月26日。

　　（二）归属数量：193.3343万股。

　　（三）归属人数：1576人。

　　（四）授予价格：人民币75.50元/股（调整后）。

　　（五）股票来源：公司向激励对象定向发行的公司A股普通股股票。

　　（六）本次激励计划授予的限制性股份第二个归属期可归属对象名单及归属情况：

　　注：上表中数值若出现总数与各分项数值之和尾数不符，均为四舍五入原因所致。

　　四、薪酬与考核委员会对激励对象名单的核实情况

　　薪酬与考核委员会核查后认为：本次拟归属的1576名激励对象符合《公司法》《证券法》等法律、法规和规范性文件以及《公司章程》规定的任职资格，符合《上市公司股权激励管理办法》《上海证券交易所科创板股票上市规则》等法律、法规和规范性文件规定的激励对象条件，符合本次激励计划规定的激励对象范围，其作为公司本次限制性股票激励计划激励对象的主体资格合法、有效，激励对象获授限制性股票的归属条件已成就。

　　薪酬与考核委员会同意本次符合条件的1576名激励对象办理归属，对应限制性股票的归属数量为193.3343万股。上述事项符合相关法律、法规及规范性文件所规定的条件，不存在损害公司及股东利益的情形。

　　五、归属日及买卖公司股票情况的说明

　　公司将根据政策规定的归属窗口期，统一办理激励对象限制性股票归属及相关的归属股份登记手续，并将中国证券登记结算有限责任公司上海分公司办理完毕股份变更登记手续当日确定为归属日。

　　经公司自查，截至本公告日前6个月，参与本激励计划的董事、高级管理人员尹志尧先生通过集中竞价减持个人持有的公司股份，符合相关法律法规对上市公司董事、高级管理人员的减持规定，不存在违规减持的情况，公司已对减持情况进行相关公告。除此之外，参与本激励计划的其他董事、高级管理人员在其任期内不存在买卖公司股票行为。

　　六、限制性股票费用的核算及说明

　　公司根据《企业会计准则第11号——股份支付》和《企业会计准则第22号——金融工具确认和计量》，确定限制性股票授予日的公允价值，公司将在授予日至归属日期间的每个资产负债表日，根据最新取得的可归属的人数变动、业绩指标完成情况等后续信息，修正预计可归属限制性股票的数量，并按照限制性股票授予日的公允价值，将当期取得的服务计入相关成本或费用和资本公积。

　　公司在授予日授予限制性股票后，已在对应的等待期根据会计准则对本次限制性股票相关费用进行相应摊销，具体以会计师事务所出具的年度审计报告为准，本次限制性股票归属不会对公司财务状况和经营成果产生重大影响。

　　七、法律意见书的结论性意见

　　综上所述，上海市锦天城律师事务所律师认为：

　　1、截至本法律意见书出具之日，公司就本次实施已取得必要的批准和授权，符合《公司法》《证券法》《管理办法》等相关法律法规以及《2024年限制性股票激励计划》的规定；

　　2、公司2024年限制性股票激励计划授予的限制性股票已进入第二个归属期，第一个归属期的归属条件已成就，公司实施本次归属符合《公司法》《证券法》《管理办法》及《2024年限制性股票激励计划》的相关规定；

　　3、公司本次作废处理2024年限制性股票激励计划部分限制性股票的原因及作废数量符合《公司法》《证券法》《管理办法》及《2024年限制性股票激励计划》《2024年考核管理办法》的规定。

　　特此公告。

　　中微半导体设备（上海）股份有限公司董事会

　　2026年4月25日

　　证券代码：688012        证券简称：中微公司         公告编号：2026-038

　　中微半导体设备（上海）股份有限公司

　　关于作废处理2024年限制性股票激励计划

　　部分限制性股票的公告

　　本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。

　　中微半导体设备（上海）股份有限公司（下称“中微公司”或“公司”）于2026年4月23日召开第三届董事会第十一次会议，审议通过了《关于作废处理2024年限制性股票激励计划部分限制性股票的议案》，现将有关事项说明如下：

　　一、公司2024年限制性股票激励计划已履行的决策程序和信息披露情况

　　1、2024年3月27日，公司召开第二届董事会第二十一次会议，会议审议通过了《关于公司＜2024年限制性股票激励计划（草案）＞及其摘要的议案》《关于公司＜2024 年限制性股票激励计划实施考核管理办法＞的议案》以及《关于提请股东大会授权董事会办理股权激励相关事宜的议案》等议案。

　　同日，公司召开第二届监事会第十八次会议，审议通过了《关于公司＜2024年限制性股票激励计划（草案）＞及其摘要的议案》《关于公司＜2024年限制性股票激励计划实施考核管理办法＞的议案》《关于核实公司＜2024年限制性股票激励计划激励对象名单＞的议案》等议案，公司监事会对本激励计划的相关事项进行核实并出具了相关核查意见。

　　2、2024年3月28日，公司在上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露了《关于独立董事公开征集委托投票权的公告》（公告编号：2024-023）。根据公司其他独立董事的委托，独立董事陈世敏博士作为征集人就2023年年度股东大会审议的股权激励计划相关议案向公司全体股东征集投票权。

　　3、2024年3月28日至2024年4月10日，公司对本激励计划拟激励对象的姓名和职务在公司内部进行了公示。截至公示期满，公司监事会未收到任何员工对本次拟首次授予激励对象名单提出的任何异议。2024年4月11日，公司于上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露了《监事会关于公司2024年限制性股票激励计划首次授予激励对象名单的公示情况说明及核查意见》。

　　4、2024年4月17日，公司召开2023年年度股东大会，审议并通过了《关于公司＜2024年限制性股票激励计划（草案）＞及其摘要的议案》《关于公司＜2024年限制性股票激励计划实施考核管理办法＞的议案》《关于提请股东大会授权董事会办理股权激励相关事宜的议案》等议案。

　　5、2024年4月18日，公司于上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露了《关于公司2024年限制性股票激励计划内幕信息知情人买卖公司股票情况的自查报告》。

　　6、2024年4月26日，公司召开第二届董事会第二十三次会议与第二届监事会第二十次会议，审议通过了《关于调整公司2024年限制性股票激励计划相关事项的议案》《关于向激励对象首次授予限制性股票的议案》。监事会对前述事项进行核实并发表了核查意见。

　　7、2024年6月12日，公司召开第二届董事会第二十四次会议和第二届监事会第二十一次会议，审议通过了《关于调整公司2020年、2022年、2023年及2024年限制性股票激励计划相关事项的议案》。监事会对前述事项进行核实并发表了核查意见。

　　8、2025年4月17日，公司召开第三届董事会第二次会议和第三届监事会第二次会议，审议通过了《关于作废处理2022年、2024年限制性股票激励计划部分限制性股票的议案》、《关于2022年限制性股票激励计划第三个归属期、2024年限制性股票激励计划第一个归属期符合归属条件的议案》。监事会对前述事项进行核实并发表了核查意见。

　　9、2026年3月30日，公司召开第三届董事会第十次会议，审议通过了《关于调整公司2022年、2023年、2024年及2025年限制性股票激励计划相关事项的议案》。

　　10、2026年4月23日，公司召开第三届董事会第十一次会议，审议通过了《关于作废处理2024年限制性股票激励计划部分限制性股票的议案》、《关于2024年限制性股票激励计划第二个归属期符合归属条件的议案》。董事会薪酬与考核委员会对前述事项进行核实并发表了核查意见。

　　二、本次作废处理限制性股票的原因和数量

　　根据公司《2024年限制性股票激励计划（草案）》及《2024年限制性股票激励计划实施考核管理办法》：

　　1、由于76名激励对象因个人原因已离职，上述激励对象已不具备激励对象资格，作废处理其已获授但尚未归属的限制性股票24.7775万股。

　　2、由于8名激励对象绩效考核评级MBO＜1，上述激励对象因个人绩效考核评级部分达标或不达标对应的已获授但尚未归属的0.0652万股限制性股票作废失效。

　　本次合计作废处理的限制性股票数量为24.8427万股。

　　三、本次作废处理部分限制性股票对公司的影响

　　公司本次作废处理部分限制性股票不会对公司的财务状况和经营成果产生实质性影响，不会影响公司核心团队的稳定性，不会影响公司股权激励计划继续实施。

　　四、薪酬与考核委员会意见

　　公司本次作废处理部分限制性股票符合有关法律、法规及公司2024年限制性股票激励计划的相关规定，不存在损害股东利益的情况，薪酬与考核委员会同意公司此次作废处理部分限制性股票。

　　五、法律意见书的结论性意见

　　综上所述，上海市锦天城律师事务所律师认为：

　　1、截至本法律意见书出具之日，公司就本次实施已取得必要的批准和授权，符合《公司法》《证券法》《管理办法》等相关法律法规以及《2024年限制性股票激励计划》的规定；

　　2、公司2024年限制性股票激励计划授予的限制性股票已进入第二个归属期，第一个归属期的归属条件已成就，公司实施本次归属符合《公司法》《证券法》《管理办法》及《2024年限制性股票激励计划》的相关规定；

　　3、公司本次作废处理2024年限制性股票激励计划部分限制性股票的原因及作废数量符合《公司法》《证券法》《管理办法》及《2024年限制性股票激励计划》《2024年考核管理办法》的规定。

　　特此公告。

　　中微半导体设备（上海）股份有限公司董事会

　　2026年4月25日

　　证券代码：688012        证券简称：中微公司        公告编号：2026-040

　　中微半导体设备（上海）股份有限公司

　　关于调整公司2026年限制性股票激励计划

　　相关事项的公告

　　本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。

　　中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“公司”）于2026年4月23日召开了第三届董事会第十一次会议，审议通过了《关于调整公司2026年限制性股票激励计划相关事项的议案》。现将有关事项说明如下：

　　一、本次股权激励计划已履行的相关审批程序

　　（一）2026年3月31日，公司召开第三届董事会第十次会议，会议审议通过了《关于＜2026年限制性股票激励计划（草案）＞及其摘要的议案》《关于＜2026年限制性股票激励计划实施考核管理办法＞的议案》以及《关于提请股东授权董事会办理股权激励相关事宜的议案》等议案。董事会薪酬与考核委员会对本激励计划的相关事项进行核实并出具了相关核查意见。

　　（二）2026年4月7日至2026年4月16日，公司对本激励计划拟激励对象的姓名和职务在公司内部进行了公示。截至公示期满，公司未收到任何员工对本次拟首次授予激励对象名单提出的任何异议。2026年4月18日，公司于上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露了《董事会薪酬与考核委员会关于公司2026年限制性股票激励计划首次授予激励对象名单的公示情况说明及核查意见》。

　　（三）2026年4月23日，公司召开2025年年度股东会，审议并通过了《关于＜2026年限制性股票激励计划（草案）＞及其摘要的议案》《关于＜2026年限制性股票激励计划实施考核管理办法＞的议案》《关于提请股东会授权董事会办理股权激励相关事宜的议案》等议案。

　　（四）2026年4月24日，公司于上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）披露了《关于公司2026年限制性股票激励计划内幕信息知情人买卖公司股票情况的自查报告》。

　　（五）2026年4月23日，公司召开第三届董事会第十一次会议，审议通过了《关于调整公司2026年限制性股票激励计划相关事项的议案》《关于向激励对象首次授予限制性股票的议案》。董事会薪酬与考核委员会对前述事项进行核实并发表了核查意见。

　　二、调整事由及调整结果

　　鉴于中微半导体设备（上海）股份有限公司2026年限制性股票激励计划（以下简称“本次激励计划”）中原确定授予的激励对象中有12名因从公司离职而不再符合激励对象资格或因个人原因自愿放弃拟获授的全部限制性股票，公司董事会根据2025年年度股东会的相关授权，于2026年4月23日召开了第三届董事会第十一次会议，审议通过了《关于调整公司2026年限制性股票激励计划相关事项的议案》，对本次激励计划激励对象人数、名单及各激励对象获授限制性股票数量进行调整。本次调整后，本次激励计划首次授予的激励对象由3061人调整为3049人，前述12名激励对象原拟获授限制性股票份额，将根据入职年限、职位重要性、工作绩效等因素，调整分配至本次激励计划首次授予部分其他激励对象，本次激励计划拟授予的限制性股票总量及预留部分数量均保持不变。

　　本次调整后的激励对象属于经公司2025年年度股东会批准的激励计划中规定的激励对象范围。除上述调整内容外，本次激励计划其他内容与公司2025年年度股东会审议通过的2026年限制性股票激励计划的内容一致。根据公司2025年年度股东会的授权，本次调整无需提交公司股东会审议。

　　三、本次调整对公司的影响

　　公司本次对2026年限制性股票激励计划相关事项的调整不会对公司的财务状况和经营成果产生实质性影响。

　　四、董事会薪酬与考核委员会意见

　　董事会薪酬与考核委员会认为：公司对本次激励计划相关事项的调整符合《中华人民共和国公司法》《中华人民共和国证券法》《上市公司股权激励管理办法》（2025修正）等法律、法规和规范性文件中关于激励计划调整的相关规定，履行了必要的程序。调整后的激励对象不存在禁止获授限制性股票的情形，激励对象的主体资格合法、有效。本次调整在公司2025年年度股东会授权范围内，调整的程序合法合规，不存在损害公司及股东利益的情形。本次调整后，本次激励计划首次授予的激励对象由3061人调整为3049人，前述12名激励对象原拟获授限制性股票份额，将根据入职年限、职位重要性、工作绩效等因素，调整分配至本次激励计划首次授予部分其他激励对象，本次激励计划拟授予的限制性股票总量及预留部分数量均保持不变。

　　董事会薪酬与考核委员会同意公司对2026年限制性股票激励计划相关事项的调整。

　　五、律师法律意见书的结论意见

　　综上所述，上海市锦天城律师事务所律师认为：

　　1、公司调整2026年限制性股票激励计划相关事项已取得必要的批准和授权；

　　2、公司本次调整符合《管理办法》、限制性股票激励计划的相关规定。

　　特此公告。

　　中微半导体设备（上海）股份有限公司董事会

　　2026年4月25日

　　证券代码：688012         证券简称:中微公司        公告编号：2026-037

　　中微半导体设备（上海）股份有限公司

　　第三届董事会第十一次会议决议公告

　　本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。

　　一、董事会会议召开情况

　　中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“中微公司”或“公司”）于2026 年4月23日召开了第三届董事会第十一次会议（以下简称“本次会议”）。本次会议的通知于2026年4月16日通过电话及邮件方式送达全体董事。会议应出席董事9人，实际到会董事9人，会议由公司董事长尹志尧先生主持。会议的召集和召开程序符合有关法律、行政法规、部门规章、规范性文件和公司章程的规定。会议决议合法、有效。

　　二、董事会会议审议情况

　　会议经全体参会董事表决，形成决议如下：

　　（一）审议通过《关于作废处理2024年限制性股票激励计划部分限制性股票的议案》

　　根据《上市公司股权激励管理办法》、公司《2024年限制性股票激励计划（草案）》及《2024年限制性股票激励计划实施考核管理办法》，由于76名激励对象因个人原因已离职，上述激励对象已不具备激励对象资格，作废处理其已获授但尚未归属的限制性股票24.7775万股。由于8名激励对象绩效考核评级MBO＜1，上述激励对象因个人绩效考核评级部分达标或不达标对应的已获授但尚未归属的0.0652万股限制性股票作废失效。本次合计作废处理的限制性股票数量为24.8427万股。

　　表决结果：9票赞成，0 票反对，0 票弃权。

　　本议案已经董事会薪酬与考核委员会审议通过。

　　具体内容详见公司同日披露于上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）的相关公告及文件。

　　（二）审议通过《关于公司2024年限制性股票激励计划第二个归属期符合归属条件的议案》

　　根据《2024年限制性股票激励计划（草案）》规定的归属条件，董事会认为公司2024年限制性股票激励计划第二个归属期规定的归属条件已经成就，本次可归属数量为193.3433万股，同意公司按照激励计划相关规定为符合条件的激励对象办理归属相关事宜。

　　表决结果：6票赞成，0 票反对，0 票弃权，董事尹志尧、丛海、陶珩回避表决。

　　本议案已经董事会薪酬与考核委员会审议通过。

　　具体内容详见公司同日披露于上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）的相关公告及文件。

　　（三）审议通过《关于调整公司2026年限制性股票激励计划相关事项的议案》

　　鉴于公司2026年限制性股票激励计划（以下简称“本次激励计划”）中原确定授予的激励对象中有12名因从公司离职而不再符合激励对象资格或因个人原因自愿放弃拟获授部分或全部限制性股票，公司董事会根据2025年年度股东会的相关授权，同意对本次激励计划激励对象人数、名单及各激励对象获授限制性股票数量进行调整。本次调整后，本次激励计划首次授予的激励对象由3061人调整为3049人。

　　前述12名激励对象原拟获授限制性股票份额，将根据入职年限、职位重要性、工作绩效等因素，调整分配至本次激励计划首次授予部分其他激励对象，本次激励计划拟授予的限制性股票总量及预留部分数量均保持不变。

　　表决结果：6票赞成，0票反对，0票弃权，董事尹志尧、丛海、陶珩为本次限制性股票激励计划的激励对象，故在本议案中回避表决。

　　本议案已经董事会薪酬与考核委员会审议通过。

　　具体内容详见公司同日披露于上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）的相关公告及文件。

　　（四）审议通过《关于向激励对象首次授予限制性股票的议案》

　　根据《上市公司股权激励管理办法》、公司《2026年限制性股票激励计划（草案）》及其摘要的相关规定和公司2025年年度股东会的授权，董事会认为本次激励计划规定的首次授予条件已经成就，同意确定以2026年4月23日为首次授予日，授予价格为人民币200元/股，向3049名激励对象授予700万股限制性股票。

　　表决结果：6票赞成，0票反对，0票弃权，董事尹志尧、丛海、陶珩为本次限制性股票激励计划的激励对象，故在本议案中回避表决。

　　本议案已经董事会薪酬与考核委员会审议通过。

　　具体内容详见公司同日披露于上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）的相关公告及文件。

　　特此公告。

　　中微半导体设备（上海）股份有限公司

　　董事会

　　2026年4月25日