深圳中科飞测科技股份有限公司 关于公司2024年限制性股票激励计划 首次授予部分第二个归属期 及预留授予部分第一个归属期 符合归属条件的公告

　　证券代码：688361         证券简称：中科飞测        公告编号：2026-020

　　本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。

　　重要内容提示：

　　● 限制性股票拟归属数量：188.8434万股；

　　● 归属股票来源：深圳中科飞测科技股份有限公司（以下简称“公司”）向激励对象定向发行公司A股普通股。

　　一、本次股权激励计划批准及实施情况

　　（一）本次股权激励计划主要内容

　　公司于2025年3月28日召开第二届董事会第十次会议，于2024年4月1日召开2024年第二次临时股东大会，审议通过《关于公司＜2024年限制性股票激励计划（草案）＞及其摘要的议案》等相关议案。公司2024年限制性股票激励计划主要内容如下：

　　1、 股权激励方式：第二类限制性股票。

　　2、 限制性股票数量：800万股，占本激励计划草案公告时公司股本总额32,000万股的2.50%。其中首次授予725万股，约占本激励计划公告日公司股本总额32,000万股的2.27%，首次授予部分约占本次授予权益总额的90.63%；预留授予75万股，占本激励计划公告日公司股本总额32,000万股的0.23%。预留部分约占本次授予权益总额的9.38%。

　　3、限制性股票数量授予价格（调整后）：30.55元/股。

　　4、激励人数：本激励计划激励对象包括董事、高级管理人员、核心技术人员及技术（业务）骨干人员，其中首次授予113人、预留授予6人。

　　5、限制性股票的有效期、归属安排

　　（1）有效期：本激励计划有效期自限制性股票授予之日起至激励对象获授的限制性股票全部归属或作废失效之日止，最长不超过72个月。

　　（2）本激励计划首次授予的限制性股票的归属期限和归属安排具体如下表所示：

　　若预留的限制性股票在公司2024年三季度报告披露之前授予，则预留授予的限制性股票的各批次归属安排同首次授予部分一致。

　　若预留的限制性股票在公司2024年三季度报告披露之后授予，则预留的限制性股票的归属期限和归属安排具体如下表所示：

　　激励对象根据本激励计划获授的限制性股票在归属前不得转让、用于担保或偿还债务。激励对象已获授但尚未归属的限制性股票由于资本公积金转增股本、送股等情形增加的股份同时受归属条件约束，且归属之前不得转让、用于担保或偿还债务，若届时限制性股票不得归属的，则因前述原因获得的股份同样不得归属。

　　在上述约定期间内未归属的限制性股票或因未达到归属条件而不能申请归属的该期限制性股票，不得归属，作废失效。在满足限制性股票归属条件后，公司将统一办理满足归属条件的限制性股票归属事宜。

　　6、限制性股票归属的业绩考核要求

　　（1）公司层面业绩考核

　　本次激励计划首次授予考核年度为2024-2027年四个会计年度，每个会计年度考核一次。以公司2022年营业收入为业绩基数，对各考核年度的营业收入定比业绩基数的增长率进行考核。各年度业绩考核目标如下：

　　公司在考核年度的业绩完成度情况，及其对应的公司层面归属比例如下：

　　注：上述“营业收入”指经审计的上市公司营业收入，下同。

　　若本激励计划预留部分限制性股票在2024年三季度报告披露前授出，则预留部分的业绩考核目标与首次授予部分一致。若本激励计划预留部分限制性股票在2024年三季度报告披露后授出，则预留授予部分限制性股票各归属期的业绩考核目标如下：

　　公司在考核年度的业绩完成度情况，及其对应的公司层面归属比例如下：

　　若公司未满足上述业绩考核触发值要求，则所有激励对象对应考核当年计划归属的限制性股票全部取消归属，并作废失效。

　　（2）激励对象个人层面绩效考核要求

　　激励对象的个人层面绩效考核按照公司现行的相关规定组织实施，并依照激励对象的考核结果确定其实际归属的股份数量。激励对象的绩效考核结果划分为卓越（S）、优秀（A+）、优秀（A）、优秀（A-）、良好（B）、一般（C）六个档次，届时根据以下考核评级表中对应的个人层面归属比例确定激励对象的实际归属的股份数量：

　　若公司层面业绩考核当年度达到业绩考核触发值及以上，激励对象当年实际归属的限制性股票数量=个人当年计划归属限制性股票数量×公司层面归属比例×个人层面归属比例。

　　激励对象当期计划归属的限制性股票因考核原因不能归属或不能完全归属的，作废失效，不可递延至下一年度。

　　（二）本激励计划已履行的决策程序和信息披露情况

　　1、2024年3月15日，公司召开第二届董事会第二次会议，会议审议通过了《关于公司＜2024年限制性股票激励计划（草案）＞及其摘要的议案》《关于公司＜2024年限制性股票激励计划实施考核管理办法＞的议案》《关于提请股东大会授权董事会办理2024年限制性股票激励计划相关事宜的议案》等议案。同日，公司召开第二届监事会第二次会议，审议通过了《关于公司＜2024年限制性股票激励计划（草案）＞及其摘要的议案》《关于核实公司＜2024年限制性股票激励计划激励对象名单＞的议案》以及《关于公司＜2024年限制性股票激励计划实施考核管理办法＞的议案》等议案，公司监事会对本激励计划的相关事项进行核实并出具了相关核查意见。

　　2、2024年3月18日至2024年3月27日，公司对本激励计划激励对象名单在公司内部进行了公示。在公示期内，公司监事会未收到任何异议。2024年3月28日，公司披露了《监事会关于公司2024年限制性股票激励计划激励对象名单公示情况及审核意见的说明》。

　　3、2024年4月1日，公司召开2024年第二次临时股东大会，审议并通过了《关于公司＜2024年限制性股票激励计划（草案）＞及其摘要的议案》《关于公司＜2024年限制性股票激励计划实施考核管理办法＞的议案》《关于提请股东大会授权董事会办理2024年限制性股票激励计划相关事宜的议案》等议案。公司实施本激励计划获得股东大会批准，董事会被授权确定限制性股票授予日、在激励对象符合条件时向激励对象授予限制性股票并办理授予限制性股票所必需的全部事宜。

　　4、2024年4月1日，公司召开第二届董事会第三次会议与第二届监事会第三次会议，审议通过了《关于向激励对象首次授予限制性股票的议案》。监事会对授予日的激励对象名单进行核实并发表了核查意见。

　　5、2025年3月28日，公司召开第二届董事会第十次会议与第二届监事会第十次会议，审议通过了《关于调整2024年限制性股票激励计划授予价格的议案》《关于向激励对象授予2024年限制性股票激励计划预留部分限制性股票的议案》。监事会对预留授予日的激励对象名单进行核实并发表了核查意见。

　　6、2025年4月15日，公司召开第二届董事会第十二次会议与第二届监事会第十二次会议，审议通过了《关于作废部分已授予尚未归属的限制性股票的议案》《关于公司2024年限制性股票激励计划首次授予部分第一个归属期归属条件成就的议案》。监事会对首次授予部分第一个归属期归属名单进行核实并发表了核查意见。

　　7、2026年4月24日，公司召开第二届董事会第十九次会议，审议通过了《关于作废部分已授予尚未归属的限制性股票的议案》《关于公司2024年限制性股票激励计划首次授予部分第二个归属期及预留授予部分第一个归属期符合归属条件的议案》。董事会薪酬与考核委员会对首次授予部分第二个归属期及预留授予部分第一个归属期归属名单进行核实并发表了核查意见。

　　（三）限制性股票授予情况

　　（四）限制性股票各期归属情况

　　截至本公告披露日，公司2024年限制性股票激励计划归属情况如下：

　　二、 限制性股票归属条件说明

　　（一） 董事会就股权激励计划设定的限制性股票归属条件是否成就的审议情况

　　2026年4月24日，公司召开第二届董事会第十九次会议审议《关于公司2024年限制性股票激励计划首次授予部分第二个归属期及预留授予部分第一个归属期符合归属条件的议案》。根据《上市公司股权激励管理办法》（以下简称“《管理办法》”）、公司《2024年限制性股票激励计划（草案）》（以下简称“《激励计划》”）及其摘要的相关规定和公司2024年第二次临时股东大会的授权，董事会认为公司2024年限制性股票激励计划首次授予部分第二个归属期及预留授予部分第一个归属期规定的归属条件已经成就，本次可归属数量为188.8434万股，同意公司按照本次激励计划的相关规定为符合条件的114名激励对象办理归属相关事宜。

　　（二） 关于本激励计划首次授予部分第二个归属期及预留授予部分第一个归属期符合归属条件的说明

　　1、根据归属时间安排，本次激励计划已进入首次授予部分第二个归属期及预留授予部分第一个归属期

　　根据2024年限制性股票激励计划的相关规定，首次授予部分第二个归属期为“自首次授予之日起24个月后的首个交易日至授予之日起36个月内的最后一个交易日止”，本次激励计划首次授予日为2024年4月1日，因此本次激励计划首次授予部分第二个归属期为2026年4月1日至2027年3月31日；预留授予部分第一个归属期为“自预留授予之日起12个月后的首个交易日至授予之日起24个月内的最后一个交易日止”，本次激励计划预留授予日为2025年3月28日，因此本次激励计划预留授予部分第一个归属期为2026年3月30日至2027年3月26日。

　　2、符合归属条件的说明

　　激励对象获授的限制性股票需同时满足以下归属条件方可分批次办理归属事宜：

　　鉴于《激励计划》首次授予及预留授予的激励对象有2名已离职，其已获授但尚未归属的6.2500万股限制性股票不得归属，由公司作废；鉴于有部分激励对象2025年度个人绩效考核结果未达到“卓越（S）/优秀（A+）”，首次授予部分第二个归属期及预留授予部分第一个归属期已获授但尚未归属的12.4000万股限制性股票不得归属，由公司作废。

　　综上所述，2024年限制性股票激励计划首次授予部分第二个归属期及预留授予部分第一个归属期共计114名激励对象（其中1名同时作为本次激励计划首次和预留授予部分激励对象）达到归属条件，可归属188.8434万股限制性股票。

　　（三） 董事会薪酬与考核委员会意见

　　董事会薪酬与考核委员会认为：根据《管理办法》《激励计划》的相关规定，公司《激励计划》规定的首次授予部分第二个归属期及预留授予部分第一个归属期归属条件已成就，同意为符合归属条件的114名激励对象办理限制性股票归属手续，本次可归属的限制性股票共计188.8434万股。

　　三、 本次归属的具体情况

　　（一）首次授予部分第二个归属期

　　1、首次授予日：2024年4月1日

　　2、归属数量：167.5434万股

　　3、归属人数：110人

　　4、授予价格（调整后）：30.55元/股

　　5、股票来源：公司向激励对象定向发行公司A股普通股。

　　6、激励对象归属情况

　　注：1、上表中数值若出现总数与各分项数值之和尾数不符，均为四舍五入原因所致。

　　2、本次激励对象可归属数量存在尾数的，保留向下取整。

　　（二）预留授予部分第一个归属期

　　1、预留授予日：2025年3月28日

　　2、归属数量：21.3000万股

　　3、归属人数：5人（其中1人同时为首次授予部分激励对象）

　　4、授予价格（调整后）：30.55元/股

　　5、股票来源：公司向激励对象定向发行公司A股普通股。

　　6、激励对象归属情况

　　注：上表中数值若出现总数与各分项数值之和尾数不符，均为四舍五入原因所致。

　　四、 董事会薪酬与考核委员会对激励对象名单的核实情况

　　本次拟归属的激励对象符合《公司法》《证券法》等法律、法规和规范性文件以及《公司章程》规定的任职资格，符合《管理办法》《上市规则》等法律、法规和规范性文件规定的激励对象条件，符合本激励计划规定的激励对象范围，其作为公司本激励计划激励对象的主体资格合法、有效，激励对象获授限制性股票的归属条件已经成就。

　　综上，董事会薪酬与考核委员会同意公司为本次符合归属条件的激励对象办理限制性股票的归属，上述事项符合相关法律、法规及规范性文件所规定的条件，不存在损害公司及股东利益的情形。

　　五、 归属日及买卖公司股票情况的说明

　　公司将根据政策规定的归属窗口期，统一办理激励对象限制性股票归属及相关的归属股份登记手续，并将中国证券登记结算有限责任公司上海分公司办理完毕股份变更登记手续当日确定为归属日。

　　经公司自查，截至本公告日前6个月，参与本激励计划的董事、高级管理人员陈鲁先生、古凯男先生以及董事哈承姝女士通过集中竞价减持个人持有的公司股份，符合相关法律法规对上市公司董事、高级管理人员的减持规定，不存在违规减持的情况，公司已对减持情况进行相关公告。除此之外，参与本激励计划的其他董事及高级管理人员在本公告日前6个月不存在买卖公司股票的行为。

　　六、 限制性股票费用的核算及说明

　　公司根据《企业会计准则第11号——股份支付》和《企业会计准则第22号——金融工具确认和计量》，确定限制性股票授予日的公允价值，在授予日后不需要对限制性股票进行重新评估，公司在授予日至归属日期间的每个资产负债表日，根据最新取得的可归属的人数变动、业绩指标完成情况等后续信息，修正预计可归属限制性股票的数量，并按照限制性股票授予日的公允价值，将当期取得的服务计入相关成本或费用和资本公积。

　　公司在授予日授予限制性股票后，已在对应的等待期根据会计准则对本次限制性股票相关费用进行相应摊销，具体以会计师事务所出具的年度审计报告为准，本次限制性股票归属不会对公司财务状况和经营成果产生重大影响。

　　七、 法律意见书的结论性意见

　　北京市君合（深圳）律师事务所认为，截至本法律意见书出具之日：

　　（一） 公司就本次归属及作废已取得了现阶段必要的批准和授权，符合《管理办法》《上市规则》《监管指南》等相关中国法律法规及《激励计划》的有关规定；

　　（二） 公司本次激励计划首次授予的限制性股票已进入第二个归属，预留次授予的限制性股票已进入第一个归属期，本次归属的归属条件已经成就，公司实施本次归属及归属人数、归属数量安排符合《管理办法》《上市规则》及《激励计划》的有关规定；

　　（三） 本次作废符合《管理办法》及《激励计划》的相关规定；

　　（四） 就本次归属及作废，公司已履行的信息披露义务，符合《管理办法》《上市规则》《监管指南》的规定；随着本次归属及作废的实施，公司尚需按照相关中国法律法规的规定继续履行相应的信息披露义务。

　　特此公告。

　　深圳中科飞测科技股份有限公司董事会

　　2026年4月25日

　　证券代码：688361                                      证券简称：中科飞测

　　深圳中科飞测科技股份有限公司

　　2025年度环境、社会与公司治理报告摘要

　　第一节 重要提示

　　1、本摘要来自于环境、社会与公司治理报告全文，为全面了解本公司环境、社会和公司治理议题的相关影响、风险和机遇，以及公司可持续发展战略等相关事项，投资者应当到www.sse.com.cn网站仔细阅读环境、社会与公司治理报告全文。

　　2、本环境、社会与公司治理报告经公司董事会审议通过。

　　第二节 报告基本情况

　　1、基本信息

　　2、可持续发展治理体系

　　（1）是否设置负责管理、监督可持续发展相关影响、风险和机遇的治理机构：√是，该治理机构名称为董事会、经营管理层-ESG领导小组及ESG工作小组。 □否

　　（2）是否建立可持续发展信息内部报告机制：√是，报告方式及频率为定期会议，一年一次。  □否

　　（3）是否建立可持续发展监督机制，如内部控制制度、监督程序、监督措施及考核情况等：√是 ，相关制度或措施为_由董事会审议及决定ESG重大事项，经营管理层下设ESG领导小组审议ESG战略与目标、督导ESG工作的实施、系统评估ESG风险及机遇，由董事会办公室统筹各相关职能部门成立ESG工作小组，负责各项ESG工作的推进和落地。   □否

　　3、利益相关方沟通

　　公司是否通过访谈、座谈、问卷调查等方式开展利益相关方沟通并披露：√是 □否

　　4、双重重要性评估结果

　　注：污染物排放、废弃物处理、水资源利用、循环经济、科技伦理、平等对待中小企业、生态系统和生物多样性保护、乡村振兴、社会贡献、尽职调查、反商业贿赂及反贪污、反不正当竞争议题对本公司不具有重要性，已按照《14号指引》相关规定，在报告中进行解释说明。

　　同时，尽管判定为对本公司不具有重要性，“污染物排放”“废弃物处理”已在“污染物排放与废弃物管理”章节有相关表述；“水资源利用”“循环经济”已在“资源保护”章节有相关表述；“生态系统和生物多样性保护”已在“生态系统和生物多样性保护”章节有相关表述；“乡村振兴”“社会贡献”已在“社会公益”章节有相关表述；“尽职调查”已在“加强可持续发展”章节有相关表述；“反商业贿赂”“反不正当竞争”议题已在“治理责任”章节有相关表述。

　　证券代码：688361          证券简称：中科飞测         公告编号：2026-012

　　深圳中科飞测科技股份有限公司

　　2025年度利润分配预案的公告

　　本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。

　　重要内容提示：

　　● 深圳中科飞测科技股份有限公司（以下简称“公司”）2025年度拟不进行利润分配，不派发现金红利，不送红股，不以资本公积转增股本。

　　● 公司不会触及《上海证券交易所科创板股票上市规则》第12.9.1条第一款第（八）项规定的可能被实施其他风险警示的情形。

　　一、 利润分配方案内容

　　（一）利润分配方案的具体内容

　　经容诚会计师事务所（特殊普通合伙）审计，公司2025年度实现归属于母公司所有者的净利润为人民币5,865.26万元，截至2025年12月31日，公司母公司报表中期末未分配利润为人民币31,512.89万元。

　　经公司第二届董事会第十九次会议决议，基于公司所处的发展阶段、未来研发投入等资金需求以及长期战略发展规划的综合考虑，为进一步推动公司的长期经营发展，公司2025年度拟不进行利润分配，不派发现金红利，不送红股，不以资本公积金转增股本。

　　本次利润分配预案尚需提交公司2025年年度股东会进行审议。

　　（二） 是否可能触及其他风险警示情形

　　公司不存在触及其他风险警示情形，具体情况如下：

　　注：公司于2023年5月在上海证券交易所科创板上市，根据《科创板股票上市规则》规定，公司上市不满三个完整会计年度的，最近三个会计年度以公司上市后的首个完整会计年度作为首个起算年度，故上表中“最近三个会计年度”系指2024年度、2025年度。

　　二、 2025年度不进行利润分配的情况说明

　　根据《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号——规范运作》《深圳中科飞测科技股份有限公司章程》等有关规定，鉴于公司所处的发展阶段、未来研发投入等资金需求以及长期战略发展规划的综合考虑，公司2025年度拟不进行利润分配，不派发现金红利，不送红股，不以资本公积金转增股本。

　　（一） 公司所处行业情况及特点

　　公司所处的半导体设备行业属于典型的技术和资金密集型行业，具有技术门槛高、研发投入大、投资周期长等特点。国际领先设备厂商通过持续的研发投入已经形成一定的技术优势。而公司作为国内高端半导体质量控制设备行业领军企业，技术实力处于国内领先地位，但受限于技术积累、研发资金实力等因素，在产品及研发进度方面与国际龙头设备厂商尚存在一定差距，需要持续的研发投入，以提升公司整体研发实力及技术优势。

　　（二） 公司发展阶段和自身经营模式

　　公司专注于高端半导体质量控制领域，致力于为半导体行业客户提供涵盖设备产品、智能软件产品及配套服务的全流程良率管理解决方案。目前，公司已形成十三大系列设备和三大系列软件产品组合的全方位的良率管理解决方案。然而，现阶段公司产品和技术布局的广度和深度与国际龙头企业相比仍存在较大提升空间，亟需进一步深化公司产品和技术布局，提高公司新产品及现有产品升级迭代的研发及产业化能力，以持续满足下游客户对高端半导体质量控制设备日益增长的需求，从而巩固公司核心竞争力。

　　（三） 公司盈利水平、偿债能力及资金需求

　　报告期内，公司全年实现营业收入205,329.82万元，实现归属于母公司所有者的净利润为人民币5,865.26万元。

　　2026年，公司将继续以行业前沿技术与市场客户需求为导向，通过持续推进新产品以及现有产品更先进制程型号的研发和产业化，不断提高公司的市场覆盖深度和广度，以满足客户随制程突破和创新而日益提升的设备需求，加快缩小与国际龙头企业在产品线丰富度、技术先进性等方面的差距，持续巩固和提高市场地位。为此，公司需要更多的资金以保障目标的实现。

　　（四） 公司留存未分配利润的预计用途以及收益情况

　　公司2025年度未分配利润将累计滚存至下一年度，以进一步推动公司生产经营、研发创新、项目建设等需求。公司将继续严格按照相关法律法规和公司章程等规定，综合考虑与利润分配相关的各种因素，更好地维护全体股东的长远利益，保障公司的可持续发展和资金需求。

　　（五） 中小股东参与现金分红决策

　　公司建立健全了多渠道的投资者沟通机制，中小股东可通过投资者热线、上证e互动、邮件等诸多渠道来表达对现金分红政策的意见和诉求。同时，公司还积极通过业绩说明会等形式，及时解答中小股东关心的问题。

　　（六） 公司为增强投资者回报水平拟采取的措施

　　公司将继续聚焦主业，持续突破创新提升竞争力，稳步提升公司经营规模、盈利能力，以优良的业绩切实回报投资者。

　　三、 公司履行的决策程序

　　2026年4月24日，公司召开第二届董事会第十九次会议，审议通过《关于公司2025年度利润分配预案的议案》，认为公司2025年度利润分配预案符合公司经营现状，决策程序合法，充分考虑了全体股东的利益，不存在损害公司股东尤其是中小股东利益的情形。同意《关于公司2025年度利润分配预案的议案》。该议案提交至公司2025年年度股东会审议，经批准后实施。

　　四、 相关风险提示

　　（一）本次利润分配预案综合考虑公司所处的发展阶段、未来研发投入等资金需求以及长期战略发展规划，不会对公司经营现金流产生重大影响，不会影响公司正常经营和长期发展。

　　（二）本次利润分配预案尚需提交公司2025年年度股东会审议通过后方可实施。敬请投资者注意投资风险。

　　特此公告。

　　深圳中科飞测科技股份有限公司董事会

　　2026年4月25日

　　证券代码：688361        证券简称：中科飞测        公告编号：2026-018

　　深圳中科飞测科技股份有限公司

　　关于部分募集资金投资项目延期的公告

　　本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。

　　深圳中科飞测科技股份有限公司（以下简称“公司”）于2026年4月24日召开了第二届董事会第十九次会议，审议通过了《关于部分募集资金投资项目延期的议案》，同意将公司本次部分募集资金投资项目“高端半导体质量控制设备产业化项目”实施期限延至2027年6月。保荐人国泰海通证券股份有限公司（以下简称“保荐人”）对此出具无异议的核查意见。该事项无需提交公司股东会审议。现将具体情况公告如下：

　　一、 募集资金基本情况

　　根据中国证券监督管理委员会核发的《关于同意深圳中科飞测科技股份有限公司首次公开发行股票注册的批复》（证监许可[2023]367号），公司于2023年5月19日首次公开发行A股80,000,000股，发行价格为人民币23.60元/股，募集资金总额为人民币188,800.00万元，扣除各项不含税发行费用人民币18,961.34万元后，实际募集资金净额为人民币169,838.66万元。

　　上述募集资金净额已由天职国际会计师事务所（特殊普通合伙）审验并出具“天职业字[2023]32719号”《验资报告》予以确认。为规范公司募集资金管理和使用、保护投资者权益，公司设立了募集资金专项账户，并与保荐人、存放募集资金的商业银行签署了《募集资金专户存储三方监管协议》。募集资金到账后，已全部存放于经公司董事会批准开设的募集资金专项账户内。

　　二、 募集资金投资项目情况

　　截至2025年12月31日，公司的募集资金投资项目使用情况如下：

　　单位：万元

　　注：“研发中心升级建设项目”、“补充流动资金”已投入募集资金金额与承诺的差异主要原因系将累计收到的理财收益和银行存款利息扣除银行手续费的净额投入募投项目所致。

　　三、 募集资金投资项目延期的具体情况及原因

　　（一） 募集资金投资项目延期的具体情况

　　公司基于审慎性原则，结合当前募投项目实际进展情况，在募投项目实施主体、募集资金用途及投资项目规模不发生变更的情况下，拟对“高端半导体质量控制设备产业化项目”的项目实施期限进行调整，具体如下：

　　（二） 募集资金投资项目延期的原因

　　公司募投项目“高端半导体质量控制设备产业化项目”，旨在通过新建现代化洁净生产车间，购置先进的软硬件设备，引入行业专业人才，建成高端半导体质量控制设备产业化基地，从而增强公司在该领域的技术研发及产业化能力。目前该项目生产车间已完成竣工备案手续并进入投产阶段，但因：（1）部分办公及配套设施装修工程仍在实施中；（2）项目整体竣工决算工作尚在推进中，相关工程审计流程及工程结算尚未完成。结合当前项目建设进度情况，经审慎研究，公司决定对该募投项目实施期限延至2027年6月。

　　（三） 是否存在影响募集资金使用计划正常推进的情形

　　除上述募投项目延期的原因外，不存在其他影响募集资金使用计划正常推进的情形，不存在损害公司和股东利益的情况。

　　（四） 分期投资计划及后续保障措施

　　公司拟将上述募投项目实施期限调整至2027年6月，尚未投入的募集资金将主要用于工程尾款、装修款、设备投入等，并根据项目实际实施进度分阶段投入。公司将严格遵守《上海证券交易所科创板股票上市规则》《上市公司募集资金监管规则》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号——规范运作》等法规要求，加强募集资金使用的监督，根据募投项目实施进度有序使用募集资金，确保公司募集资金使用合法有效。

　　四、 募集资金投资项目延期对公司的影响

　　本次部分募投项目延期是结合募投项目具体实施情况作出审慎决策，仅涉及募投项目的募集资金投入进度变化，募集资金投资项目的实施主体、实施方式、投资用途及投资总额等均未改变，不会对募投项目的实施造成实质性的影响。本次对部分募投项目延期不存在改变或变相改变募集资金投向和损害股东利益的情形，符合中国证券监督管理委员会、上海证券交易所关于上市公司募集资金管理的相关规定，不会对公司的正常经营产生不利影响。

　　五、 审议程序

　　公司于2026年4月24日召开第二届董事会第十九次会议，审议通过了《关于部分募集资金投资项目延期的议案》，同意公司本次部分募集资金投资项目延期事项，该事项无需提交公司股东会审议。

　　六、 专项意见说明

　　（一） 董事会审计委员会意见

　　董事会审计委员会认为：公司本次部分募集资金投资项目延期是公司根据募投项目实施情况做出的审慎决定，不存在改变或变相改变募集资金投向和其他损害股东利益的情形，不会对公司的正常经营、募投项目的实施产生重大不利影响，符合公司的整体发展规划及股东的长远利益。决策及审批程序符合相关法律法规和规范性文件的规定。公司董事会审计委员会同意将该议案提交董事会审议。

　　（二） 保荐人专项核查意见

　　经核查，保荐人认为：

　　本次高端半导体质量控制设备产业化项目延期事项已经公司董事会审议通过，符合《证券发行上市保荐业务管理办法》《上海证券交易所科创板股票上市规则》《上市公司募集资金监管规则》等相关规定，本次部分募集资金投资项目延期事项不会对公司的正常经营产生重大不利影响，不存在改变或变相改变募集资金用途和其他损害股东特别是中小股东利益的情形。

　　综上所述，保荐人对公司本次部分募集资金投资项目延期事项无异议。

　　七、 上网公告文件

　　《国泰海通证券股份有限公司关于深圳中科飞测科技股份有限公司部分募集资金投资项目延期的核查意见》。

　　特此公告。

　　深圳中科飞测科技股份有限公司董事会

　　2026年4月25日

　　证券代码：688361        证券简称：中科飞测        公告编号：2026-015

　　深圳中科飞测科技股份有限公司

　　关于为全资子公司提供担保的公告

　　本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性承担法律责任。

　　重要内容提示：

　　● 担保对象及基本情况

　　注：2023年3月27日子公司上海中科飞测半导体科技有限公司与中国银行股份有限公司上海自贸试验区新片区分行签订《固定资产借款合同》，可借款金额8,300万元，由深圳中科飞测科技股份有限公司提供连带责任担保。截止2025年12月31日，上海中科飞测半导体科技有限公司共提款4,612万元。

　　● 累计担保情况

　　一、 担保情况概述

　　（一） 担保的基本情况

　　为满足全资子公司日常经营和业务发展的实际需要，加快全资子公司良性发展，提高公司整体实力，公司拟为全资子公司提供担保额度总计不超过12亿元（含存续的担保合同），该担保额度可在公司合并报表范围内全资子公司（包括新增或新设子公司）之间进行调剂使用。上述担保额度有效期为自公司董事会审议通过之日起不超过12个月。

　　公司目前尚未签订相关担保协议（除存续的担保合同外），上述计划担保总额仅为公司拟提供的担保额度，具体担保金额尚需与银行等相关金融机构或合作方协商确定，担保范围包括但不限于申请融资业务发生的融资类担保以及日常经营发生的履约类担保，具体担保方式包括但不限于全额连带责任担保、保证、抵押、质押等方式，以实际签署的合同为准。

　　（二） 内部决策程序

　　公司于2026年4月24日召开的第二届董事会第十九次会议，审议通过了《关于为全资子公司提供担保的议案》。本议案无需提交股东会审议。公司董事会授权董事长或其授权代表办理上述事宜，签署相关法律文件。

　　（三） 担保额度调剂情况

　　在本次担保额度范围内，公司可根据实际情况对公司合并报表范围内全资子公司之间进行调剂使用。如在本次额度预计授权期间内发生设立或新增全资子公司，对该等公司提供的担保，也可以在上述范围内调剂使用预计额度。

　　二、 被担保人基本情况

　　（一）上海中科飞测半导体科技有限公司

　　注：2025年12月31日/2025年度的财务指标经容诚会计师事务所（特殊普通合伙）在合并财务报表范围内审计，下同。

　　（二）广州中科飞测科技有限公司

　　（三）北京中科飞测科技有限公司

　　（四）飞测思凯浦（上海）半导体科技有限公司

　　上述被担保对象不属于失信被执行人。

　　三、 担保协议的主要内容

　　公司目前尚未签订相关担保协议（除存续的担保合同外），上述计划担保总额仅为公司拟提供的担保额度。具体担保金额、担保期限、担保方式、担保范围以及签约时间等以实际签署的合同为准。公司董事会授权董事长或其授权代表办理上述事宜，签署相关法律文件。

　　四、 担保的必要性和合理性

　　上述担保事项是为确保全资子公司生产经营持续稳健发展，并结合目前公司及全资子公司业务情况进行的预计，符合公司整体生产经营的实际需要，有助于满足全资子公司日常资金使用及业务需求，被担保对象为公司合并报表范围内的全资子公司，担保风险总体可控，不存在损害公司及股东利益的情形。

　　五、 董事会意见

　　公司于2026年4月24日召开的第二届董事会第十九次会议，审议通过了《关于为全资子公司提供担保的议案》，董事会认为：本次公司为全资子公司提供担保有利于子公司的经营发展，符合公司整体利益。决策程序符合国家有关法律、法规及公司章程的规定，不存在损害公司和中小股东利益的情形。

　　六、 累计对外担保数量及逾期担保的数量

　　截至本公告披露日，公司及全资子公司的对外担保均为公司对全资子公司提供的担保，担保总额为8,300万元，占公司最近一年经审计的合并报表期末总资产和净资产的比例分别为1.05%及1.62%。除此之外，公司及全资子公司不存在逾期担保、涉及诉讼担保的情形。

　　特此公告。

　　深圳中科飞测科技股份有限公司董事会

　　2026年4月25日

　　证券代码：688361        证券简称：中科飞测        公告编号：2026-019

　　深圳中科飞测科技股份有限公司

　　关于作废部分已授予尚未归属的

　　限制性股票的公告

　　本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。

　　根据深圳中科飞测科技股份有限公司（以下简称“公司”）于2026年4月24日召开第二届董事会第十九次会议，审议通过了《关于作废部分已授予尚未归属的限制性股票的议案》，现将有关事项说明如下：

　　一、本次限制性股票激励计划已履行的决策程序和信息披露情况

　　1、2024年3月15日，公司召开第二届董事会第二次会议，会议审议通过了《关于公司＜2024年限制性股票激励计划（草案）＞及其摘要的议案》《关于公司＜2024年限制性股票激励计划实施考核管理办法＞的议案》《关于提请股东大会授权董事会办理2024年限制性股票激励计划相关事宜的议案》等议案。同日，公司召开第二届监事会第二次会议，审议通过了《关于公司＜2024年限制性股票激励计划（草案）＞及其摘要的议案》《关于核实公司＜2024年限制性股票激励计划激励对象名单＞的议案》以及《关于公司＜2024年限制性股票激励计划实施考核管理办法＞的议案》等议案，公司监事会对本激励计划的相关事项进行核实并出具了相关核查意见。

　　2、2024年3月18日至2024年3月27日，公司对本激励计划激励对象名单在公司内部进行了公示。在公示期内，公司监事会未收到任何异议。2024年3月28日，公司披露了《监事会关于公司2024年限制性股票激励计划激励对象名单公示情况及审核意见的说明》。

　　3、2024年4月1日，公司召开2024年第二次临时股东大会，审议并通过了《关于公司＜2024年限制性股票激励计划（草案）＞及其摘要的议案》《关于公司＜2024年限制性股票激励计划实施考核管理办法＞的议案》《关于提请股东大会授权董事会办理2024年限制性股票激励计划相关事宜的议案》等议案。公司实施本激励计划获得股东大会批准，董事会被授权确定限制性股票授予日、在激励对象符合条件时向激励对象授予限制性股票并办理授予限制性股票所必需的全部事宜。

　　4、2024年4月1日，公司召开第二届董事会第三次会议与第二届监事会第三次会议，审议通过了《关于向激励对象首次授予限制性股票的议案》。监事会对授予日的激励对象名单进行核实并发表了核查意见。

　　5、2025年3月28日，公司召开第二届董事会第十次会议与第二届监事会第十次会议，审议通过了《关于调整2024年限制性股票激励计划授予价格的议案》《关于向激励对象授予2024年限制性股票激励计划预留部分限制性股票的议案》。监事会对预留授予日的激励对象名单进行核实并发表了核查意见。

　　6、2025年4月15日，公司召开第二届董事会第十二次会议与第二届监事会第十二次会议，审议通过了《关于作废部分已授予尚未归属的限制性股票的议案》《关于公司2024年限制性股票激励计划首次授予部分第一个归属期归属条件成就的议案》。监事会对首次授予部分第一个归属期归属名单进行核实并发表了核查意见。

　　7、2026年4月24日，公司召开第二届董事会第十九次会议，审议通过了《关于作废部分已授予尚未归属的限制性股票的议案》《关于公司2024年限制性股票激励计划首次授予部分第二个归属期及预留授予部分第一个归属期符合归属条件的议案》。董事会薪酬与考核委员会对首次授予部分第二个归属期及预留授予部分第一个归属期归属名单进行核实并发表了核查意见。

　　二、 本次作废限制性股票的具体情况

　　（一）部分激励对象失去激励资格

　　鉴于《2024年限制性股票激励计划（草案）》（以下简称“《激励计划》”）首次授予及预留授予的激励对象中有2人因个人原因离职，其已获授但尚未归属的6.2500万股限制性股票不得归属，由公司作废。

　　（二）2025年度个人层面绩效考核不达标

　　首次授予部分第二个归属期及预留授予部分第一个归属期公司层面业绩考核达到目标值，公司层面归属比例达到100%，但16名激励对象2025年个人绩效考核结果为“优秀（A）”，个人层面归属比例为85%；6名激励对象2025年个人绩效考核结果为“优秀（A-）”，个人层面归属比例为70%；5名激励对象2025年个人绩效考核结果为“良好（B）”，个人层面归属比例为50%；1名激励对象2025年个人绩效考核结果为“一般（C）”，个人层面归属比例为0%；上述激励对象已获授但尚未归属的12.4000万股限制性股票不得归属，由公司作废。

　　综上所述，本次合计作废的限制性股票数量为18.6500万股。

　　三、 本次作废部分限制性股票对公司的影响

　　公司本次作废部分限制性股票的事项不会对公司经营情况产生重大影响，不影响公司技术团队及管理团队的稳定性，也不会影响公司本次股权激励计划的继续实施。

　　四、 董事会薪酬与考核委员会意见

　　公司董事会薪酬与考核委员会认为：本次作废部分已授予尚未归属的限制性股票符合《上市公司股票激励管理办法》（以下简称“《管理办法》”）和公司《激励计划》的相关规定，不存在损害公司及全体股东特别是中小股东利益的情形。同意公司此次作废部分限制性股票。

　　五、 律师结论性意见

　　北京市君合（深圳）律师事务所认为，截至本法律意见书出具之日：

　　（一） 公司就本次归属及作废已取得了现阶段必要的批准和授权，符合《管理办法》《上海证券交易所科创板股票上市规则》（以下简称“《上市规则》”）、《科创板上市公司自律监管指南第4号——股权激励信息披露》（以下简称“《监管指南》”）等相关中国法律法规及《激励计划》的有关规定；

　　（二） 公司本次激励计划首次授予的限制性股票已进入第二个归属，预留次授予的限制性股票已进入第一个归属期，本次归属的归属条件已经成就，公司实施本次归属及归属人数、归属数量安排符合《管理办法》《上市规则》及《激励计划》的有关规定；

　　（三） 本次作废符合《管理办法》及《激励计划》的相关规定；

　　（四） 就本次归属及作废，公司已履行的信息披露义务，符合《管理办法》《上市规则》《监管指南》的规定；随着本次归属及作废的实施，公司尚需按照相关中国法律法规的规定继续履行相应的信息披露义务。

　　特此公告。

　　深圳中科飞测科技股份有限公司董事会

　　2026年4月25日